一种板式镀膜设备的进料腔制造技术

本实用新型专利技术公开了一种板式镀膜设备的进料腔，涉及光伏行业的晶体硅太阳电池制造技术领域。包括传送带，所述传送带外壁设有进料腔，所述进料腔内部设有金属腔体，所述进料腔内部横向设有升降装置，所述升降装置设置有两组，所述升降装置包括液压缸、液压杆和载板支架，所述进料腔内部横向对称设有液压缸，所述液压缸顶部套接液压杆，所述液压杆一侧滑动设有载板支架，所述载板支架一侧设有辅助装置，该一种板式镀膜设备的进料腔，正常工作时，载板先进入进料腔的缓存支架。待缓存支架存满载板时关闭前隔离门，抽真空，平均下来，缩短了每个载板的抽真空时间，这样就降低了进料腔对镀膜设备产能的限制。备产能的限制。备产能的限制。

【技术实现步骤摘要】
一种板式镀膜设备的进料腔


[0001]本技术涉及光伏行业的晶体硅太阳电池制造
，具体为一种板式镀膜设备的进料腔。

技术介绍

[0002]在晶体硅太阳电池制造行业，使用板式镀膜设备在半成品太阳电池的正面或者背面沉积钝化或者减反射薄膜。其设备由载板上料站、进料站、进料腔、预热腔、工艺腔、出料腔、出料站、载板回转机构组成。载板从进料站进入进料腔后，进料腔需要抽真空，且抽真空的时间较长，要0.5分钟左右。进料腔过长的抽真空时间，限制了板式镀膜设备的产能。
[0003]在晶体硅太阳电池的生产制造过程中，使用板式镀膜设备在待生产样品的正面或者背面沉积钝化或者减反射薄膜。正常连续生产过程中，硅片在上料站被放置到载板上，载板经过传动滚轮或者传动皮带传输到进料站，从进料站进入进料腔，进料腔的前隔离门(隔离进料腔和外界)和后隔离门(隔离进料腔和预热腔)关闭，并抽真空。抽真空时间最少需要0.5分钟，使进料腔的真空度达到预热腔的水平，此时开启后隔离门。载板进入预热腔预热、进入工艺腔镀膜。完成镀膜后，开启出料腔的前隔离门(位于工艺腔和出料腔之间)进入出料腔。进料腔的抽真空时间最少需要0.5分钟。只有进料腔的真空度达到预热腔，载板才能从进料腔传送到预热腔。载板在进料腔的停留等待时间，限制了板式镀膜设备的产能。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种板式镀膜设备的进料腔，解决了
技术介绍
中所提出的问题。
[0005]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：本技术提供了一种板式镀膜设备的进料腔，包括传送带，所述传送带外壁设有进料腔，所述进料腔内部设有金属腔体，所述进料腔内部横向设有升降装置，所述升降装置设置有两组，所述升降装置包括液压缸、液压杆和载板支架，所述进料腔内部横向对称设有液压缸，所述液压缸顶部套接液压杆，所述液压杆一侧滑动设有载板支架，所述载板支架一侧设有辅助装置。
[0006]优选的，所述辅助装置包括放置槽、轴承、第一连接杆、滚轮和第一限位螺母，所述载板支架一侧开设有放置槽，所述放置槽内部嵌合安装轴承。
[0007]优选的，所述轴承内部嵌合安装第一连接杆，所述第一连接杆外壁嵌合安装滚轮，所述第一连接杆外壁螺纹连接限位螺母。
[0008]优选的，所述载板支架的层数在2层以上(含2层)，所述载板支架选用不锈钢或者铝型材等金属材质，表面喷涂特氟龙或者其他防锈材料。
[0009]优选的，所述传送带一侧设有进料站，所述进料腔一侧设有预热腔，所述预热腔一侧设有工艺腔，所述进料腔宽度比预热腔、工艺腔宽10—20cm，高度比预热腔高10—50cm。
[0010]优选的，所述工艺腔一侧设有出料腔，所述出料腔一侧设有出料站。
[0011]本技术提供了一种板式镀膜设备的进料腔。具备以下有益效果：
[0012]该一种板式镀膜设备的进料腔，通过进料腔、升降装置和辅助装置的组合设置，增加了目前板式镀膜设备的设置，使其功能上更加的完善，正常工作时，载板先进入进料腔的缓存支架。待缓存支架存满载板时关闭前隔离门，抽真空，平均下来，缩短了每个载板的抽真空时间，这样就降低了进料腔对镀膜设备产能的限制。
附图说明
[0013]图1为本技术整体的结构示意图；
[0014]图2为本技术整体结构的侧视图；
[0015]图3为本技术升降装置的结构示意图；
[0016]图4为本技术辅助装置的结构示意图。
