一种带照明的FFU系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种带照明的FFU系统，包括下壳体、设置在下壳体内的过滤器组件和照明系统、上壳体、以及设置在上壳体内的风机组件和控制装置，所述上壳体扣合固定在过滤器组件上以使风机组件位于过滤器组件的上方、照明系统位于上壳体的外侧，所述控制装置上设有灯源电源接口，照明系统的电源线连接至灯源电源接口。本实用新型专利技术可以安装在空间紧凑的小规格单片清洗设备的工艺腔体内，既可以实现工艺腔体内的气体净化，也可以实现照明功能，最大效率的利用了单片清洗设备的内部空间，避免因空间问题而舍弃照明系统。间问题而舍弃照明系统。间问题而舍弃照明系统。

【技术实现步骤摘要】
一种带照明的FFU系统


[0001]本技术涉及一种FFU系统，尤其涉及一种带照明的FFU系统。

技术介绍

[0002]半导体湿法设备的设备内部通常需要进行湿法化学反应，湿法化学反应产生的气体导致设备内部工艺区域的气体环境变得不纯洁，为了让设备内部维持纯净稳定的气体环境，通常需要在工艺区上方安装FFU系统，利用FFU系统使设备内建立良好的循环气场流。
[0003]FFU系统以下的工艺区通常需要照明系统为设备内部提供照明，现有的照明系统与FFU系统分别独立设计，照明系统通常安装在FFU系统的侧边，然而，该种结构虽然可以有效的实现FFU和照明的功能，但是对于空间紧凑的设备而言，特别是小规格单片清洗设备的工艺腔体，在设计了FFU系统之后，通常情况没有额外的空间来安装照明系统。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术提供了一种带照明的FFU系统，该FFU系统可以安装在空间紧凑的小规格单片清洗设备的工艺腔体内，既可以实现工艺腔体内的气体净化，也可以实现照明功能，最大效率的利用了单片清洗设备的内部空间，避免因空间问题而舍弃照明系统。
[0005]一种带照明的FFU系统，包括下壳体、设置在下壳体内的过滤器组件和照明系统、上壳体、以及设置在上壳体内的风机组件和控制装置，所述上壳体扣合固定在过滤器组件上以使风机组件位于过滤器组件的上方、照明系统位于上壳体的外侧，所述控制装置上设有灯源电源接口，照明系统的电源线连接至灯源电源接口。
[0006]优选地，所述下壳体为上、下开口的矩形方框，其上边缘向外弯折形成有用以将整个FFU系统安装在工艺区上方的法兰边、下边缘向内延伸出有用以承托过滤器组件和照明系统的支撑边，过滤器组件位于照明系统的一侧，且过滤器组件和照明系统的上部均伸出下壳体的上边缘。
[0007]优选地，所述过滤器组件包括过滤器、设置在过滤器与下壳体之间的密封垫。
[0008]优选地，所述下壳体通过钣金工艺折弯加工而成，下壳体的外表面喷涂有耐腐蚀涂层。
[0009]优选地，所述照明系统包括照明灯、设置在照明灯下方的透光板以及设置在照明灯上方的散热板。
[0010]优选地，所述散热板通过钣金工艺折弯加工而成，散热板的表面喷涂有耐腐蚀涂层。
[0011]优选地，所述上壳体的顶部设有风口，上壳体的下边缘向外弯折形成有用以与过滤器组件进行固定的固定折边，所述风机组件的上部从风口伸出。
[0012]优选地，所述上壳体的顶部还安装有拉手。
[0013]优选地，所述风机组件包括固定在上壳体内的风机安装座、固定在风机安装座上
的风机、固定在上壳体的风口处的风机上盖罩、以及固定在风机上盖罩上的风机防护网。
[0014]优选地，所述风机安装座和风机上盖罩均通过钣金工艺折弯加工而成，风机安装座和风机上盖罩的表面均喷涂有耐腐蚀涂层。
[0015]本技术的有益效果是：
[0016]1、本申请将照明系统和FFU系统合并为一体，将两个系统安装在一个壳体内，不仅降低了两个系统安装所需的空间，使其适用于工艺腔体空间狭小的小规格单片清洗设备，提高小规格单片清洗设备内部空间的利用率，避免因空间问题而舍弃照明系统，而且也简化了FFU系统和照明系统的安装结构，在设计上壳体和下壳体时就能定型其骨架尺寸大小，缩减了设计人员的设计时间，不需要另行考虑照明系统的设计。
