一种硅烷试剂储存装置及硅烷化处理设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅烷试剂储存装置及硅烷化处理设备，其中硅烷试剂储存装置包括罐体和两个气动隔膜泵，罐体内部中空，且罐体的顶部对应密封固定密封盖，罐体的底部设置有进液管和出液管，两个气动隔膜泵分别与进液管和出液管连通，以控制所述罐体内的硅烷试剂的总量，另外密封盖上设置有充气装置和排气装置，排气装置在气动隔膜泵向罐体内充入硅烷试剂保持开启，并在罐体内的硅烷试剂达到预定量时关闭，充气装置用于在罐体内的硅烷试剂达到预定量时向罐体内充入惰性气体，使硅烷试剂与密封盖之间能够充满惰性气体，且使所述罐体内的压力达到预设压力，有效解决了现有技术中大量高温的硅烷试剂无法及时进行长时间储存的问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种硅烷试剂储存装置及硅烷化处理设备


[0001]本技术涉及表面改性
，进一步地涉及一种硅烷试剂储存装置及硅烷化处理设备。

技术介绍

[0002]随着我国航天事业的发展，近地轨道航天器的应用日趋增多。由于低轨航天器运行环境中存在大量高活性的原子氧，会使航天器暴露于空间环境的表面材料如聚酰亚胺、环氧树脂、含氟塑料等发生强烈的氧化与侵蚀，质量损失和性能退化严重，直接导致构件失效。通过活化硅烷化表面改性技术在聚酰亚胺薄膜等航天材料上植入梯度防护层，可以大幅度提高基材的防原子氧性能，满足低轨航天器表面材料的防原子氧需求。
[0003]硅烷化是活化硅烷化表面改性技术实施的关键工序。当产品研制多个批次，批次之间相隔时间较长时，硅烷化过程采用的硅烷试剂在未进行防护的环境下存放易吸潮变质，变质后的硅烷试剂会影响防原子氧表面改性层的改性效果，未能达到原子氧防护效果，导致产品报废，且硅烷试剂不宜长时间放置在表面改性设备上进行保温加热储存，也不宜暴露在空气中冷却。常规的密封装置与硅烷化处理设备联动性不高，不能实现在高温下及在惰性环境中进行转移储存硅烷试剂，迫切需求一种高温下惰性气氛储存装置与便捷输运装置。

