一种用于真空隔断的阀门制造技术

本实用新型专利技术属于真空镀膜设备技术领域，提出一种用于真空隔断的阀门，包括带阀口的阀体和带活塞杆的气缸，气缸的活动端设置有位于阀体内部的活塞杆，活塞杆的端部设置有连接头，阀体包括主腔和与主腔连通的侧腔，连接头的端部设置有中轴，中轴的两侧均设置有一对阀传动板，中轴与阀传动板通过带轴头的连杆连接，阀传动板朝向阀口的一侧设置有密封板，密封板沿侧腔和主腔长度方向活动且与两个阀口的中心线方向互相垂直，密封板朝向阀口的一侧设置有多个滚珠，密封板的两侧设置有沉槽，沉槽中设置有压簧柱，压簧柱与阀体的内端面活动接触。本装置设计合理、结构简单、驱动效率较好、密封效果较好且使用寿命较长，适合大规模推广。适合大规模推广。适合大规模推广。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空隔断的阀门


[0001]本技术属于真空镀膜设备
，涉及真空阀门，尤其涉及一种用于真空隔断的阀门。

技术介绍

[0002]真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等，后延伸到其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。真空镀膜主要有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。蒸发电极能够将蒸发舟上的镀膜材料加热蒸发，配合真空设备中打入的反应气体覆在工件上形成镀膜层。真空阀是真空镀膜设备中用来控制气体输送路径通断情况的重要器件，而采用隔断结构的真空阀以多腔室多层密封的方式来提高气体输送情况的控制效果。
[0003]现有专利CN202123451422.5一种高密封性真空隔断阀，包括阀体机构，所述阀体机构包括中载壳、导向组件和两组壳体组件，两组壳体分别固定设置于两个冷阱仓的底部并与对应两个冷阱仓均连通设置，所述导向组件固定设置于两个支撑架底部，且导向组件与两组壳体组件均固定连接，本技术对两个冷阱仓进行抽真空时，通过操纵控制器即可保证抽真空时的高密封性，避免了外部气体泄露的风险，安装高效，精确可控，极大提高了真空隔断阀的密封效果。不过，由于该阀体机构的阀芯采用轴向驱动密封的方式，与气压方向重叠的面积大且持续作用时间较长，导致气缸与阀芯在启闭瞬间需要克服的气压阻力较大，使用寿命也受到一定程度的影响；其次，阀芯与密封节点接触的瞬间缺乏有效的缓冲，会增加对阀芯端面的磨损，影响其密封效果。

