本实用新型专利技术涉及单晶炉领域,具体公开了一种带观察窗的单晶炉炉盖,观察窗包括设于炉盖本体上的观察口、钢化玻璃、环形的压板、弹簧、密封圈以及螺杆,观察口处外围形成环形槽,所述弹簧位于环形槽内,环形槽外围形成凸环,所述弹簧的上方设有密封圈,密封圈的内圈设有放置钢化玻璃的凹槽,所述压板内圈压紧钢化玻璃、密封圈内圈以及弹簧于环形槽内,所述压板的外圈压紧密封圈外圈于凸环顶面,所述螺杆穿过凸环和密封圈外圈螺纹连接凸环顶面,所述凸环下表面设有插入密封圈内圈的凸部。螺杆会向下压紧压板于凸环上,弹簧会向上压紧密封圈于压板上,一方面能实现密封圈的密封压紧,另一方面能够给螺杆一个反作用力,避免螺杆因为震动松动。动松动。动松动。
【技术实现步骤摘要】
带观察窗的单晶炉炉盖
[0001]本技术涉及单晶炉领域,尤其是涉及一种带观察窗的单晶炉炉盖。
技术介绍
[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]炉盖由副室连接法兰、翻板阀、观察窗抽真空管道组成,主要用来取直径信号,观察炉内情况,测量直径,一个氩气口,对下炉室充气,一个闸板阀可以隔离上、下炉室。
[0004]但是现有的观察窗一般通过螺丝直接拧紧固定在炉盖上,无法实现始终压紧,无法保证连接的紧密性,而且还会因为震动出现松动。
技术实现思路
[0005]为了解决上述问题,本技术提供了一种带观察窗的单晶炉炉盖,能实现始终压紧,保证连接的紧密性,避免因震动出现松动。
[0006]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种带观察窗的单晶炉炉盖,包括炉盖本体和设于炉盖本体上的观察窗、炉颈、热屏提升口,所述观察窗包括设于炉盖本体上的观察口、钢化玻璃、环形的压板、弹簧、密封圈以及螺杆,所述观察口处外围形成环形槽,所述弹簧位于环形槽内,所述环形槽外围形成凸环,所述弹簧的上方设有密封圈,密封圈的内圈设有放置钢化玻璃的凹槽,所述压板内圈压紧钢化玻璃、密封圈内圈以及弹簧于环形槽内,所述压板的外圈压紧密封圈外圈于凸环顶面,所述螺杆穿过凸环和密封圈外圈螺纹连接凸环顶面,所述凸环下表面设有插入密封圈内圈的凸部。使用时,螺杆会向下压紧压板于凸环上,弹簧会向上压紧密封圈于压板上,一方面能实现密封圈的密封压紧,另一方面能够给螺杆一个反作用力,避免螺杆因为震动松动。
[0007]进一步地,所述螺杆为6根,且均匀分布于凸环上。压紧效果好,稳定强。
[0008]进一步地,所述凸部呈环形。
[0009]综上所述,本技术的有益效果:螺杆会向下压紧压板于凸环上,弹簧会向上压紧密封圈于压板上,一方面能实现密封圈的密封压紧,另一方面能够给螺杆一个反作用力,避免螺杆因为震动松动。
附图说明
[0010]图1为本技术结构示意图;
[0011]图2为观察窗处剖视图;
[0012]图3为图2的部分结构示意图。
[0013]其中,炉盖本体1;观察窗2、观察口21、钢化玻璃22、环形的压板23、弹簧24、密封圈25、螺杆26、环形槽27、凸环28;凸部29;炉颈3;热屏提升口4。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0015]如图1
‑
3所示,一种带观察窗的单晶炉炉盖,包括炉盖本体1和设于炉盖本体1上的观察窗2、炉颈3、热屏提升口4,这些结构均可选用现有产品。
[0016]本产品的改进之处在于观察窗2与炉盖本体1的连接方式,所述观察窗2包括观察口21、钢化玻璃22、环形的压板23、弹簧24、密封圈25以及螺杆26,观察口21设于炉盖本体1上,所述观察口21连通炉盖本体1内。
[0017]所述观察口21处外围形成环形槽27,所述弹簧24位于环形槽27内,所述环形槽27外围形成凸环28,所述弹簧24的上方设有密封圈25,所述密封圈25为橡胶圈,密封圈25的内圈设有放置钢化玻璃22的凹槽,所述压板23内圈压紧钢化玻璃22、密封圈25内圈以及弹簧24于环形槽27内,所述压板23的外圈压紧密封圈25外圈于凸环28顶面,所述螺杆26穿过凸环28和密封圈25外圈螺纹连接凸环28顶面,所述凸环28下表面设有凸部29,密封圈25内圈与凸部29对应处设有凹部,凸部29插入凹部。所述螺杆26为6根,且均匀分布于凸环28上。所述凸部29呈环形。环形槽27内侧壁低于外侧壁,环形槽27外侧壁即为凸环28。
[0018]安装时,将弹簧24放入环形槽27内,然后在弹簧24和环形槽27上方放上密封圈25,密封圈25上方放上钢化玻璃22,然后在钢化玻璃22上方压上压板23,将螺杆26穿过压板23、密封圈25外圈插入凸环28,螺杆28压紧压板23、密封圈25、弹簧24于环形槽27,压板23压紧密封圈25、钢化玻璃22于环形槽27内圈顶部,完成安装,弹簧24向上顶住密封圈25于压板23上,进而向上顶紧螺杆28,防止螺杆28松动。
[0019]以上所述仅为本技术的优选实施例而已,并不用于限制本技术,尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种带观察窗的单晶炉炉盖,包括炉盖本体(1)和设于炉盖本体(1)上的观察窗(2)、炉颈(3)、热屏提升口(4),其特征在于:所述观察窗(2)包括设于炉盖本体(1)上的观察口(21)、钢化玻璃(22)、环形的压板(23)、弹簧(24)、密封圈(25)以及螺杆(26),所述观察口(21)处外围形成环形槽(27),所述弹簧(24)位于环形槽(27)内,所述环形槽(27)外围形成凸环(28),所述弹簧(24)的上方设有密封圈(25),密封圈(25)的内圈设有放置钢化玻璃(22)的凹槽,所述压板(...
【专利技术属性】
技术研发人员:倪建刚,
申请(专利权)人:浙江浩祥精密机械制造有限公司,
类型:新型
国别省市:
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