一种与石英舟一体式的保温结构制造技术

一种与石英舟一体式的保温结构，包括透明的石英管、托架以及石英舟，石英管以及石英舟搁置于托架上方，石英管套于石英舟外侧；石英舟包括石英舟本体以及连接于石英舟本体下方的保温架，石英舟本体与保温架为一体，保温架上可拆卸连接有不透明的石英板；本实用新型专利技术通过将石英舟本体与保温架一体设计，在装配上只需将石英舟单独进行装配即可，其较为方便，且石英板采用可拆卸连接，方便石英板的更换；而在石英管下半部的利用上，保温架位于石英管下半部内，其石英管下半部利用率较高。其石英管下半部利用率较高。其石英管下半部利用率较高。

【技术实现步骤摘要】
一种与石英舟一体式的保温结构


[0001]本技术涉及一种硅片加工制造领域，具体涉及一种与石英舟一体式的保温结构。

技术介绍

[0002]现有硅片在加工过程中一般都需要进行扩散处理，通过在石英舟上放置硅片，并且向石英管内通过扩散气体从而对硅片进行扩散处理(石英舟位于石英管内)；在硅片进行扩散处理过程中，还需对透明的石英管进行红外加热(即光辐射加热)，因此为防止热量流失，一般在石英管底部会放置保温桶，现有保温桶与石英舟为分体式，因此在使用过程中，需要对保温桶(即本技术插置有不透明石英板的保温架)与石英舟分别进行装配且装配位置都有要求，因此装配过程中较为麻烦，且现有石英管的扩散工艺区一般位于石英管上半部，其底部并不是硅片进行扩散的区域，因此石英管下半部空间并未进行很好的利用。

技术实现思路

[0003]本技术就是为了解决提供一种保温架与石英舟一体式的保温结构技术问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术一种与石英舟一体式的保温结构的技术解决方案为：
[0005]包括透明的石英管、托架以及石英舟；所述石英管以及石英舟搁置于托架上方；所述石英管套于石英舟外侧，所述石英舟包括石英舟本体以及连接于石英舟本体下方的保温架；所述石英舟本体与保温架为一体；所述保温架上可拆卸连接有不透明的石英板；所述保温架位于石英管下半部内。
[0006]所述托架上连接有进气管；所述进气管下端连接于托架侧边，进气管上端插置于石英舟本体内。
[0007]所述进气管上端高度高于托架顶部高度。
[0008]所述托架上方连接有定位环；所述托架其定位环内开设有定位孔；所述保温架连接有与定位孔相对应的定位插杆；所述定位插杆插置于与自身相对应的定位孔内；所述石英管下端套于定位环上。
[0009]所述托架上开设有两个定位孔，相对应的保温架下方连接有两根定位插杆。
[0010]所述保温架上开设有插接槽；所述石英板插置于插接槽上。
[0011]本技术可以达到的技术效果是：本技术一种与石英舟一体式的保温结构，包括透明的石英管、托架以及石英舟，石英管以及石英舟搁置于托架上方，石英管套于石英舟外侧；石英舟包括石英舟本体以及连接于石英舟本体下方的保温架，石英舟本体与保温架为一体，保温架上可拆卸连接有不透明的石英板；本技术通过将石英舟本体与保温架一体设计，在装配上只需将石英舟单独进行装配即可，其较为方便，且石英板采用可拆卸连接，方便石英板的更换；而在石英管下半部的利用上，保温架位于石英管下半部内，其石英管下半部空间利用率较高。
附图说明
[0012]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明：
[0013]图1是本技术一种与石英舟一体式的保温结构的结构示意图；
[0014]图2是本技术一种与石英舟一体式的保温结构的剖视图；
[0015]图3是图2的B部放大图；
[0016]图4是石英舟的结构示意图。
具体实施方式
[0017]下面结合附图对本技术作进一步详细的阐述。
[0018]参阅图1至图4。
[0019]一种与石英舟一体式的保温结构，包括透明的石英管1、托架2以及石英舟，石英管1以及石英舟搁置于托架2上方，石英管1套于石英舟外侧，石英舟包括石英舟本体3以及连接于石英舟本体3下方的保温架4，石英舟本体3与保温架4为一体，保温架4上可拆卸连接有不透明的石英板5；具体的，保温架4上开设有插接槽10，石英板5插置于插接槽10上；本技术通过将石英舟本体3与保温架4一体设计，在装备上只需对整体的石英舟进行装配即可，并不需要对保温架4再单独进行装配，其装配较为方便，且在不透明石英板5的连接上，石英板5采用插接的方式进行安装，方便后续石英板5的更换；保温架4位于石英管1下半部内，该设计合理利用了石英管1下半部多余的空间，其石英管1下半部利用率更高。
[0020]而在托架2的连接上，作为优选，托架2上方连接有定位环7，托架2其定位环7内开设有定位孔8，保温架4连接有与定位孔8相对应的定位插杆9；在石英舟的定位上，石英舟通过定位插杆9插置于与自身相对应的定位孔8内而进行定位；具体的，托架2上开设有两个定位孔8，相对应的保温架4下方连接有两根定位插杆9；而在石英管1的定位上，石英管1通过将自身下端套于定位环7上而进行定位。
[0021]本技术托架2上连接有进气管6，进气管6下端连接于托架2侧边，进气管6上端插置于石英舟本体3内；具体的，进气管6上端高度高于托架2顶部高度；本技术在扩散气体的通入过程中，通过向进气管6下端通入扩散气体即可向石英管1内通入扩散气体。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种与石英舟一体式的保温结构，包括透明的石英管(1)、托架(2)以及石英舟；所述石英管(1)以及石英舟搁置于托架(2)上方；所述石英管(1)套于石英舟外侧，其特征在于：所述石英舟包括石英舟本体(3)以及连接于石英舟本体(3)下方的保温架(4)；所述石英舟本体(3)与保温架(4)为一体；所述保温架(4)上可拆卸连接有不透明的石英板(5)；所述保温架(4)位于石英管(1)下半部内。2.根据权利要求1所述的一种与石英舟一体式的保温结构，其特征在于：所述托架(2)上连接有进气管(6)；所述进气管(6)下端连接于托架(2)侧边，进气管(6)上端插置于石英舟本体(3)内。3.根据权利要求2所述的一种与石英舟一体式的保温结构，其特征在于：所述进气管(6)上...

【专利技术属性】
技术研发人员：王卫良，李士昌，刘超平，傅镓炜，
申请(专利权)人：盛吉盛精密制造绍兴有限公司，
类型：新型
国别省市：