本实用新型专利技术提供了一种测量装置,包括底座、第一安装架、第二安装架、第三安装架、激光测量模块、射线测量模块、图像检测模块、第一驱动机构和第二驱动机构,第一安装架安装于底座上,第二安装架与第三安装架均滑动连接于底座;激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块三者中的一者滑动连接于第一安装架上,并在第一驱动机构的驱动下移动,另外两者一对一连接于第二安装架和第三安装架上,并在第二驱动机构的驱动下使得连接于第二安装架以及第三安装架上的两者运动;通过激光测量模块检测待测物的厚度、射线测量模块检测待测物的面密度、图像检测模块获取待测物的表面图像并分析待测物是否存在划痕,获得多个数据分析维度,提高检测效率。提高检测效率。提高检测效率。
【技术实现步骤摘要】
一种测量装置
[0001]本技术涉及测量设备领域,主要涉及一种测量装置。
技术介绍
[0002]在膜类材料的生产中,为保证膜类材料的质量,在形成膜类材料后,需要对膜类材料的面密度、厚度以及膜类材料表面情况进行检测。
[0003]现有的测量设备通常通过射线发射装置发出一定强度的射线(如X射线、β射线)来穿透极片,再以射线接收装置检测射线穿过极片后的射线强度,从而根据射线强度的变化计算出极片的面密度。对于可能出现的细小划痕(划痕宽度远小于射线光斑的宽度),测量设备进行面密度检测时,细小划痕容易被平均掉,难以检测出细小划痕的存在。
[0004]现有的测量设备通常通过两个相对设置的激光测距器,两个相对设置的激光测距器分别位于膜类材料的两侧,通过两个激光测距器分别检测两个激光测距器与膜类材料的表面之间的距离,进而计算出膜类材料的厚度。但激光只能检测极片的厚度变化,只有划痕具有一定纵向深度时,激光检测才可识别,对于纵向深度较浅的划痕,激光检测很难识别出来。
技术实现思路
[0005]鉴于上述现有技术的不足之处,本技术的目的在于提供一种测量装置,能够同时测量待测物的面密度、厚度以及检测出具有纵向深度的细微划痕和纵向深度较浅的划痕。
[0006]为了达到上述目的,本技术采取了以下技术方案:
[0007]一种测量装置,包括:底座、第一安装架、第二安装架、第三安装架、激光测量模块、射线测量模块、图像检测模块、第一驱动机构和第二驱动机构,所述第一安装架安装于所述底座,所述第二安装架与所述第三安装架均滑动连接于所述底座;所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者中的一者滑动连接于所述第一安装架,所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块中的另两者一对一安装于所述第二安装架和所述第三安装架;所述第一驱动机构安装于所述第一安装架,用于驱动所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者中与所述第一安装架滑动连接的一者运动,所述第二驱动机构安装于所述底座,用于驱动所述第二安装架和所述第三安装架运动。
[0008]一种测量装置,包括:底座、第一安装架、第二安装架、第三安装架、激光测量模块、射线测量模块、图像检测模块、第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构,所述第一安装架安装于所述底座,所述第二安装架与所述第三安装架均滑动连接于所述底座;所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者中的一者滑动连接于所述第一安装架,所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块中的另两者一对一安装于所述第二安装架和所述第三安装架;所述第一驱动机构安装于所述第一安装架,用于驱动所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者中与所述第一安装架滑
动连接的一者运动;所述第二驱动机构安装于所述底座,用于驱动所述第二安装架运动;所述第三驱动机构安装于所述底座,用于驱动所述第三安装架运动。
[0009]一种测量装置,包括:底座、第一安装架、第二安装架、第三安装架、激光测量模块、射线测量模块、图像检测模块、第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构,所述第一安装架滑动连接于所述底座,所述第二安装架与所述第三安装架均安装于所述底座;所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者中的一者安装于所述第一安装架,所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块中的另两者一对一安装于所述第二安装架和所述第三安装架;所述第一驱动机构安装于所述底座,用于驱动所述第一安装架运动;所述第二驱动机构安装于所述第二安装架,用于驱动激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者中与所述第二安装架滑动连接的一者运动;所述第三驱动机构安装于所述第三安装架,用于驱动激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者中与所述第三安装架滑动连接的一者运动。
[0010]本申请的一些测量装置中,所述第一安装架、所述第二安装架和所述第三安装架三者中至少有一者为“回”字形框架。
[0011]本申请的一些测量装置中,所述第一安装架、所述第二安装架和所述第三安装架三者中至少有一者为“C”字形框架。
[0012]本申请的一些测量装置中,所述图像检测模块包括第一相机,所述第一相机的镜头处设有第一光源。
[0013]本申请的一些测量装置中,所述图像检测模块包括第二相机,所述第二相机的镜头与所述第一相机的镜头相对。