[0017]图中，1、传送带；2、进料站；3、出料站；4、进料腔；5、预热腔；6、工艺腔；7、出料腔；8、升降装置；81、液压缸；82、液压杆；83、载板支架；9、辅助装置；91、放置槽；92、轴承；93、第一连接杆；94、滚轮；95、限位螺母。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1
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4，本技术实施例提供一种技术方案：一种板式镀膜设备的进料腔，包括传送带1，所述传送带1外壁设有进料腔4，所述进料腔4内部设有金属腔体，所述进料腔4内部横向设有升降装置8，所述升降装置8设置有两组，所述升降装置8包括液压缸81、液压杆82和载板支架83，所述进料腔4内部横向对称设有液压缸81，所述液压缸81顶部套接液压杆82，所述液压杆82一侧滑动设有载板支架83，所述载板支架83一侧设有辅助装置9。
[0020]通过液压缸81通过内部的液压油推动液压杆82上下移动，液压杆82带动一侧的载板支架83进行上下移动，在正常工作时，载板支架83先进入进料腔4中，待载板支架83上存满载板时(例如，3层缓存支架，放置3个载板)，关闭前隔离门，抽真空，真空度达到预热腔的水平时，开启后隔离门，载板支架83上的载板依次送入预热腔5。由于进料腔4一次对三个载板抽真空，平均下来，每个载板在抽真空这个步骤上等待的时间为原来的1/3，这样就降低了进料，4对镀膜设备产能的限制。
[0021]所述辅助装置9包括放置槽91、轴承92、第一连接杆93、滚轮94和第一限位螺母95，所述载板支架83一侧开设有放置槽91，所述放置槽91内部嵌合安装轴承92。
[0022]通过放置槽91和轴承92的设置，方便第一连接杆93和滚轮94更好的安装在载板支架83一侧，方便其更好地进行安装。
[0023]所述轴承92内部嵌合安装第一连接杆93，所述第一连接杆93外壁嵌合安装滚轮94，所述第一连接杆93外壁螺纹连接限位螺母95。
[0024]通过第一限位螺母95的设置，避免第一连接杆93外壁的滚轮94滑出，使其可以稳定地安装在第一连接杆93的外壁。
[0025]所述载板支架83的层数在2层以上(含2层)，所述载板支架83选用不锈钢或者铝型
材等金属材质，表面喷涂特氟龙或者其他防锈材料。
[0026]通过不锈钢或者铝型材等金属材质和防锈材料的涂抹，避免了载板支架83生锈的现象，延长了载板支架83的使用时间。
[0027]所述传送带1一侧设有进料站2，所述进料腔4一侧设有预热腔5，所述预热腔5一侧设有工艺腔6，所述进料腔4宽度比预热腔5、工艺腔6宽10—20cm，高度比预热腔5高10—50cm。
[0028]通过进料腔4宽度和高度的增加，方便后续更好的摆放载板支架83。
[0029]所述工艺腔6一侧设有出料腔7，所述出料腔7一侧设有出料站3。
[0030]工作原理：使用时，首先通过液压缸81通过内部的液压油推动液压杆82上下移动，液压杆82带动一侧的载板支架83进行上下移动，在正常工作时，载板支架83先进入进料腔4中，其次待载板支架83上存满载板时(例如本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种板式镀膜设备的进料腔，包括传送带（1），其特征在于：所述传送带（1）外壁设有进料腔（4），所述进料腔（4）内部设有金属腔体，所述进料腔（4）内部横向设有升降装置（8），所述升降装置（8）设置有两组，所述升降装置（8）包括液压缸（81）、液压杆（82）和载板支架（83），所述进料腔（4）内部横向对称设有液压缸（81），所述液压缸（81）顶部套接液压杆（82），所述液压杆（82）一侧滑动设有载板支架（83），所述载板支架（83）一侧设有辅助装置（9）；所述辅助装置（9）包括放置槽（91）、轴承（92）、第一连接杆（93）、滚轮（94）和第一限位螺母（95），所述载板支架（83）一侧开设有放置槽（91），所述放置槽（91）内部嵌合安装轴承（92）。2.根据权利要求1所述的一种板式镀膜设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：张岳琦，韩宜辰，邢军，仇加亮，朱皓杰，黄胜，刘志梅，刘莹莹，刘云，
申请(专利权)人：安徽旭合新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：