晶圆取放料手臂、机器人及加工设备制造技术

本申请适用于晶圆加工技术领域，提供一种晶圆取放料手臂、机器人及加工设备，所述晶圆取放料手臂包括：安装部件；第一叉料机构，连接于所述安装部件；第二叉料机构，连接于所述安装部件；所述第一叉料机构的长度方向与所述第二叉料机构的长度方向存在夹角。本申请的实施例提供的晶圆取放料手臂能提高生产效率。例提供的晶圆取放料手臂能提高生产效率。例提供的晶圆取放料手臂能提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
晶圆取放料手臂、机器人及加工设备


[0001]本申请属于晶圆加工
，更具体地说，涉及一种晶圆取放料手臂、机器人及加工设备。

技术介绍

[0002]在半导体或LED(light
‑
emitting diode，发光二极管)行业，需要使用晶圆搬运机器人执行晶圆上下料任务。目前的晶圆搬运机器人的机械臂需要先完成下料动作后再执行上料动作，即：当载台上的产品加工完成时，机械臂先从载台上将产品取下并放入料盒，再从料盒取出一片产品放到载台上。在机械臂取放料的过程中，载台一直处于等待状态，导致降低生产效率。

技术实现思路

[0003]本申请的实施例提供一种晶圆取放料手臂、机器人及加工设备，能提高生产效率。
[0004]第一方面，本申请的实施例提供一种晶圆取放料手臂，包括：
[0005]安装部件；
[0006]第一叉料机构，连接于所述安装部件；
[0007]第二叉料机构，连接于所述安装部件；
[0008]所述第一叉料机构的长度方向与所述第二叉料机构的长度方向存在夹角。
[0009]在第一方面的一些可能的实施方式中，所述晶圆取放料手臂还包括：
[0010]第一弹性部件，所述第一叉料机构通过所述第一弹性部件弹性连接于所述安装部件；
[0011]第二弹性部件，所述第二叉料机构通过所述第二弹性部件弹性连接于所述安装部件。
[0012]在第一方面的一些可能的实施方式中，所述晶圆取放料手臂还包括：
[0013]第一导轨，所述第一叉料机构通过所述第一导轨连接于所述安装部件；
[0014]第二导轨，所述第二叉料机构通过所述第二导轨连接于所述安装部件。
[0015]在第一方面的一些可能的实施方式中，所述第一叉料机构包括：
[0016]第一转接部件，连接于所述安装部件；
[0017]第一叉料部件，连接于所述第一转接部件；
[0018]所述第二叉料机构包括：
[0019]第二转接部件，连接于所述安装部件；
[0020]第二叉料部件，连接于所述第二转接部件。
[0021]在第一方面的一些可能的实施方式中，所述安装部件具有第一安装位和第二安装位；
[0022]所述第一转接部件包括：
[0023]第一转接主体，连接于所述第一叉料部件；
[0024]第一抵顶部，连接于所述第一转接主体且设置于所述第一安装位内；
[0025]所述第一弹性部件设置于所述第一安装位内，所述第一弹性部件的一端抵顶于所述第一抵顶部，所述第一弹性部件的另一端抵顶于所述第一安装位的壁面；
[0026]所述第二转接部件包括：
[0027]第二转接主体，连接于所述第二叉料部件；
[0028]第二抵顶部，连接于所述第二转接主体且设置于所述第二安装位内；
[0029]所述第二弹性部件设置于所述第二安装位内，所述第二弹性部件的一端抵顶于所述第二抵顶部，所述第二弹性部件的另一端抵顶于所述第二安装位的壁面。
[0030]在第一方面的一些可能的实施方式中，所述晶圆取放料手臂还包括：
[0031]第一传感器，设置于所述安装部件；
[0032]第二传感器，设置于所述安装部件；
[0033]第一感应触发部件，设置于所述第一叉料机构，以跟随所述第一叉料机构移动至触发所述第一传感器；
[0034]第二感应触发部件，设置于所述第二叉料机构，以跟随所述第二叉料机构移动至触发所述第二传感器。
[0035]在第一方面的一些可能的实施方式中，所述晶圆取放料手臂还包括：
[0036]第一阻挡部件，设置于所述第一叉料机构；
[0037]第二阻挡部件，设置于所述第二叉料机构。
[0038]在第一方面的一些可能的实施方式中，所述夹角大于0
°
且小于或等于180
°
。
[0039]在第一方面的一些可能的实施方式中，所述晶圆取放料手臂还包括：
[0040]连接部件，连接于所述安装部件。
[0041]第二方面，本申请的实施例提供一种机器人，包括上述任一项所述的晶圆取放料手臂。
[0042]第三方面，本申请的实施例提供一种加工设备，包括上述任一项所述的晶圆取放料手臂。
[0043]本申请的实施例存在的有益效果是：
[0044]第一叉料机构和第二叉料机构连接于安装部件，第一叉料机构的长度方向与第二叉料机构的长度方向存在大于0
°
的夹角，通过一个驱动装置(比如机器人主体)即可驱动第一叉料机构和第二叉料机构取放料，使得其中一个叉料机构执行上料任务，另一个叉料机构执行下料任务，能节省等待时间，能提高生产效率。
附图说明
[0045]为了更清楚地说明本申请的实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0046]图1为本申请一实施例提供的晶圆取放料手臂的立体图；
[0047]图2为本申请一实施例提供的晶圆取放料手臂的结构分解图；
[0048]图3为本申请一实施例提供的晶圆取放料手臂的另一个角度的立体图；
[0049]图4为本申请一实施例提供的机器人的工作状态图。
具体实施方式
[0050]为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图1至图4及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0051]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0052]需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0053]应当理解，在本申请说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
[0054]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0055]本申请的实施例提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆取放料手臂，其特征在于，包括：安装部件；第一叉料机构，连接于所述安装部件；第二叉料机构，连接于所述安装部件；所述第一叉料机构的长度方向与所述第二叉料机构的长度方向存在夹角。2.如权利要求1所述的晶圆取放料手臂，其特征在于，所述晶圆取放料手臂还包括：第一弹性部件，所述第一叉料机构通过所述第一弹性部件弹性连接于所述安装部件；第二弹性部件，所述第二叉料机构通过所述第二弹性部件弹性连接于所述安装部件。3.如权利要求2所述的晶圆取放料手臂，其特征在于，所述晶圆取放料手臂还包括：第一导轨，所述第一叉料机构通过所述第一导轨连接于所述安装部件；第二导轨，所述第二叉料机构通过所述第二导轨连接于所述安装部件。4.如权利要求3所述的晶圆取放料手臂，其特征在于，所述第一叉料机构包括：第一转接部件，连接于所述安装部件；第一叉料部件，连接于所述第一转接部件；所述第二叉料机构包括：第二转接部件，连接于所述安装部件；第二叉料部件，连接于所述第二转接部件。5.如权利要求4所述的晶圆取放料手臂，其特征在于，所述安装部件具有第一安装位和第二安装位；所述第一转接部件包括：第一转接主体，连接于所述第一叉料部件；第一抵顶部，连接于所述第一转接主体且设置于所述第一安装位内；所述第一弹性部件设置于所述第一安装位内，所述第一弹性部件的一端抵顶于所述第一抵顶部，所述第一弹性部件...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟胜，唐建刚，曾威，高云峰，
申请(专利权)人：深圳市大族半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：