发光器件及其制造方法技术

提供一种设计自由度高且可靠性良好的电子器件或发光器件。该发光器件的制造方法包括：在包括第一电极的衬底上形成包含有机化合物的发光层；在光源的光谱的峰中位于最短波长的峰的波长比所述有机化合物的吸收光谱的吸收端中位于最长波长的吸收端长的照明下保持所述衬底；在所述发光层上形成牺牲层；通过光刻法至少将所述发光层加工为岛状形状；以及在所述发光层上形成第二电极。所述发光层上形成第二电极。所述发光层上形成第二电极。

【技术实现步骤摘要】
发光器件及其制造方法


[0001]本专利技术的一个方式涉及一种发光器件、显示模块、电子设备及其制造方法。
[0002]注意，本专利技术的一个方式不局限于上述
作为本专利技术的一个方式的
的例子，可以举出半导体装置、发光装置、蓄电装置、存储装置、电子设备、照明装置、输入装置(例如，触摸传感器等)、输入输出装置(例如，触摸面板等)、它们的驱动方法或它们的制造方法。

技术介绍

[0003]使用有机化合物且利用电致发光(EL：Electroluminescence)的发光器件(也称为发光元件)的实用化非常活跃。在这些有机EL器件的基本结构中，在一对电极之间夹有包含发光材料的有机化合物层。通过对该器件施加电压，注入载流子，利用该载流子的再结合能量，可以获得来自发光材料的发光。
[0004]例如，对包括发光器件的发光装置已在进行研发。利用EL现象的发光器件(也称为“EL器件”、“EL元件”)具有容易实现薄型轻量化；能够高速地响应输入信号；以及能够使用直流恒压电源等而驱动的特征等，并已将其应用于发光装置。
[0005]另外，近年来，发光装置被期待应用于各种用途。例如，作为大型发光装置的用途，可以举出家用电视装置(也称为电视或电视接收器)、数字标牌(Digital Signage)及公共信息显示器(PID：Public Information Display)等。此外，作为便携式信息终端，对具备触摸面板的智能手机及平板终端等已在进行研发。
[0006]另外，有发光装置的高清晰化的需求。作为需要高清晰发光装置的设备，例如面向虚拟现实(VR：Virtual Reality)、增强现实(AR：Augmented Reality)、替代现实(SR：Substitutional Reality)以及混合现实(MR：Mixed Reality)的设备的开发很活跃。
[0007]专利文献1公开了使用有机EL器件(也称为有机EL元件)的面向VR的发光装置。另外，专利文献2公开了一种驱动电压低且可靠性良好的发光器件，其中将包含过渡金属及非共有电子对的有机化合物的混合膜用于电子注入层。
[0008][专利文献1]国际专利申请公开第2018/087625号[专利文献2]日本专利申请公开第2018
‑
201012号公报

