用于芯片研磨的夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于芯片研磨的夹具，包括：基座，所述基座包括顶板以及围接于顶板边缘的侧板，所述侧板向下延伸并与所述顶板共同形成供芯片容置的凹槽；顶部调节机构，包括第一螺栓，所述顶板上对应于所述凹槽的位置开设有供所述第一螺栓螺合连接的竖向螺纹通孔；侧部调节机构，包括至少两个第二螺栓，所述侧板上不同角度位置分别开设有供至少两个所述第二螺栓一一对应螺合连接的至少两个水平螺纹通孔。本实用新型专利技术解决了传统芯片研磨固定方式在研磨时平整度不好掌控、研磨效果不稳定、作业效率低等问题。作业效率低等问题。作业效率低等问题。

【技术实现步骤摘要】
用于芯片研磨的夹具


[0001]本技术涉及芯片样本制备领域，特别涉及一种用于芯片研磨的夹具。

技术介绍

[0002]在进行芯片样本制备时，对于芯片晶背的研磨，传统方法是将芯片利用胶纸黏贴在手指上，再利用研磨机上用不同目数的砂纸去研磨，但这种方法仅适用于芯片尺寸适中的样品。而对于尺寸较大或小的芯片，用手指按压研磨时平整度不好掌控，对于相同样品无法保证会有相同结果。若使用现有手法无法稳定的达到效果，对于不同操作者会有不同的问题发生，导致作业效率降低，且花费的耗材也会使成本增加。

