一种组合式晶圆检测传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种组合式晶圆检测传感器，包括气动执行元件、固定在气动执行元件上并可在气动执行元件的带动下上下移动的连接件、固定在连接件上的可拆卸的固定块、以及多个垂直卡设在固定块上的用以检测晶圆片篮内晶圆的数量和位置的光电传感器；多个光电传感器错位排布，且后一光电传感器的发射器与前一光电传感器的接收器相对齐，气动执行元件和光电传感器均与控制器电连接。本实用新型专利技术实现了具有常规卡槽间距的晶圆片篮和具有特殊卡槽间距的晶圆片篮内的晶圆的兼容检测，能够精准检测出晶圆片篮内晶圆的数量和位置。准检测出晶圆片篮内晶圆的数量和位置。准检测出晶圆片篮内晶圆的数量和位置。

【技术实现步骤摘要】
一种组合式晶圆检测传感器


[0001]本技术涉及半导体设备制造
，尤其涉及一种组合式晶圆检测传感器。

技术介绍

[0002]目前半导体设备所使用的检测晶圆片数量的传感器可分为对射型和梳子型。对射型检测传感器多用于单片清洗设备，以在标准负载端口传输设备上检测处于水平稳定状态的晶圆片数，此类传感器属于扫描式检测传感器类型，由于常规片篮卡槽间距是固定的，所以晶圆水平放置的状态下检测相对稳定。梳子型检测传感器多用于槽式湿法清洗设备的上下货端，检测片篮中任意卡槽位晶圆片的有无，以对比上下货端晶圆片数量是否准确。上述两种类型传感器通常用于6英寸、8英寸以及12英寸片篮中晶圆片数的检测。
[0003]目前梳子型晶圆检测传感器所使用的检测传感器为透射型，主要有发光元件、传导元件、接收元件、控制模块和通讯线缆五部分组成。发光元件可以是发光二极管(led)或激光二极管，光束不间断地发射，接收元件可以是由光电二极管或光电三极管组成。在接收元件和发光元件之间，装有光导纤维(光纤)，在其后面是检测电路控制模块，它能滤出有效信号并应用该信号，通过把光强度的变化转换成电信号的变化来实现控制检测。
[0004]以6寸和8寸晶圆为例，由于标准晶圆片篮放置的晶圆数量为25或26片，且片槽间隔是固定的，所以梳子型传感器标准配置也是检测25片或26片晶圆片，可以检测的晶圆片种类有蓝宝石晶圆、硅晶圆、半透明晶圆，但是基于是光电型传感器，对于新型碳化硅晶圆片的检测表现出不稳定性；对于特殊晶圆片篮固定装载12或13片晶圆片的情况，由于以上梳子型检测传感器是集成式检测25或26片的晶圆，无法将检测传感器单元拆分下来，且上述装载12或13片晶圆的片篮卡槽间距与常规装载25或26片晶圆的片篮的卡槽间距不一样，导致以上梳子型传感器对装载12或13片晶圆的检测有局限性，无法兼容检测。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术提供了一种组合式晶圆检测传感器，用以解决传统梳子式传感器上的检测传感器单元无法拆分从而导致其无法对具有常规卡槽间距的晶圆片篮和具有特殊卡槽间距的晶圆片篮内的晶圆进行兼容检测的问题。
[0006]一种组合式晶圆检测传感器，包括：
[0007]气动执行元件；
[0008]固定在气动执行元件上并可在气动执行元件的带动下上下移动的连接件；
[0009]固定在连接件上的可拆卸的固定块；
[0010]以及多个垂直卡设在固定块上的用以检测晶圆片篮内晶圆的数量和位置的光电传感器；
[0011]其中，多个光电传感器错位排布，且后一光电传感器的发射器与前一光电传感器的接收器相对齐，气动执行元件和光电传感器均与控制器电连接。
[0012]优选地，所述多个光电传感器错位交替排布，所有奇数位置上的光电传感器位于同一直线上，所有偶数位置上的光电传感器位于同一直线上。
[0013]优选地，所述光电传感器的设置数量与晶圆片篮内的晶圆卡槽的数量相同，相邻两个光电传感器之间的间距与相邻两个晶圆卡槽之间的间距相等。
[0014]优选地，所述固定块上设有用以安装光电传感器的发射器和接收器的固定卡槽，固定卡槽从固定块的顶部贯穿开设至其底部，固定块的两侧设有第一固定孔。
[0015]优选地，所述卡槽的形状与光电传感器的发射器或接收器的形状相匹配。
[0016]优选地，所述连接件的两侧设有用以安装固定块的第二固定孔。
