本实用新型专利技术公开了一种提高薄膜均匀性的多工位金属靶装置，包括：靶材组件和靶座，所述靶材组件包括靶材、磁芯和驱动机构，所述靶材设于磁芯的外侧，且端部通过堵头堵住，所述驱动机构与磁芯连接；所述靶座呈倾斜状，且所述靶座上设有至少一个用于安装靶材组件的安装工位，位于安装工位设有安装穿孔，所述靶材组件与靶座通过螺钉固定。本实用新型专利技术所述的一种提高薄膜均匀性的多工位金属靶装置，通过对靶座结构的优化，让其能够对靶材起到一定的导正作用，有效提高镀膜的均匀性，避免因靶材倾斜造成沉积不均的现象，同时还设置了多个安装工位，让其能够根据实际的需要对选择靶材的安装数量，让其更好的满足生产的需要。让其更好的满足生产的需要。让其更好的满足生产的需要。
【技术实现步骤摘要】
一种提高薄膜均匀性的多工位金属靶装置
[0001]本技术属于离化覆膜
，特别涉及一种提高薄膜均匀性的多工位金属靶装置。
技术介绍
[0002]靶材在溅射各种薄膜中所需使用的重要的部件，工作时，将靶材安装到靶座上，通过驱动机构驱动靶材旋转，靶材将设备中的材料溅射沉积到产品表面形成薄膜，而常规的靶座的整体厚度一致是平的，而靶材安装到靶座上后，远离靶座的一端会有一定的倾斜，这样就会导致靶材工作时，产品表面会的薄膜会出现沉积不均的问题，影响产品的加工质量；
[0003]同时一般靶座其大多都只有一个靶材安装工位，其只能够满足一个靶材的加工需要，影响生产效率。
技术实现思路
[0004]技术目的：为了克服以上不足，本技术的目的是提供一种提高薄膜均匀性的多工位金属靶装置，通过对靶座结构的优化，让其能够对靶材起到一定的导正作用，有效提高镀膜的均匀性，避免因靶材倾斜造成沉积不均的现象，同时还设置了多个安装工位，让其更好的满足生产的需要。
[0005]技术方案：为了实现上述目的，本技术提供了一种提高薄膜均匀性的多工位金属靶装置，包括：
[0006]靶材组件，所述靶材组件包括靶材、磁芯和驱动机构，所述靶材设于磁芯的外侧，且端部通过堵头堵住，所述驱动机构与磁芯连接；
[0007]靶座，所述靶座呈倾斜状，且所述靶座上设有至少一个用于安装靶材组件的安装工位，位于安装工位设有安装穿孔，所述靶材组件与靶座通过螺钉固定。本技术所述的一种提高薄膜均匀性的多工位金属靶装置，通过对靶座结构的优化，让其能够对靶材起到一定的导正作用，有效提高镀膜的均匀性，避免因靶材倾斜造成沉积不均的现象，同时还设置了多个安装工位，让其能够根据实际的需要对选择靶材的安装数量，让其更好的满足生产的需要。
[0008]其中，所述驱动机构包括传动机构，所述传动机构包括传动安装座、驱动轴和传动齿轮，所述驱动轴设于传动安装座的一端，所述传动齿轮设于驱动轴上，所述驱动轴与磁芯连接，且所述驱动轴的末端设有转接件；
[0009]驱动电机，所述驱动电机，所述驱动电机的输出端与齿轮盒连接，所述齿轮盒内的驱动齿轮与传动齿轮啮合。
[0010]进一步的，所述传动安装座内位于传动齿轮的上方设有铜套，下方设有绝缘座，所述绝缘座通过螺钉与传动安装座固定，且螺钉上设有螺钉绝缘套。螺钉绝缘套的设置，能够提高两者之间的绝缘效果，提高其生产的安全性。
[0011]更进一步的，所述靶材上、下两端的内壁设有内螺纹，所述堵头靠近靶材的一端和
转接件上均设有外螺纹，所述靶材的上、下两端分别与转接件和堵头螺纹连接。
[0012]所述靶材与转接件连接的外部设有防尘钢套且所述转接件和防尘钢套的连接处设有挡水密封圈，所述防尘钢套与靶材之间的密封圈。挡水密封圈和密封圈的设置，能够有效提高部件连接的密封性。
[0013]优选的，所述绝缘座与传动安装座之间的连接处设有密封圈。
[0014]优选的，所述靶座上位于靶材组件的安装工位处设有穿孔，且穿孔处设有封盖。封盖的设置，能够对暂时不用的穿孔起到很好的保护作用。
[0015]上述技术方案可以看出，本技术具有如下有益效果：
[0016]1、本技术所述的一种提高薄膜均匀性的多工位金属靶装置，通过对靶座结构的优化，让其能够对靶材起到一定的导正作用，有效提高镀膜的均匀性，避免因靶材倾斜造成沉积不均的现象，同时还设置了多个安装工位，让其能够根据实际的需要对选择靶材的安装数量，让其更好的满足生产的需要。
[0017]2、本案中挡水密封圈和密封圈的设置，能够有效提高部件连接的密封性。
[0018]3、所述靶座上位于靶材组件的安装工位处设有穿孔，且穿孔处设有封盖。封盖的设置，能够对暂时不用的穿孔起到很好的保护和防尘效果。
附图说明
[0019]图1为本技术所述的提高薄膜均匀性的多工位金属靶装置的结构示意图；
[0020]图2为本技术中靶材组件的结构示意图；