技术实现思路

[0003]为了解决上述问题，本技术提供了一种用于芯片研磨的夹具，解决了传统芯片研磨固定方式在研磨时平整度不好掌控、研磨效果不稳定、作业效率低等问题。
[0004]本技术通过如下方案来实现：一种用于芯片研磨的夹具，包括：
[0005]基座，所述基座包括顶板以及围接于顶板边缘的侧板，所述侧板向下延伸并与所述顶板共同形成供芯片容置的凹槽；
[0006]顶部调节机构，包括第一螺栓，所述顶板上对应于所述凹槽的位置开设有供所述第一螺栓螺合连接的竖向螺纹通孔；
[0007]侧部调节机构，包括至少两个第二螺栓，所述侧板上不同角度位置分别开设有供至少两个所述第二螺栓一一对应螺合连接的至少两个水平螺纹通孔。
[0008]本技术用于芯片研磨的夹具的进一步改进在于，所述顶板呈矩形，所述侧板由四个竖板围接而成，四个所述竖板分别连接于所述顶板的四个边缘，且四个所述竖板上均开设有所述水平螺纹通孔，所述第二螺栓的数量为四个，且一一对应地螺合连接于四个所述水平螺纹通孔。
[0009]本技术用于芯片研磨的夹具的进一步改进在于，四个所述水平螺纹通孔分别开设于四个所述竖板的竖向轴线上。
[0010]本技术用于芯片研磨的夹具的进一步改进在于，所述竖向螺纹通孔开设于所述顶板的中心处。
[0011]本技术用于芯片研磨的夹具的进一步改进在于，所述第一螺栓穿过所述竖向螺纹通孔的一端垂直连接有第一挡板，所述第二螺栓穿过所述水平螺纹通孔的一端垂直连接有第二挡板。
[0012]本技术用于芯片研磨的夹具的进一步改进在于，所述第一挡板背对所述第一螺栓的一面以及所述第二挡板背对所述第二螺栓的一面均固定有缓冲层。
[0013]本技术用于芯片研磨的夹具的进一步改进在于，所述缓冲层为硅胶泡棉。
[0014]本技术用于芯片研磨的夹具的进一步改进在于，所述第二挡板背对所述第二螺栓的一面分别与待研磨芯片的对应边缘轮廓相适配。
[0015]本技术包括但不限于以下有益效果：
[0016]通过夹具固定芯片配合研磨，无需人为固定芯片，能有效快速的执行研磨，更好的控制研磨时的平整度，避免了研磨效果的不统一，缩短了制样时间，降低了重工率并提高了良率，节约了成本。
[0017]通过顶部调节机构的设置，可以根据芯片厚薄度来调整需要研磨的厚度，通过侧部调节机构的设置，可以根据芯片尺寸大小来调整夹持空间，以适用于对不同尺寸芯片的固定，使得该夹具可用于固定各种规格的芯片，适用性更广，使用更灵活。
[0018]通过在调节机构上设置挡板，并配合在挡板上覆缓冲层，可以缓冲研磨时对芯片的应力，并有效保护芯片不被损坏。
附图说明
[0019]图1示出了本技术用于芯片研磨的夹具的立体示意图1。
[0020]图2示出了本技术用于芯片研磨的夹具的立体示意图2。
[0021]图3示出了本技术用于芯片研磨的夹具的正面透视图。
具体实施方式
[0022]为了解决传统芯片研磨固定方式在研磨时平整度不好掌控、研磨效果不稳定、作业效率低等问题，本技术提供了一种用于芯片研磨的夹具，无需人为固定芯片，能有效快速的执行研磨，更好的控制研磨时的平整度，避免了研磨效果的不统一，缩短了制样时间，降低了重工率并提高了良率，节约了成本。下面以具体实施例结合附图对该用于芯片研磨的夹具作进一步说明。
[0023]参阅图1～图3所示，一种用于芯片研磨的夹具，包括：基座，该基座包括顶板11以及围接于顶板边缘的侧板，该侧板向下延伸并与该顶板11共同形成供芯片容置的凹槽；顶部调节机构，包括第一螺栓21，该顶板11上对应于该凹槽的位置开设有供该第一螺栓21螺合连接的竖向螺纹通孔；侧部调节机构，包括至少两个第二螺栓31，该侧板12上不同角度位置分别开设有供至少两个该第二螺栓31一一对应螺合连接的至少两个水平螺纹通孔。
[0024]具体来说，该顶板11呈矩形，该侧板由四个竖板12围接而成，四个该竖板12分别连接于该顶板11的四个边缘，且四个该竖板12上均开设有该水平螺纹通孔，该第二螺栓31的数量为四个，且一一对应地螺合连接于四个该水平螺纹通孔。四个该水平螺纹通孔分别开设于四个该竖板12的竖向轴线上，优选位于延伸部分的中心位置。该竖向螺纹通孔开设于该顶板11的中心处。
[0025]通过夹具固定芯片配合研磨，无需人为固定芯片，能有效快速的执行研磨，更好的控制研磨时的平整度，避免了研磨效果的不统一，缩短了制样时间，降低了重工率并提高了良率，节约了成本。
[0026]作为一较佳实施方式，该第一螺栓21穿过该竖向螺纹通孔的一端垂直连接有第一挡板22，该第二螺栓31穿过该水平螺纹通孔的一端垂直连接有第二挡板32。具体如图3所示，该第一挡板22和该第二挡板32可以采用金属材质，也可以采用具有一定硬度的其他材质。该第一挡板22的底面为水平面，且该第一螺栓21与该第一挡板22的中心连接，该第二螺栓31与对应该第二挡板32的中心连接。该第一螺栓21与该第一挡板22之间以及该第二螺栓
31与对应该第二挡板32之间可以直接固定连接也可以轴承转动连接。
[0027]对于直接固定连接形式，在需要根据芯片厚薄度来调整需要研磨的厚度时，通过旋转该第一螺栓21带动第一挡板22旋转，以实现第一挡板22的向下移动，进而推动芯片向下移动，改变芯片伸出凹槽的厚度大小，进而达到调整研磨厚度的目的。不过，该直接固定连接形式在实现推动芯片向下移动时，第一挡板与芯片之间存在相对转动的扭力，存在损坏芯片表面的风险。
[0028]因此，优选该第一螺栓21与该第一挡板22之间采用轴承转动连接形式，对于该种连接形式，在旋转该第一螺栓21时，第一挡板22不会随着该第一螺栓21的旋转而旋转，但不影响第一挡板22向下移动，所以，第一挡板22与芯片之间不会存在相对转动的扭力，可以有效保护芯片表面不被损坏。
[0029]同理，该第二螺栓31与对应该第二挡板32也优选采用轴承转动连接形式。通过上述顶部调节机构和侧部调节机构的设置，使得该夹具可用于固定各种规格的芯片，适用性更广，使用更灵活。
[0030]作为一较佳实施方式，该第一挡板22背对该第一螺栓21的一面以及该第二挡板32背对该第二螺栓31的一面均固定有缓冲层。具体地，该缓冲层优选为硅胶泡棉，通过粘贴的形式固定在对应本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于芯片研磨的夹具，其特征在于，包括：基座，所述基座包括顶板以及围接于顶板边缘的侧板，所述侧板向下延伸并与所述顶板共同形成供芯片容置的凹槽；顶部调节机构，包括第一螺栓，所述顶板上对应于所述凹槽的位置开设有供所述第一螺栓螺合连接的竖向螺纹通孔；侧部调节机构，包括至少两个第二螺栓，所述侧板上不同角度位置分别开设有供至少两个所述第二螺栓一一对应螺合连接的至少两个水平螺纹通孔。2.如权利要求1所述的用于芯片研磨的夹具，其特征在于，所述顶板呈矩形，所述侧板由四个竖板围接而成，四个所述竖板分别连接于所述顶板的四个边缘，且四个所述竖板上均开设有所述水平螺纹通孔，所述第二螺栓的数量为四个，且一一对应地螺合连接于四个所述水平螺纹通孔。3.如权利要求2所述的用于芯片研磨的夹具，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晋平，杜学军，
申请(专利权)人：苏试宜特深圳检测技术有限公司，
类型：新型
国别省市：