[0017]2、本申请利用控制装置来控制照明系统的开关，将照明系统的电源线直接接至控制装置上的灯源电源接口，使FFU系统和照明系统的控制于一体，简化照明系统的照明灯线的布线、走线。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0019]图1是带照明的FFU系统的立体示意图。
[0020]图2是带照明的FFU系统的仰视图。
[0021]图3是下壳体内安装照明系统的示意图。
[0022]图4是下壳体内安装过滤器组件和照明系统的示意图。
[0023]图5是上壳体内安装风机安装座和控制装置的示意图。
[0024]图中标号的含义为：
[0025]1为下壳体，11为法兰边，12为支撑边，
[0026]2为上壳体，21为风口，22为固定折边，23为拉手，
[0027]3为过滤器组件，31为过滤器，
[0028]4为照明系统，41为照明灯，42为透光板，43为散热板，
[0029]5为风机组件，51为风机安装座，52为风机，53为风机上盖罩，54为风机防护网，
[0030]6为控制装置，61为灯源电源接口。
具体实施方式
[0031]为了更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
[0032]应当明确，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]下面通过具体的实施例并结合附图对本申请做进一步的详细描述。
[0034]在本申请的描述中，除非另有规定或说明，术语“多个”是指两个或两个以上；术语
“
连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0035]本说明书的描述中，需要理解的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。
[0036]本技术给出一种带照明的FFU系统，包括下壳体1、上壳体2、设置在下壳体1内的过滤器组件3和照明系统4、以及设置在上壳体2内的风机组件5和控制装置6。
[0037]所述下壳体1为上、下开口的矩形方框，其上边缘向外弯折形成有用以将整个FFU系统安装在工艺区上方的法兰边11、下边缘向内延伸出有用以承托过滤器组件3和照明系统4的支撑边12，过滤器组件3位于照明系统4的一侧，且过滤器组件3和照明系统4的上部均伸出下壳体1的上边缘。本实施例中，过滤器组件3设置于照明系统4的左侧，过滤器组件3高于照明系统4。
[0038]所述上壳体2的顶部设有风口21，上壳体2的下边缘向外弯折形成有用以与过滤器组件3进行固定的固定折边22。风机组件5和控制装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带照明的FFU系统，其特征在于，包括下壳体、设置在下壳体内的过滤器组件和照明系统、上壳体、以及设置在上壳体内的风机组件和控制装置，所述上壳体扣合固定在过滤器组件上以使风机组件位于过滤器组件的上方、照明系统位于上壳体的外侧，所述控制装置上设有灯源电源接口，照明系统的电源线连接至灯源电源接口。2.根据权利要求1所述的带照明的FFU系统，其特征在于，所述下壳体为上、下开口的矩形方框，其上边缘向外弯折形成有用以将整个FFU系统安装在工艺区上方的法兰边、下边缘向内延伸出有用以承托过滤器组件和照明系统的支撑边，过滤器组件位于照明系统的一侧，且过滤器组件和照明系统的上部均伸出下壳体的上边缘。3.根据权利要求2所述的带照明的FFU系统，其特征在于，所述过滤器组件包括过滤器、设置在过滤器与下壳体之间的密封垫。4.根据权利要求1或2所述的带照明的FFU系统，其特征在于，所述下壳体通过钣金工艺折弯加工而成，下壳体的外表面喷涂有耐腐蚀涂层。5.根据权利要求1或2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈聪，徐铭，刘大威，
申请(专利权)人：江苏启微半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：