烘干槽及硅片清洗设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种烘干槽及硅片清洗设备，包括：槽体、槽体进风管路、槽体出风管路以及高转速风机；所述槽体进风管路一端与所述槽体连接，另一端与所述高转速风机的出风口连接；所述槽体出风管路一端与所述槽体连接，另一端与所述高转速风机的进风口连接。使用一个7.5KW的高转速风机代替两个7.5KW的高压风机，烘干效果相似，不仅大大节省了能耗，而且可以在较小的设备中也可以实用，解决了原有结构的局限性。局限性。局限性。

【技术实现步骤摘要】
烘干槽及硅片清洗设备


[0001]本技术涉及硅片干燥领域，具体涉及一种烘干槽及硅片清洗设备。

技术介绍

[0002]在太阳能电池片制备过程中，对硅片的清洗、加工处理，要用到湿法处理清洗设备。现有600片烘干槽使用2个7.5KW的高压风机，能耗大且所占设备内部空间大，如所需设备较小，内部空间有限则无法安装。
[0003]上述问题是目前亟待解决的。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种烘干槽及硅片清洗设备，从而实现使用一个高转速风机代替两个高压风机对硅片进行烘干，解决原有结构的局限性。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种烘干槽，包括：
[0006]槽体、槽体进风管路、槽体出风管路以及高转速风机，所述高转速风机的数量为一个，所述槽体进风管路一端与所述槽体连接，另一端与所述高转速风机的出风口连接；所述槽体出风管路一端与所述槽体连接，另一端与所述高转速风机的进风口连接。
[0007]进一步的，所述槽体为长方体结构，槽体的长度在1200mm至1700mm之间，槽体的宽度在700mm至1000mm之间，槽体的高度在350mm至600mm之间，所述高转速风机设置在所述槽体的宽度方向的侧壁外，槽体的长度、宽度和高度在上述数值范围内，可以容纳600片硅片。
[0008]进一步的，所述高转速风机为永磁高速鼓风机，功率为7.5KW。
[0009]进一步的，所述槽体进风管路包括第一进风管以及第二进风管；
[0010]所述第一进风管以及所述第二进风管均设置在所述槽体的下方，且沿槽体长度方向并排设置。
[0011]进一步的，所述第一进风管以及所述第二进风管上依次设置有加热组件、第一过滤器，
[0012]所述加热组件适于对所述第一进风管以及所述第二进风管内的气流进行加热；
[0013]被加热后的气流经过所述第一过滤器过滤后进入到所述槽体内。
[0014]进一步的，所述槽体出风管路包括第一出风管、第二出风管以及出风主管；
[0015]所述第一出风管以及所述第二出风管均设置在所述槽体的下方，且沿所述槽体的长度方向设置；
[0016]所述第一出风管以及所述第二出风管的气流汇流之后与所述出风主管连接；
[0017]所述出风主管与所述高转速风机的进风口连接。
[0018]进一步的，新风主管，所述新风主管与所述出风主管连通；
[0019]所述槽体出风管路还包括第二过滤器；所述第二过滤器设置在所述槽体的宽度方向的侧壁，且与所述高转速风机设置在同一个侧壁外；新风通过所述第二过滤器进入所述新风主管、所述出风主管后，流至所述高转速风机的进风口。
[0020]进一步的，所述新风主管沿所述槽体的高度方向设置，所述新风主管与所述第二过滤器之间分别通过第一新风输入管以及第二新风输入管连接；所述第一新风输入管以及所述第二新风输入管沿所述槽体的宽度方向设置，且设置在所述高转速风机上方。
[0021]本技术还提供了一种硅片清洗设备，包括如上述的烘干槽。
[0022]进一步的，所述硅片清洗设备还包括设备底板；所述槽体、槽体进风管路、槽体出风管路以及高转速风机均设置在所述设备底板上方；所述设备底板上开设有避让孔；
[0023]所述避让孔包括第一组避让孔和第二组避让孔，且设置在所述槽体的宽度方向上；
[0024]所述槽体进风管路先穿设第一组避让孔后穿设第二组避让孔，再沿所述槽体长度方向延伸。
[0025]本技术的有益效果是，本技术提供了一种烘干槽及硅片清洗设备，包括：槽体、槽体进风管路、槽体出风管路以及高转速风机，所述高转速风机的数量为一个；所述槽体进风管路一端与所述槽体连接，另一端与所述高转速风机的出风口连接；所述槽体出风管路一端与所述槽体连接，另一端与所述高转速风机的进风口连接。使用一个7.5KW的高转速风机代替两个7.5KW的高压风机，烘干效果相似，不仅大大节省了能耗，而且可以在较小的设备中也可以实用，解决了原有结构的局限性。
附图说明
[0026]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0027]图1是本技术所提供的烘干槽的正视图。