技术实现思路

[0004]本技术针对上述的真空隔断阀所存在的技术问题，提出一种设计合理、结构简单、驱动效率较好、密封效果较好且使用寿命较长的一种用于真空隔断的阀门。
[0005]为了达到上述目的，本技术采用的技术方案为，本技术提供的一种用于真空隔断的阀门，包括阀体，所述阀体上设置有相对分布的两个阀口，所述阀体的外侧设置有气缸，所述气缸的活动端设置有位于阀体内部的活塞杆，所述活塞杆的端部设置有连接头，所述阀体包括主腔和与主腔连通的侧腔，所述连接头的端部设置有中轴，所述中轴的两侧均设置有一对阀传动板，所述中轴与阀传动板通过连杆连接，所述连杆的两端设置有与中轴和阀传动板连接的轴头，所述阀传动板朝向阀口的一侧设置有密封板，所述密封板沿侧腔和主腔长度方向活动且与两个阀口的中心线方向互相垂直，所述密封板朝向阀口的一侧设置有多个滚珠，所述滚珠分布在靠近密封板侧边的位置，所述密封板的两侧设置有沉槽，所述沉槽中设置有压簧柱，所述压簧柱与阀体的内端面活动接触。
[0006]作为优选，所述阀传动板包括面板部，所述面板部的两侧设置有侧板部，所述侧板部上设置有轴孔。
[0007]作为优选，所述密封板之间设置有隔板，所述隔板上设置有与中轴配合的轴瓦孔。
[0008]作为优选，所述压簧柱由弹性橡胶材料制成且其内部设置有螺旋弹簧。
[0009]作为优选，所述密封板的板面上设置有密封垫圈。
[0010]作为优选，所述阀体的外侧设置有多个加强筋板，所述隔板为回形结构且绕侧腔外壁周长分布。
[0011]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于：
[0012]1、本技术提供的一种用于真空隔断的阀门，利用滚珠可提高密封板动作的流畅程度，而且与阀口方向垂直活动的密封板可执行剪切动作，减小气压阻力，可提高阀门通断的效率，再加上压簧柱的缓冲作用，可提高密封板在密封终点的安全性，有利于延长本装置的实际使用寿命。本装置设计合理、结构简单、驱动效率较好、密封效果较好且使用寿命较长，适合大规模推广。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1为实施例提供的一种用于真空隔断的阀门在E
‑
E向的剖视图；
[0015]图2为实施例提供的一种用于真空隔断的阀门的主视图；
[0016]图3为图1中A结构的放大示意图；
[0017]以上各图中，1、阀体；1a、阀口；1b、主腔；1c、侧腔；1d、加强筋板；2、气缸；3、活塞杆；4、连接头；5、中轴；6、阀传动板；61、面板部；62、侧板部；7、连杆；71、轴头；8、密封板；9、滚珠；10、压簧柱；11、隔板；12、密封垫圈。
具体实施方式
[0018]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。为叙述方便，下文如出现“上”、“下”、“左”、“右”字样，仅表示与附图本身的上、下、左、右方向一致，并不对结构起限定作用。
[0019]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
[0020]实施例，如图1、图2和图3所示，本技术提供的一种用于真空隔断的阀门，包括阀体1，所述阀体1上设置有相对分布的两个阀口1a，阀体1的外侧设置有气缸2，气缸2的活动端设置有位于阀体1内部的活塞杆3，活塞杆3的端部设置有连接头4，阀体1包括主腔1b和与主腔1b连通的侧腔1c，连接头4的端部设置有中轴5，中轴5的两侧均设置有一对阀传动板6，中轴5与阀传动板6通过连杆7连接，连杆7的两端设置有与中轴5和阀传动板6连接的轴头71，阀传动板6朝向阀口1a的一侧设置有密封板8，密封板8沿侧腔1c和主腔1b长度方向活动且与两个阀口1a的中心线方向互相垂直，密封板8朝向阀口1a的一侧设置有多个滚珠9，滚
珠9分布在靠近密封板8侧边的位置，密封板8的两侧设置有沉槽，沉槽中设置有压簧柱10，压簧柱10与阀体1的内端面活动接触。
[0021]具体地，滚珠9用来减小密封板8与阀口1a边缘活动配合的阻力，以提高密封板8动作的流畅程度，而且与阀口1a方向垂直活动的密封板8可执行剪切动作，减小气压阻力，可提高阀门通断的效率。压簧柱10在接触阀体1内端面瞬间可发挥一定的缓冲作用，提高密封板8在密封终点的安全性，以保护密封板8，进而延长本装置的实际使用寿命。进一步地，气缸2驱动活塞杆3、连接柱和中轴5作同步运动的过程中，连杆7带动阀传动板6和密封板8移动，而连杆7在中轴5与阀传动板6之间可做摆幅较小的平面运动，尤其是在气缸2启动瞬间和制动终点能够分别保证密封板8的启动平衡性和密封张紧度，保证本阀门对气流通道的控制效果。
[0022]为了提高阀传动板6的利用率，本技术提供的阀传动板6包括面板部61，面板部61的两侧设置有侧板部62，侧板部62上设置有轴孔。其中，面板部61通过螺栓与密封板8连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空隔断的阀门，包括阀体，所述阀体上设置有相对分布的两个阀口，所述阀体的外侧设置有气缸，所述气缸的活动端设置有位于阀体内部的活塞杆，所述活塞杆的端部设置有连接头，其特征在于，所述阀体包括主腔和与主腔连通的侧腔，所述连接头的端部设置有中轴，所述中轴的两侧均设置有一对阀传动板，所述中轴与阀传动板通过连杆连接，所述连杆的两端设置有与中轴和阀传动板连接的轴头，所述阀传动板朝向阀口的一侧设置有密封板，所述密封板沿侧腔和主腔长度方向活动且与两个阀口的中心线方向互相垂直，所述密封板朝向阀口的一侧设置有多个滚珠，所述滚珠分布在靠近密封板侧边的位置，所述密封板的两侧设置有沉槽，所述沉槽中设置有压簧柱，所述压簧柱与阀体的内端...

【专利技术属性】
技术研发人员：李长栋，魏承亚，魏俊杰，高峰，姜甸超，
申请(专利权)人：山东沐东真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：