[0014]本申请的一些测量装置中,所述第二相机的镜头处设有第二光源。
[0015]本申请的一些测量装置中,所述射线测量模块包括射线发射组件、射线接收组件;所述射线发射组件包括基体、射线发射器,所述射线发射器安装在基体上,所述射线发射器上具有射线口,所述射线口中可发出射线;所述基体上安装有双向驱动件,所述双向驱动件的第一端安装有第一连接件,所述双向驱动件的第二端安装有第二连接件;所述第一连接件上安装有第一校准片,所述第二连接件上安装有第二校准片;所述双向驱动件可驱动所述第一连接件与所述第二连接件交替进行相向运动和相背运动,当双向驱动件驱动所述第一校准片和所述第二校准片均运动至射线口处时,所述第一校准片与所述第二校准片实现层叠。
[0016]本申请的一些测量装置中,所述射线测量模块包括射线发射组件、射线接收组件;所述射线发射组件包括基体、射线发射器,所述射线发射器安装在基体上,所述射线发射器上具有射线口,所述射线口中可发出射线;所述基体上安装有第一驱动件和第二驱动件,所述第一驱动件上安装有第一连接件,所述第二驱动件上安装有第二连接件;所述第一连接件上安装有第一校准片,所述第二连接件上安装有第二校准片;所述第一驱动件可驱动所述第一连接件运动,所述第二驱动件可驱动所述第二连接件运动,当所述第一校准片和所述第二校准片均运动至射线口处时,所述第一校准片与所述第二校准片实现层叠。
[0017]有益效果:本申请的测量装置包括底座、第一安装架、第二安装架、第三安装架、激光测量模块、射线测量模块、图像检测模块、第一驱动机构、第二驱动机构,第一安装架安装于底座上,第二安装架与第三安装架均滑动连接于底座;激光测量模块、射线测量模块和图
像检测模块三者中的一者滑动连接于第一安装架上,一者连接于第二安装架上,另一者连接于第三安装架上,第一驱动机构安装于第一安装架,用于驱动激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块三者中与第一安装架滑动连接的一者运动,第二驱动机构安装于底座,用于驱动第二安装架和第三安装架运动,使得激光测量模块、射线测量模块和图像检测模块三者中与第二安装架滑动连接的一者以及与第三安装架滑动连接的一者运动。其中,通过激光测量模块检测待测物的厚度,射线测量模块检测待测物的面密度,图像检测模块获取待测物的表面图像,并且分析待测物是否存在划痕,实现了待测物面密度、厚度以及划痕检测的同时检测,获得多个数据分析维度,提高了物料检测的效率。
附图说明
[0018]图1是本申请一实施例中的测量装置的结构示意图。
[001本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种测量装置,其特征在于,包括:底座、第一安装架、第二安装架、第三安装架、激光测量模块、射线测量模块、图像检测模块、第一驱动机构和第二驱动机构,所述第一安装架安装于所述底座,所述第二安装架与所述第三安装架均滑动连接于所述底座;所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者中的一者滑动连接于所述第一安装架,所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块中的另两者一对一安装于所述第二安装架和所述第三安装架;所述第一驱动机构安装于所述第一安装架,用于驱动所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者中与所述第一安装架滑动连接的一者运动,所述第二驱动机构安装于所述底座,用于驱动所述第二安装架和所述第三安装架运动。2.一种测量装置,其特征在于,包括:底座、第一安装架、第二安装架、第三安装架、激光测量模块、射线测量模块、图像检测模块、第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构,所述第一安装架安装于所述底座,所述第二安装架与所述第三安装架均滑动连接于所述底座;所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者中的一者滑动连接于所述第一安装架,所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块中的另两者一对一安装于所述第二安装架和所述第三安装架;所述第一驱动机构安装于所述第一安装架,用于驱动所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者中与所述第一安装架滑动连接的一者运动;所述第二驱动机构安装于所述底座,用于驱动所述第二安装架运动;所述第三驱动机构安装于所述底座,用于驱动所述第三安装架运动。3.一种测量装置,其特征在于,包括:底座、第一安装架、第二安装架、第三安装架、激光测量模块、射线测量模块、图像检测模块、第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构,所述第一安装架滑动连接于所述底座,所述第二安装架与所述第三安装架均安装于所述底座;所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者中的一者安装于所述第一安装架,所述激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块中的另两者一对一安装于所述第二安装架和所述第三安装架;所述第一驱动机构安装于所述底座,用于驱动所述第一安装架运动;所述第二驱动机构安装于所述第二安装架,用于驱动激光测量模块、所述射线测量模块和所述图像检测模块三者...
【专利技术属性】
技术研发人员:张孝平,丁德甲,乔中涛,尚允坤,
申请(专利权)人:常州市大成真空技术有限公司,
类型:新型
国别省市:
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