挡板机构及真空镀膜设备制造技术

本申请涉及一种挡板机构，包括安装板、位置调节组件及挡板组件，挡板组件与位置调节组件连接，以在位置调节组件的作用下沿膜材的宽度方向调节位置，挡板组件沿膜材的宽度方向调节位置的过程中可经过镀膜位置；当挡板组件位于镀膜位置时，靶材能够穿过挡板组件及安装板并吸附于膜材的镀膜区域，且挡板组件能够吸附漂浮至其他方向的靶材。将挡板组件调节至镀膜位置，靶材从挡板机构远离膜材的一侧释放，然后靶材穿过挡板组件及安装板并吸附于膜材的镀膜区域，确保镀层的位置精确。而挡板组件的位置可通过位置调节组件进行调节，无需人工手动调节，而且可在线调节，无需停机后调节，调节效率高。本申请还涉及一种真空镀膜设备。本申请还涉及一种真空镀膜设备。本申请还涉及一种真空镀膜设备。

【技术实现步骤摘要】
挡板机构及真空镀膜设备


[0001]本技术涉及镀膜设备
，特别是涉及一种挡板机构及真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]在真空镀膜设备中，需要实现镀层在膜材宽度方向的尺寸精确，并且避免靶材漂浮至其他工位或膜材的其他位置，故需要设置挡板，将漂浮至其他方向的靶材吸附到挡板上。但是现有的挡板一般是采用手动放置，调节时需要停机然后手动调节，调节的效率低。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对现有的挡板的调节效率低的问题，提供一种调节调率高的挡板机构及真空镀膜设备。
[0004]一种挡板机构，包括：
[0005]安装板；
[0006]位置调节组件，设置于所述安装板；及
[0007]挡板组件，与所述位置调节组件连接，以在所述位置调节组件的作用下沿膜材的宽度方向调节位置；
[0008]其中，所述挡板组件沿膜材的宽度方向调节位置的过程中可经过镀膜位置；
[0009]当所述挡板组件位于所述镀膜位置时，靶材能够穿过所述挡板组件及所述安装板并吸附于膜材的镀膜区域。
[0010]通过设置上述的挡板机构，将挡板组件调节至镀膜位置，靶材从挡板机构远离膜材的一侧释放，然后靶材穿过挡板组件及安装板并吸附于膜材的镀膜区域，确保镀层的位置精确。而挡板组件的位置可通过位置调节组件进行调节，无需人工手动调节，而且可在线调节，无需停机后调节，调节效率高。
[0011]在其中一个实施例中，所述挡板机构还包括间距调节组件，所述间距调节组件设置于所述安装板，且与所述位置调节组件连接，所述间距调节组件用于驱动所述位置调节组件靠近和远离膜材，以调节所述挡板组件与膜材之间的间距。
[0012]在其中一个实施例中，所述间距调节组件包括间距调节驱动件、第一传动单元及调节支架，所述间距调节驱动件及所述第一传动单元均设置于所述安装板，且所述间距调节驱动件通过所述第一传动单元与所述调节支架传动连接，以驱动所述调节支架靠近和远离膜材，所述位置调节组件及所述挡板组件均设置于所述调节支架，且所述挡板组件沿膜材的宽度方向可往复移动。
[0013]在其中一个实施例中，所述第一传动单元包括导向杆、驱动轴及传动凸轮，所述导向杆设置于所述安装板，所述调节支架可移动地设置于所述导向杆，所述驱动轴连接于所述间距调节驱动件和所述传动凸轮之间，所述调节支架与所述传动凸轮配接，以在所述传动凸轮转动的过程中靠近和远离膜材。
[0014]在其中一个实施例中，所述挡板机构还包括机架及密封组件，所述安装板设置于
所述机架，所述密封组件设置于所述安装板，且所述密封组件能够与所述机架相抵接，以与所述机架围合形成镀膜空间，靶材能够穿过所述安装板及所述挡板组件并进入所述镀膜空间。
[0015]在其中一个实施例中，所述挡板机构还包括翻转组件，所述翻转组件设置于所述机架，所述密封组件及所述安装板均设置于所述翻转组件，所述翻转组件能够驱动所述密封组件及所述安装板在工作位置和避让位置之间转动；
[0016]当所述密封组件和所述安装板位于所述工作位置时，所述密封组件与所述机架相抵接，所述挡板组件沿膜材的宽度方向调节位置的过程中可经过所述镀膜位置；
[0017]当所述密封组件和所述安装板位于所述避让位置时，所述密封组件与所述机架分离。
[0018]在其中一个实施例中，所述挡板机构还包括第一冷却组件，所述第一冷却组件与所述挡板组件连接，以对所述挡板组件进行冷却。
