【技术实现步骤摘要】
一种芯片测试设备
[0001]本专利技术涉及芯片的检测领域,更具体地说,涉及一种芯片测试设备。
技术介绍
[0002]芯片测试设备对芯片加电,并对芯片进行电性能的测试。芯片测试设备包括探针装置,探针装置包括驱动装置、支撑面板、探针座、探针。探针安装在探针座上,探针座安装在支撑面板上,支撑面板由驱动装置驱动而携带探针上下移动,当探针碰触到芯片上的正极和负极后,外部电源会通过探针向芯片供电,从而实现对芯片的加电。
[0003]不同类型的芯片需要匹配不同尺寸的探针座。因此在测试不同的芯片时需要安装相匹配的探针座。在现有技术中探针座通常是通过螺丝连接在支撑面板上,如果要更换探针座,作业人员首先需要位于探针装置附近,之后逐一旋松各个螺丝以将旧的探针座拆卸下,安装上新的探针座后,再逐一旋紧各个螺丝。由于作业人员处于探针装置附近,直接在支撑面板上拆卸或者安装探针座,操作空间受限,从而加大了更换难度。并且无法确保新的探针座的安装精度。
[0004]因此,如何降低更换探针座的难度,同时确保探针座的安装精度,是本领域技术人员亟待解决的关键性问题。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的是何降低更换探针座的难度,同时确保探针座的安装精度。为实现上述目的,本专利技术提供了如下技术方案:
[0006]一种芯片测试设备,包括探针装置和驱动装置,所述探针装置包括支撑面板、探针座、探针,所述探针连接于所述探针座上,所述探针座连接于所述支撑面板上,所述支撑面板连接于所述驱动装置的驱动端,所述驱动装置通过所述 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种芯片测试设备,其特征在于,包括探针装置(1)和驱动装置,所述探针装置(1)包括支撑面板(15)、探针座(11)、探针(12),所述探针(12)连接于所述探针座(11)上,所述探针座(11)连接于所述支撑面板(15)上,所述支撑面板(15)连接于所述驱动装置的驱动端,所述驱动装置通过所述支撑面板(15)、所述探针座(11)驱动所述探针(12)对芯片扎针;所述探针装置(1)还包括磁性耦合座(13),所述磁性耦合座(13)包括相互吸合的公磁座(132)和母磁座(131),所述母磁座(131)的磁吸面上设置有磁吸孔(133),所述公磁座(132)的磁吸面上设置有与所述磁吸孔(133)适配的磁吸头(134),所述磁吸孔(133)为多个,每个所述磁吸孔(133)对应一个所述磁吸头(134),所述公磁座(132)和所述母磁座(131)中的一个与所述支撑面板(15)连接,另一个与所述探针座(11)可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的芯片测试设备,其特征在于,所述磁吸孔(133)为三个,其中两个所述磁性孔(133)分布在所述母磁座(131)的磁吸面的两个角部,另外一个所述磁吸孔(133)设置在所述母磁座(131)的磁吸面的与所述两个角部相对的边部的中心。3.根据权利要求1所述的芯片测试设备,其特征在于,所述公磁座(132)安装在所述支撑面板(15)上,所述母磁座(131)与所述探针座(11)可拆卸连接,所述公磁座(132)在前后方向上的侧部设置有凹弧部(135),所述母磁座(131)与所述公磁座(132)相互吸合时在所述凹弧部(135)处形成利于人手进入的空间。4.根据权利要求3所述的芯片测试设备,其特征在于,所述探针座(11)包括座板(111)和连接板(112),所述连接板(112)垂直连接于所述座板(111)的一侧,所述连接板(112)与所述母磁座(131)连接,所述探针(12)安装在所述座板(111)的下方,所述座板(111)的上表面安装有线路板(16),所述探针(12)的顶部与所述线路板(16)上的接头抵接,所述接头通过线束与外电源连接。5.根据权利要求3所述的芯片测试设备,其特征在于,所述夹具(8)在前后方向上具有两排芯片装夹槽(83),所述探针(12)为呈前后布置的两组;所述公磁座(132)通过侧旋角度调制轴(14)安装在所述支撑面板(15)上,所述侧旋角度调制轴(14)包括调制轴(142)、调制块(141)、导轨块(143)、支撑块(144),所述导轨块(143)固定在所述支撑面板(15)上,所述导轨块(143)具有水平面内沿着前后方向延伸的弧形导轨,所述调制块(141)滑动配合于所述弧形导轨上,所述支撑块(144)连接于所述调制块(141)的下方,所述支撑块(144)与所述公磁座(132)连接,所述调制轴(142)沿着前后方向布置,且所述调制轴(142)螺纹配合于所述调制块(141)内。6.根据权利要求1所述的芯片测试设备,其特征在于,所述芯片测试设备还包括:夹具(8)、上下料盘装置(4)、吸盘装置(2)、载台装置(5)、光学测量装置(6),所述驱动装置为三轴驱动装置(7),所述吸盘装置(2)安装在所述支撑面板(15)上,所述吸盘装置(2)用于吸附所述夹具(8);在所述三轴驱动装置(7)的前侧,沿着所述三轴驱动装置(7)的左右轴向依次设置有所述上下料盘装置(4)和所述载台装置(5);所述上下料盘装置(4)中的料盘(41)可沿着前后方向移动,所述载台装置(5)沿着左右方向布置;所述吸盘装置(2)能够将所述料盘(41)上的所述夹具(8)转移到所述载台装置(5)上;所述夹具(8)上沿着左右方向具有多个芯片装夹槽(83),所述光学测量装置(6)包括光学测量组件以及左右平移装置(66),所述左右平移装置(66)驱动所述光学测量组件沿着左右方向移动。
7.根据权利要求6所述的芯片测试设备,其特征在于,所述吸盘装置(2)包括吸盘(21)、吸盘固定板(22)、吸盘气缸(23),所述吸盘气缸(23)设置在所述支撑面板(15)上,所述吸盘固定板(22)与所述吸盘气缸(23)的活塞连接,所述吸盘(21)设置在所述吸盘固定板(22)上;所述夹具(8)包括夹具本体和盖板(82),所述盖板(82)锁紧在所述夹具本体的中间位置,所述吸盘(21)可吸附所述盖板(82),且所述吸盘(21)为左右分布的两个。8.根据权利要求7所述的芯片测试设备,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:张华,薛银飞,王文艺,李家桐,
申请(专利权)人:无锡菲光科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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