[0021]图3为本技术中靶材组件的爆炸图；
[0022]图4为本技术中靶材组件的驱动机构示意图；
[0023]图5为本技术中靶座的结构示意图；
[0024]图中：靶材组件1、靶材11、磁芯12、驱动机构13、堵头14、传动机构131、动安装座1311、驱动轴1312、传动齿轮1313、转接件1314、驱动电机132、齿轮盒133、铜套1315、绝缘座134、螺钉1341、螺钉绝缘套1342、靶座2、安装穿孔21、封盖22、挡水密封圈4、密封圈5。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本技术。
实施例
[0026]如图1至4所示的一种提高薄膜均匀性的多工位金属靶装置，包括：靶材组件1和靶座2，所述靶材组件1包括靶材11、磁芯12和驱动机构13，所述靶材11设于磁芯12的外侧，且端部通过堵头14堵住，所述驱动机构13与磁芯12连接；
[0027]所述靶座2上设有至少一个用于安装靶材组件1的安装工位，位于安装工位设有安装穿孔21，所述靶材组件1与靶座2通过螺钉固定。
[0028]所述驱动机构13包括传动机构131，所述传动机构131包括传动安装座1311、驱动轴1312和传动齿轮1313，所述驱动轴1312设于传动安装座1311的一端，所述传动齿轮1313设于驱动轴1312上，所述驱动轴1312与磁芯12连接，且所述驱动轴1312的末端设有转接件1314；需要说明的是所述转接件1314采用磁流体密封转接件，可以想到是的，其也可以采用
其他的转接件，能够满足本案中的需要即可；
[0029]驱动电机132，所述驱动电机132，所述驱动电机132的输出端与齿轮盒133连接，所述齿轮盒133内的驱动齿轮与传动齿轮1313啮合 。需要说明的是，所述驱动电机132通过安装述齿轮盒的一端通过L型安装座与传动安装座1311连接，
[0030]所述传动安装座1311内位于传动齿轮1313的上方设有铜套1315，下方设有绝缘座134，所述绝缘座134通过螺钉1341与传动安装座1311固定，且螺钉上设有螺钉绝缘套1342。
[0031]所述靶材11上、下两端的内壁设有内螺纹，所述堵头14靠近靶材11的一端和转接件1314上均设有外螺纹，所述靶材11的上、下两端分别与转接件1314和堵头14螺纹连接。
[0032]如图3所示的，所述靶材11与转接件1314连接的外部设有防尘钢套3且所述转接件1314和防尘钢套3的连接处设有挡水密封圈4，所述防尘钢套3与靶材11之间的密封圈5。
[0033]需要说明的是本案中的密封圈5采用O型密封圈，其也可以根据实际的需要，旋转其他能够满足该装置工作需要的密封部件。
[0034]所述绝缘座134与传动安装座1311之间的连接处设有密封圈5。
[0035]所述靶座2上位于靶材组件1的安装本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种提高薄膜均匀性的多工位金属靶装置，其特征在于：包括：靶材组件（1），所述靶材组件（1）包括靶材（11）、磁芯（12）和驱动机构（13），所述靶材（11）设于磁芯（12）的外侧，且端部通过堵头（14）堵住，所述驱动机构（13）与磁芯（12）连接；靶座（2），所述靶座呈倾斜状，且所述靶座（2）上设有至少一个用于安装靶材组件（1）的安装工位，位于安装工位设有安装穿孔（21），所述靶材组件（1）与靶座（2）通过螺钉固定。2.根据权利要求1所述的提高薄膜均匀性的多工位金属靶装置，其特征在于：所述驱动机构（13）包括传动机构（131），所述传动机构（131）包括传动安装座（1311）、驱动轴（1312）和传动齿轮（1313），所述驱动轴（1312）设于传动安装座（1311）的一端，所述传动齿轮（1313）设于驱动轴（1312）上，所述驱动轴（1312）与磁芯（12）连接，且所述驱动轴（1312）的末端设有转接件（1314）；驱动电机（132），所述驱动电机（132），所述驱动电机（132）的输出端与齿轮盒（133）连接，所述齿轮盒（133）内的驱动齿轮与传动齿轮（1313）啮合 。3.根据权利要求2所述的提高薄膜均匀性的多工位金属靶装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：周树法，
申请(专利权)人：昆山立特纳米电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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