技术实现思路

[0004]针对上述技术问题，本技术的目的在于提供一种硅烷试剂储存装置及硅烷化处理设备，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供一种硅烷试剂储存装置，包括：
[0006]罐体，所述罐体内部中空，且所述罐体的顶部设置有密封盖，所述罐体的底部设置有进液管和出液管，所述进液管和所述出液管分别用于硅烷试剂的充入和排出；
[0007]两个气动隔膜泵，分别与所述进液管和所述出液管连通，以控制所述罐体内的硅烷试剂的总量；
[0008]所述密封盖上设置有充气装置和排气装置；
[0009]所述排气装置在所述气动隔膜泵向所述罐体内充入硅烷试剂保持开启，并在所述罐体内的硅烷试剂达到预定量时关闭；
[0010]所述充气装置用于在所述罐体内的硅烷试剂达到预定量时向所述罐体内充入惰性气体，使所述硅烷试剂与所述密封盖之间能够充满惰性气体，且使所述罐体内的压力达到预设压力。
[0011]气动隔膜泵控制罐体内的硅烷试剂的输送与储存，使在硅烷试剂的输送与储存的过程均不需要通电运行，有效避免了因电火花引起的安全隐患，另外通过充气装置和排气装置的配合，使在罐体内存有预定量的硅烷试剂时，罐体内的所述硅烷试剂与所述密封盖之间能够充满惰性气体，有效提高罐体内的硅烷试剂的稳定性和安全性，从而延长硅烷试
剂的使用寿命。
[0012]在一些实施方式中，所述充气装置包括充气管、三通连接管、压力显示装置及充气调节阀，所述充气管的一端贯穿所述密封盖并连通所述罐体的内部，所述充气管的另一端连接所述三通连接管的一个接口，所述三通连接管的其他两个接口分别连通所述压力显示装置和所述充气调节阀。
[0013]通过设置压力显示装置使罐体内的气压得以显示，实现了人员能够根据显示的气压值，再通过调整充气和排气以确保罐体内的气压始终保持在一个正确的范围，充气调节阀用于控制充气时的流量，以精确控制罐体内的气压从而有效维持储存装置的稳定性和安全性。
[0014]在一些实施方式中，所述密封盖靠近所述罐体的一端设置有第一密封凸起，所述罐体的开口处对应设置有所述第二密封凸起，所述第二密封凸起和所述第一密封凸起对应贴合，所述第二密封凸起靠近所述第一密封凸起的一侧设有环形槽，所述环形槽内卡有氟橡胶密封圈。
[0015]第二密封凸起和第一密封凸起对应贴合的设定，增加了罐体与密封盖之间连接位置的接触面积，使罐体与密封盖的固定密封性更好，同时氟橡胶圈的设定强化了密封盖与罐体之间的固定连接的密封性。
[0016]在一些实施方式中，所述第一密封凸起与所述第二密封凸起之间的间隙涂覆含硅密封胶。
[0017]第一密封凸起与所述第二密封凸起的间隙涂覆含硅密封胶，进一步强化了密封盖与罐体之间的固定连接的密封性，有效避免了漏气现象的发生。
[0018]在一些实施方式中，所述第一密封凸起远离中心的边缘开设若干第一连接缺口，所述第二密封凸起对应设置若干第二连接缺口，所述第一连接缺口与所述第二连接缺口对应并均通过吊环螺栓连接。
[0019]在一些实施方式中，所述罐体与所述密封盖一体成型。
[0020]在一些实施方式中，所述罐体的侧壁设置有液位计。
[0021]在一些实施方式中，所述气动隔膜泵均设置有压力调节阀和进气口，所述气动隔膜泵通过所述进气口连接有空压机，所述空压机用于所述气动隔膜泵给提供动力，所述压力调节阀用于调节所述气动隔膜泵输送硅烷试剂的流速。
[0022]在一些实施方式中，本技术提供的硅烷试剂储存装置还包括移动组件，所述罐体和所述气动隔膜泵均固定在所述移动组件上，所述移动组件上设置有至少两个支撑柱，所述罐体固定在所述支撑柱之间。
[0023]移动组件的设定使硅烷试剂储存装置的转移更方便，支撑柱使罐体底部留有安装进液管和出液管的空间。
[0024]根据本技术的另一方面，本技术进一步提供一种硅烷化处理设备，所述硅烷化处理装置包括上述任一实施方式中所述的硅烷试剂储存装置，所述硅烷化处理装置通过金属软管与所述烷化试剂储存装置连接。
[0025]与现有技术相比，本技术所提供的硅烷试剂储存装置具有以下有益效果：
[0026]1、本技术所提供的硅烷试剂储存装置及硅烷化处理设备，有效解决了现有技术中大量高温硅烷试剂无法及时进行长时间储存和因储存装置与硅烷化处理设备联动性
不高而导致不能及时安全的转移或储存硅烷试剂的问题，避免了硅烷试剂的浪费及节约研制中硅烷试剂的消耗成本，也为硅烷化处理的产品研制质量提供了保障。
[0027]2、本技术所提供的硅烷试剂储存装置，通过充气装置和排气装置的配合，使所述硅烷试剂与所述密封盖之间能够充满惰性气体，有效提高罐体内的硅烷试剂的稳定性和安全性，从而延长硅烷试剂的使用寿命。
[0028]3、本技术所提供的硅烷试剂储存装置，通过设置空压机提供动力驱动气动隔膜泵，从而控制罐体内的硅烷试剂的输送与储存，使硅烷试剂在输送与储存过程中，均不需要通电运行，有效避免了因电火花引起的安全隐患。
附图说明
[0029]下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对本技术的上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。
[0030]图1是本技术的优选实施例的硅烷试剂储存装置的立面结构示意图；
[0031]图2是本技术的优选实施例的硅烷试剂储存装置的正视结构示意图；
[0032]图3是本技术的优选实施例的硅烷试剂储存装置的侧视结构示意图。
[0033]附图标号说明：
[0034]罐体10，液位计11，密封盖20，排气阀21，排气管22，第一连接缺口23，充气调节阀24，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅烷试剂储存装置，其特征在于，包括，罐体，所述罐体内部中空，且所述罐体的顶部设置有密封盖，所述罐体的底部设置有进液管和出液管，所述进液管和所述出液管分别用于硅烷试剂的充入和排出；两个气动隔膜泵，分别与所述进液管和所述出液管连通，以控制所述罐体内的硅烷试剂的总量；所述密封盖上设置有充气装置和排气装置；所述排气装置在所述气动隔膜泵向所述罐体内充入硅烷试剂保持开启，并在所述罐体内的硅烷试剂达到预定量时关闭；所述充气装置用于在所述罐体内的硅烷试剂达到预定量时向所述罐体内充入惰性气体，使所述硅烷试剂与所述密封盖之间能够充满惰性气体，且使所述罐体内的压力达到预设压力。2.根据权利要求1所述的硅烷试剂储存装置，其特征在于，所述充气装置包括充气管、三通连接管、压力显示装置及充气调节阀，所述充气管的一端贯穿所述密封盖并连通所述罐体的内部，所述充气管的另一端连接所述三通连接管的一个接口，所述三通连接管的其他两个接口分别连通所述压力显示装置和所述充气调节阀。3.根据权利要求2所述的硅烷试剂储存装置，其特征在于，所述密封盖靠近所述罐体的一端设置有第一密封凸起，所述罐体的开口处对应设置有第二密封凸起，所述第二密封凸起和所述第一密封凸起对应贴合，所述第二密封凸起靠近所述第一密封凸起的一侧设有环形槽，所述环形槽内卡有氟橡胶密封圈。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：张锦麟，谷红宇，吕少波，齐振一，宋力昕，
申请(专利权)人：中国科学院上海硅酸盐研究所，
类型：新型
国别省市：