[0017]优选地，所述连接件为长板状结构，连接件上的第二固定孔为腰形孔。
[0018]优选地，所述光电传感器为对射式光纤传感器。
[0019]优选地，所述气动执行元件为气缸。
[0020]优选地，所述气缸为双作用气缸。
[0021]本技术的有益效果是：
[0022]1、本申请通过在与气缸相固定的连接件上固定可拆卸的固定块，并在固定块上安装若干个错位分布的对射式光纤传感器，实现了具有常规卡槽间距的晶圆片篮和具有特殊卡槽间距的晶圆片篮内的晶圆的兼容检测，能够精准检测出晶圆片篮内晶圆的数量和位置，且固定块的安装和拆卸非常方便。
[0023]2、本申请的组合式晶圆检测传感器结构简单，能够安装在狭小空间内，对比一类扫描式传感器的检测，在检测效率和检测稳定性上有明显的提升，同样对比一类典型的梳子式检测传感器，本申请可以任意配置检测传感器的数量及安装间距，来解决装有12、13片等特殊数量的晶圆片篮正常竖立放置时的检测问题。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0025]图1是组合式晶圆检测传感器的立体结构示意图。
[0026]图2是固定块与连接件的安装示意图。
[0027]图3是固定块的俯视图。
[0028]图4是固定块的纵向剖视图。
[0029]图5是固定块上多个对射式激光传感器的分布示意图。
[0030]图6是对射式激光传感器检测时与晶圆之间的位置示意图。
[0031]图中标号的含义为：
[0032]1为气动执行元件；
[0033]2为连接件，21为第二固定孔；
[0034]3为固定块，31为第一固定孔，32为固定卡槽；
[0035]4为光电传感器，41为发射器，42为接收器；
[0036]5为晶圆。
具体实施方式
[0037]为了更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
[0038]应当明确，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0039]下面通过具体的实施例并结合附图对本申请做进一步的详细描述。
[0040]在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；除非另有规定或说明，术语“多个”是指两个或两个以上；术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0041]本技术给出一种组合式晶圆检测传感器，包括气动执行元件1、固定在气动执行元件1上并可在气动执行元件1的带动下上下移动的连接件2、固定在连接件2上的可拆卸的固定块3、以及多个垂直卡设在固定块3上的用以检测晶圆片篮内晶圆5的数量和位置的光电传感器4，气动执行元件1和光电传感器4均与控制器电连接。
[0042]所述气动执行元件1可选用气缸，优选地，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种组合式晶圆检测传感器，其特征在于，包括：气动执行元件；固定在气动执行元件上并可在气动执行元件的带动下上下移动的连接件；固定在连接件上的可拆卸的固定块；以及多个垂直卡设在固定块上的用以检测晶圆片篮内晶圆的数量和位置的光电传感器；其中，多个光电传感器错位排布，且后一光电传感器的发射器与前一光电传感器的接收器相对齐，气动执行元件和光电传感器均与控制器电连接。2.根据权利要求1所述的组合式晶圆检测传感器，其特征在于，所述多个光电传感器错位交替排布，所有奇数位置上的光电传感器位于同一直线上，所有偶数位置上的光电传感器位于同一直线上。3.根据权利要求1或2所述的组合式晶圆检测传感器，其特征在于，所述光电传感器的设置数量与晶圆片篮内的晶圆卡槽的数量相同，相邻两个光电传感器之间的间距与相邻两个晶圆卡槽之间的间距相等。4.根据权利要求1所述的组合式晶圆检...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴凌峰，刘大威，徐铭，
申请(专利权)人：江苏启微半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：