[0019]在其中一个实施例中，所述位置调节驱动件包括位置调节驱动件及第二传动单元，所述位置调节驱动件设置于所述安装板，且通过所述第二传动单元与所述挡板组件传动连接，以沿膜材的宽度方向调节所述挡板组件的位置。
[0020]在其中一个实施例中，所述第二传动单元包括滑动支架、传动齿条及传动齿轮组，所述滑动支架沿膜材的宽度方向可往复移动地设置于所述安装板，所述挡板组件及所述传动齿条均设置于所述滑动支架，所述位置调节驱动件与所述传动齿轮组传动连接，且所述传动齿轮组与所述传动齿条相啮合。
[0021]在其中一个实施例中，所述挡板组件包括第一挡板及第二挡板，所述第一挡板及所述第二挡板沿膜材的宽度间隔布设于所述位置调节组件；
[0022]当所述挡板组件位于所述镀膜位置时，靶材能够穿过所述第一挡板和所述第二挡板之间并吸附于膜材的镀膜区域。
[0023]一种真空镀膜设备，所述真空镀膜设备包括上述挡板机构。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1为本申请一实施例提供的挡板机构的应用结构示意图；
[0026]图2为图1所示的挡板机构的俯视结构示意图；
[0027]图3为图1所示的挡板机构中A处结构放大示意图；
[0028]图4为图1所示的挡板机构中部分的结构示意图；
[0029]图5为图4所示的部分的俯视结构示意图；
[0030]图6为图4所示的部分中B处结构放大示意图；
[0031]图7为图4所示的部分中C处结构放大示意图；
[0032]图8为本申请另一实施例中挡板机构的结构示意图；
[0033]图9为图8所示的挡板机构的俯视结构示意图。
具体实施方式
[0034]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
[0035]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0036]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0037]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种挡板机构，其特征在于，包括：安装板；位置调节组件，设置于所述安装板；及挡板组件，与所述位置调节组件连接，以在所述位置调节组件的作用下沿膜材的宽度方向调节位置；其中，所述挡板组件沿膜材的宽度方向调节位置的过程中可经过镀膜位置；当所述挡板组件位于所述镀膜位置时，靶材能够穿过所述挡板组件及所述安装板并吸附于膜材的镀膜区域。2.根据权利要求1所述的挡板机构，其特征在于，所述挡板机构还包括间距调节组件，所述间距调节组件设置于所述安装板，且与所述位置调节组件连接，所述间距调节组件用于驱动所述位置调节组件靠近和远离膜材，以调节所述挡板组件与膜材之间的间距。3.根据权利要求2所述的挡板机构，其特征在于，所述间距调节组件包括间距调节驱动件、第一传动单元及调节支架，所述间距调节驱动件及所述第一传动单元均设置于所述安装板，且所述间距调节驱动件通过所述第一传动单元与所述调节支架传动连接，以驱动所述调节支架靠近和远离膜材，所述位置调节组件及所述挡板组件均设置于所述调节支架，且所述挡板组件沿膜材的宽度方向可往复移动。4.根据权利要求3所述的挡板机构，其特征在于，所述第一传动单元包括导向杆、驱动轴及传动凸轮，所述导向杆设置于所述安装板，所述调节支架可移动地设置于所述导向杆，所述驱动轴连接于所述间距调节驱动件和所述传动凸轮之间，所述调节支架与所述传动凸轮配接，以在所述传动凸轮转动的过程中靠近和远离膜材。5.根据权利要求1所述的挡板机构，其特征在于，所述挡板机构还包括机架及密封组件，所述安装板设置于所述机架，所述密封组件设置于所述安装板，且所述密封组件能够与所述机架相抵接，以与所述机架围合形成镀膜空间，靶材能够穿过所述安装板及所述挡板组件并进入所述镀膜空间。6.根据权利要求5所述的挡板机构，其特征在于，所述挡板机构还包括翻转...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：上海先导慧能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：