本实用新型专利技术公开一种隔音罩、机械泵组件及真空镀膜装置，属于隔音降噪技术领域；其中，隔音罩包括罩体和柔性的隔音件，罩体具有能容纳机械泵的腔体，腔体的开口朝下设置，罩体设有与腔体连通的通孔，隔音件沿着通孔的内壁面设置，并形成能供机械泵的管件穿设的安装孔；另外，机械泵组件包括泵体和隔音罩，泵体设在腔体内，泵体设有管件，管件穿设在安装孔；真空镀膜装置包括机械泵组件。本实用新型专利技术不仅能促使机械泵得到保护作用，而且还能解决机械泵运行所引发的噪音污染问题。所引发的噪音污染问题。所引发的噪音污染问题。
【技术实现步骤摘要】
隔音罩、机械泵组件及真空镀膜装置
[0001]本技术属于隔音降噪
，特别涉及一种隔音罩、机械泵组件及真空镀膜装置。
技术介绍
[0002]对于现在太阳能电池生产线用的PVD(也即物理气相沉积，Physical Vapor Deposition)镀膜设备，电池片市场提出产能提升的需求，因此，PVD设备中的腔体抽气时间需要尽量缩短。然而，对于常用于腔体抽气工作的机械泵而言，其通常裸露在PVD设备的外面，存在着一定的安全性问题，而且，其在工作运行中会剧烈振动，并产生刺耳的噪音，给车间造成一定的噪音污染，因此，机械泵工作所产生的噪音污染成为一大难题。
[0003]虽然安装人员将机械泵放置在电柜里，可以减少部分噪音，但是，电柜和机械泵成为一体，电柜会随着机械泵一起振动，还是会产生噪音，可见，这种方式无法很好地解决噪音污染问题。
技术实现思路
[0004]本技术目的在于提供一种隔音罩、机械泵组件及真空镀膜装置，不仅能对机械泵提供一定的保护作用，而且还能够解决机械泵运行所产生的噪音污染问题。
[0005]为解决上述技术问题所采用的技术方案：
[0006]第一方面，本技术提供一种隔音罩，其包括罩体和柔性的隔音件，所述罩体具有能容纳机械泵的腔体，所述腔体的开口朝下设置，所述罩体设有与所述腔体连通的通孔，所述隔音件沿着所述通孔的内壁面设置，并形成能供机械泵的管件穿设的安装孔。
[0007]本技术至少具有如下的有益效果：在使用该隔音罩时，将罩体直接往下罩住机械泵，并促使机械泵的管件穿过罩体的通孔，然后利用隔音件来填充通孔的内壁面与管件之间的间隙，令机械泵完全位于封闭腔内，那么，在机械泵运行过程中，机械泵剧烈振动所产生的噪音无法传播至罩体之外，而且，罩体与机械泵并无直接接触，罩体不会随机械泵的振动而振动，从而能同时解决了机械泵的安全性问题以及机械泵引发的噪音污染问题。
[0008]作为上述技术方案的进一步改进，所述罩体包括隔音板；所述隔音板设有多块，所有的所述隔音板可拆连接，并形成所述腔体。如此设置，可以根据机械泵的规格尺寸，采用多块隔音板来快速组装出相应的罩体，让罩体能够完全罩住机械泵。
[0009]作为上述技术方案的进一步改进，所述隔音板包括依次层叠连接的穿孔板块、蜂窝结构层和背面板块，所述穿孔板块靠近所述腔体设置。隔音板采用如此的结构设计，能形成共振吸声结构，并起到优良的吸声效果。
[0010]作为上述技术方案的进一步改进，所述蜂窝结构层为蜂窝棉层。在穿孔板块和背面板块之间采用蜂窝棉层，能够吸收射入的声波能量，对声波起到衰减作用，尤其是对高频的吸收能力非常强，从而进一步提升隔音罩的吸音降噪效果。
[0011]作为上述技术方案的进一步改进，相邻两所述隔音板通过搭扣连接。如此设置，无
需借助辅助工具便可拆装隔音板，非常方便。
[0012]作为上述技术方案的进一步改进，其中一所述隔音板设有把手和所述通孔。在设置有通孔的隔音板上增加把手，能够为工作人员在机械泵维护工作中提供施力点，使得隔音板的拆装更为便利。
[0013]作为上述技术方案的进一步改进，所述罩体的下方设有所述隔音件，所述隔音件与所述罩体连接，并覆盖所述腔体的开口。在罩体的腔体开口处设置隔音件，那么，可以防止腔体内的声波经地面传播开来，使隔音效果更佳。
[0014]作为上述技术方案的进一步改进，所述隔音件为隔音棉。
[0015]第二方面，本技术提供一种机械泵组件，其包括泵体和上述技术方案任一所述的隔音罩，所述泵体设在所述腔体内，所述泵体设有管件，所述管件穿设在所述安装孔。