技术实现思路

[0009]本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种设计自由度高的发光装置。本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种显示质量高的发光装置。另外，本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种高清晰的发光装置。另外，本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种高分辨率的发光装置。另外，本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的发光装置。另外，本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种方便性、实用性或可靠性优异的新颖的发光装置。另外，本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种方便性、实用性或可靠性优异的新颖的显示模块。另外，本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种方便性、实用性或可靠性优异
的新颖的电子设备。另外，本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种新颖发光装置、新颖显示模块、新颖电子设备或新颖半导体装置。
[0010]注意，这些目的的记载并不妨碍其他目的的存在。本专利技术的一个方式并不需要实现所有上述目的。可以从说明书、附图、权利要求书的记载中抽取上述目的以外的目的。
[0011]本专利技术的一个方式是一种发光器件的制造方法，包括：在包括第一电极的衬底上形成包含有机化合物的发光层；在其光谱峰中最短波长的峰位于比有机化合物的吸收光谱的吸收端中最长波长的吸收端长的波长的光源的照明下保持衬底；在发光层上形成牺牲层；通过光刻法至少将发光层加工为岛状形状；以及在发光层上形成第二电极。
[0012]在上述一个方式中，也可以去除发光层上的牺牲层的至少一部分而在照明下保持衬底。
[0013]本专利技术的一个方式是一种发光器件的制造方法，包括：在包括第一电极的衬底上形成包含有机化合物的发光层；在发光层上形成牺牲层；通过光刻法至少将发光层加工为岛状形状；去除发光层上的牺牲层的至少一部分；在其光谱峰中最短波长的峰位于比有机化合物的吸收光谱的吸收端中最长波长的吸收端长波长的光源的照明下保持衬底；以及在发光层上形成第二电极。
[0014]在上述一个方式中，发光层所包含的有机化合物中具有最长波长的吸收端的有机化合物优选发射荧光。
[0015]在上述一个方式中，发光层所包含的有机化合物中具有最长波长的吸收端的有机化合物也可以不是配合物。
[0016]在上述一个方式中，优选的是，发光层所包含的有机化合物中具有最长波长的吸收端的有机化合物的HOMO能级为
‑
5.8eV以上。
[0017]本专利技术的一个方式是一种发光器件的制造方法，包括：在包括第一电极的衬底上形成发光层；在其光谱峰中最短波长的峰位于480nm以上的波长的光源的照明下保持衬底；在发光层上形成牺牲层；通过光刻法至少将发光层加工为岛状形状；以及在发光层上形成第二电极。
[0018]在上述一个方式中，也可以去除发光层上的牺牲层的至少一部分而在照明下保持衬底。
[0019]本专利技术的一个方式是一种发光器件的制造方法，包括：在包括第一电极的衬底上形成发光层；在发光层上形成牺牲层；通过光刻法至少将发光层加工为岛状形状；去除发光层上的牺牲层的至少一部分；在其光谱峰中最短波长的峰位于480nm以上的波长的光源的照明下保持衬底；以及在发光层上形成第二电极。
[0020]在上述一个方式中，优选的是，光源的光谱峰中最短波长的峰位于500nm以上的波长。
[0021]在上述一个方式中，优选的是，光源的光谱峰中最短波长的峰位于550nm以上的波长。
[0022]本专利技术的一个方式是一种发光器件的制造方法，包括：在包括第一电极的衬底上形成发光层；在照度为120勒克斯以下的照明下保持衬底；在发光层上形成牺牲层；通过光刻法至少将发光层加工为岛状形状；以及在发光层上形成第二电极。
[0023]在上述一个方式中，也可以去除发光层上的牺牲层的至少一部分而在照明下保持
衬底。
[0024]本专利技术的一个方式是一种发光器件的制造方法，包括：在包括第一电极的衬底上形成发光层；在发光层上形成牺牲层；通过光刻法至少将发光层加工为岛状形状；去除发光层上的牺牲层的至少一部分；在照度为120勒克斯以下的照明下保持衬底；以及在发光层上形成第二电极。
[0025]在上述一个方式中，照度优选为10勒克斯以下。
[0026]在上述一个方式中，优选在含氧气氛下保持衬底。
[0027]本专利技术的另一个方式是一种发光器件，其中在上述结构中的第一电极与第二电极之间包括中间层、上述发光层以及第二发光层。专利技术效果
[0028]根据本专利技术的一个方式，可以提供一种设计自由度高的发光装置。根据本专利技术的一个方式，可以提供一种显示质量高的发光装置。另外，根据本专利技术的一个方式，可以提供一种高清晰的发光装置。另本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种发光器件的制造方法，包括如下步骤：在设置有第一电极的衬底上形成包含有机化合物的发光层；在其光谱峰中最短波长的峰位于比所述有机化合物的吸收光谱的吸收端中最长波长的吸收端长的波长的光源的照明下保持所述衬底；在所述发光层上形成牺牲层；通过光刻法至少将所述发光层加工为岛状形状；以及在所述发光层上形成第二电极。2.根据权利要求1所述的发光器件的制造方法，其中去除所述发光层上的所述牺牲层的至少一部分，并且在所述照明下保持所述衬底。3.根据权利要求1所述的发光器件的制造方法，其中所述发光层所包含的所述有机化合物中具有最长波长的吸收端的有机化合物发射荧光。4.根据权利要求1所述的发光器件的制造方法，其中所述发光层所包含的所述有机化合物中具有最长波长的吸收端的有机化合物不是配合物。5.根据权利要求1所述的发光器件的制造方法，其中所述发光层所包含的所述有机化合物中具有最长波长的吸收端的有机化合物的HOMO能级为
‑
5.8eV以上。6.根据权利要求1所述的发光器件的制造方法，其中在含氧气氛下保持所述衬底。7.一种发光器件的制造方法，包括如下步骤：在设置有第一电极的衬底上形成发光层；在其光谱峰中最短波长的峰位于480nm以上的波长的光源的照明下保持所述衬底；在所述发光层上形成牺牲层；通过光刻法至少将所述发光层加工为岛状形状；以及在所述发光层上形成第二电极。8.根据权利要求7所述的发光器件的制造方法，其中去除所述发光层上的所述牺牲层的至少一部分，并且在所述照明下保持所述衬底。9.根据权利要求7所述的发光器件的制造方法，其中所述光源的所述光谱峰中最短波长的峰位于500nm以上的波长。10.根据权利要求7所述的发光器件的制造方法，其中所述光源的所述光谱峰中最短波长的峰位于550nm以上的波长。11.根据权利要求7所述的发光器件的制造方法，其中在含氧气氛下保持所述衬底。12.一种发光器件的制造方法，包括如下步骤：在设置有第一电极的衬底上形成发光层；在照度为120勒克斯以下的...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡部刚吉，大泽信晴，
申请(专利权)人：株式会社半导体能源研究所，
类型：发明
国别省市：