[0028]图2是本技术所提供的烘干槽的结构示意图。
[0029]图3是本技术所提供的烘干槽的原理框图。
[0030]图中：100、槽体；200、槽体进风管路；210、第一进风管；220、第二进风管；230、第一过滤器；300、槽体出风管路；310、第一出风管；320、第二出风管；330、出风主管；340、新风主管；341、第一新风输入管；342、第二新风输入管；350、第二过滤器；400、高转速风机；500、加热组件；600、设备底板；610、避让孔；611
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第一组避让孔；612
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第二组避让孔。
具体实施方式
[0031]现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。
[0032]实施例1
[0033]请参阅图1
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图3，本技术实施例提供了一种烘干槽，包括：槽体100、槽体进风管路200、槽体出风管路300以及高转速风机400，所述高转速风机400的数量为一个；所述槽体进风管路200一端与所述槽体100连接，另一端与所述高转速风机400的出风口连接；所述槽体出风管路300一端与所述槽体100连接，另一端与所述高转速风机400的进风口连接。使用一个7.5KW的高转速风机400代替两个7.5KW的高压风机，烘干效果相似，不仅大大节省了能耗，而且可以在较小的设备中也可以实用，解决了原有结构的局限性。
[0034]在本实施例中，高转速风机400具体为永磁高速鼓风机，功率为7.5KW，最高转速为24000(R.P.M),相比罗茨鼓风机节能可达35％，相比漩涡式鼓风机节能最高可达50％,低噪
音、低振动,节能高效；主机、电气、控制系统高度集成，结构简单，体积小，重量轻，便于安装。可以根据现场使用要求在人机交互界面进行参数调节，并能过多功能监控能力即时获取运行参数，有效防止机器和控制器的超载和损坏,操作简单、智能控制。因此，永磁高速离心鼓风机具有节能、高效、噪音低、运行可靠和长期无需维修保养的特点
[0035]在本实施例中，所述槽体100为长方体结构，槽体100的长度在1200mm至1700mm之间，槽体的宽度在700mm至1000mm之间，槽体的高度在350mm至600mm之间，槽体的长度、宽度和高度在上述数值范围内，可以容纳600片硅片，针对600片的烘干槽，采用一个高转速风机，可实现有效烘干，所述高转速风机400设置在所述槽体100的宽度方向的侧壁外。通过在槽体100的侧壁的外部设置高转速风机400，从而优化了烘干槽的整体的空间利用率，减少了烘干槽外部设备的空间占用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种烘干槽，其特征在于，包括：槽体、槽体进风管路、槽体出风管路以及高转速风机，所述高转速风机的数量为一个；所述槽体进风管路一端与所述槽体连接，另一端与所述高转速风机的出风口连接；所述槽体出风管路一端与所述槽体连接，另一端与所述高转速风机的进风口连接。2.如权利要求1所述的烘干槽，其特征在于，所述槽体为长方体结构，槽体的长度在1200mm至1700mm之间，槽体的宽度在700mm至1000mm之间，槽体的高度在350mm至600mm之间，所述高转速风机设置在所述槽体的宽度方向的侧壁外。3.如权利要求1或2所述的烘干槽，其特征在于，所述高转速风机为永磁高速鼓风机，功率为7.5KW。4.如权利要求3所述的烘干槽，其特征在于，所述槽体进风管路包括第一进风管以及第二进风管；所述第一进风管以及所述第二进风管均设置在所述槽体的下方，且沿槽体长度方向并排设置。5.如权利要求4所述的烘干槽，其特征在于，所述第一进风管以及所述第二进风管上依次设置有加热组件、第一过滤器，所述加热组件适于对所述第一进风管以及所述第二进风管内的气流进行加热；被加热后的气流经过所述第一过滤器过滤后进入到所述槽体内。6.如权利要求3所述的烘干槽，其特征在于，所述槽体出风管路包括第一出风管、第二出风管以及出风主管；所述第一出风管以及所述第二出风管均设置在所述槽体的下方，且沿...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，侯东，余兴梅，万红朝，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：