[0016]第三方面，本技术提供一种真空镀膜装置，其包括上述技术方案所述的机械泵组件。
附图说明
[0017]下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明；
[0018]图1是本技术实施例所提供的机械泵组件的结构示意图；
[0019]图2是本技术实施例所提供的隔音罩的结构立体图；
[0020]图3是本技术实施例所提供的隔音罩中，隔音板的结构示意图；
[0021]图4是本技术实施例所提供的隔音罩中，穿孔板块的结构示意图。
[0022]附图中标记如下：100、罩体；110、隔音板；111、顶板；112、侧板；113、第一板块；114、第二板块；115、穿孔板块；116、蜂窝结构层；117、背面板块；118、圆孔；120、第一通孔；130、第二通孔；140、第三通孔；200、搭扣；300、把手；400、隔音件；500、抽真空管。
具体实施方式
[0023]本部分将详细描述本技术的具体实施例，本技术之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本技术的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本技术保护范围的限制。
[0024]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0025]在本技术的描述中，如果具有“若干”之类的词汇描述，其含义是一个或者多个，多个的含义是两个及以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二、第三只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0026]需要说明的是，附图中X方向是由隔音罩的后侧指向前侧；Y方向是由隔音罩的左侧指向右侧；Z方向是由隔音罩的下侧指向上侧。
[0027]本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。
[0028]参照图1至图4，下面对本技术的隔音罩、机械泵组件及真空镀膜装置举出若干实施例。
[0029]如图1至图4所示，本技术实施例提供了一种隔音罩，能够配合机械泵来使用，可以同时解决机械泵因外露的安装方式而存在的安全隐患以及机械泵在运行时所产生的噪音污染问题，并且，能有效隔绝机械泵所带来的振动视觉效果。
[0030]隔音罩的结构包括有罩体100和柔性的隔音件400。
[0031]其中，罩体100内部中空形成有腔体，腔体的开口朝下设置，以便工作人员将罩体100往下罩住机械泵。可以理解的是，若机械泵安装在地面，则罩体100会与地面相接触，促使腔体呈封闭状态，与外界隔绝。腔体的形状可以呈圆柱状、棱柱状、半球状或其他形状，腔体的形状和大小可以根据实际情况设置，在此不做具体限定，只需要腔体的形状和尺寸满足能容纳机械泵的条件即可。<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种隔音罩，其特征在于，包括罩体和柔性的隔音件，所述罩体具有能容纳机械泵的腔体，所述腔体的开口朝下设置，所述罩体设有与所述腔体连通的通孔，所述隔音件沿着所述通孔的内壁面设置，并形成能供机械泵的管件穿设的安装孔。2.根据权利要求1所述的隔音罩，其特征在于，所述罩体包括隔音板；所述隔音板设有多块，所有的所述隔音板可拆连接，并形成所述腔体。3.根据权利要求2所述的隔音罩，其特征在于，所述隔音板包括依次层叠连接的穿孔板块、蜂窝结构层和背面板块，所述穿孔板块靠近所述腔体设置。4.根据权利要求3所述的隔音罩，其特征在于，所述蜂窝结构层为蜂窝棉层。5.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：广东利元亨智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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