一种曝光机多平台实时气压监测系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种曝光机多平台实时气压监测系统，包括主控机、PLC、气压数据采集装置和气压传感器，若干个气压传感器与气压数据采集装置连接，气压数据采集装置与PLC连接，所述PLC与主控机连接；所述气压传感器用于将气压强度值转换为模拟电流值传入气压数据采集装置，所述气压数据采集装置用于将若干个气压模拟电流值直接传入PLC，所述PLC用于将模拟电流值传入主控机，完成若干个气压传感器采集点位的气压实时监测。本实用新型专利技术采用全新的数据传输模式能够实现实时不间断多点位采集气压信号并反馈至PLC端，极大提高整体工作效率，并保证能够及时发现平台吸盘气压的变化情况。而且，从站可脱离主站完成数据数据传输，提高曝光机整体系统工作效率。曝光机整体系统工作效率。曝光机整体系统工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种曝光机多平台实时气压监测系统


[0001]本技术涉及一种气压监测系统，具体为一种曝光机多平台实时气压监测系统。

技术介绍

[0002]在激光直接成像技术中，通常采用平台吸盘对待曝光物进行吸附固定，吸附的稳定性对生产产品的质量影响巨大，而平台吸盘的气压大小是衡量吸附稳定性的重要指标之一，因此对气压进行监测非常必要。
[0003]现有的气压采集监测系统通常采用单个平台吸盘单个点位采集气压的模式，而对于多个平台吸盘存在多个点位同时需要监测气压的情况，单点位采集模式往往无法反馈平台吸盘真实气压变化情况，气压采集实时性低。
[0004]另外，现有的气压采集监测系统通常使用PLC(可编程逻辑控制器)数据采集模块连接气压传感器的方式来检测平台吸盘气压变化，无法做到脱离数据采集模块进行气压数据采集，拓扑结构较为死板影响整体工作效率和产能。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种曝光机多平台实时气压监测系统，该系统解决了现有气压采集监测系统在多点位情况下气压采集实时性低、拓扑结构死板影响整体工作效率和产能的问题。
[0006]本技术通过以下技术方案实现：
[0007]一种曝光机多平台实时气压监测系统，包括主控机、PLC、气压数据采集装置和气压传感器，若干个所述气压传感器与气压数据采集装置连接，所述气压数据采集装置与PLC连接，所述PLC与主控机连接；所述气压传感器用于将气压强度值转换为模拟电流值传入气压数据采集装置，所述气压数据采集装置用于将若干个气压模拟电流值直接传入PLC，所述PLC用于将模拟电流值传入主控机，完成若干个气压传感器采集点位的气压实时监测。
[0008]在本技术的一种实施方式中，还包括数据中转装置，所述数据中转装置连接于气压数据采集装置和PLC之间，用于将气压数据采集装置传入的气压模拟电流值传入PLC。
[0009]在本技术的一种实施方式中，所述气压数据采集装置包括：
[0010]第一主控制芯片，与电流模拟值数据转换模块连接，用于接收气压传感器的数据，并对电流模拟值数据转换模块转换后的数据进行处理；
[0011]通讯控制芯片，与第一主控制芯片连接，用于将第一主控制芯片处理完成的电流模拟值数据传送至通讯接口；
[0012]通讯接口，与通讯控制芯片连接，用于将电流模拟值数据传送至数据中转装置或PLC；
[0013]第一电源模块，用于给气压数据采集装置供电；以及
[0014]电流模拟值输入模块，用于接收气压传感器传输过来的模拟电流信号。
[0015]在本技术的一种实施方式中，还包括通讯总线，所述第一主控制芯片与电流模拟值数据转换模块通过通讯总线连接，通讯总线用于第一主控制芯片与电流模拟值数据转换模块之间高速通信。
[0016]在本技术的一种实施方式中，所述主控制芯片为STM32主控制芯片；所述通讯控制芯片为SN65HVD1791；所述通讯接口为RS422通讯接口；所述通讯总线为板载IIC通讯总线。
[0017]在本技术的一种实施方式中，所述数据中转装置包括：
[0018]通讯输入接口，用于接收气压数据采集装置传输的模拟电流值信号；
[0019]第二主控制芯片，用于处理气压数据采集装置传入的电流模拟值数据；
[0020]输入通讯控制芯片，与第二主控制芯片连接，用于将气压数据采集装置传入的电流模拟值数据传送至第二主控制芯片；
[0021]输出通讯控制芯片，与第二主控制芯片连接，用于将第二主控制芯片处理后的电流模拟值数据传送至通讯输出接口；
[0022]通讯输出接口，用于将气压传感器的模拟电流值信号传输至PLC；以及
[0023]第二电源模块，用于给数据中转装置供电。
[0024]在本技术的一种实施方式中，所述通讯输入接口为RS422通讯输入接口；所述第二主控制芯片为STM32主控制芯片；所述输入通讯控制芯片为SN65HVD1791；所述输出通讯控制芯片为SN65HVD1791；所述通讯输出接口为RS422通讯输出接口。
[0025]在本技术的一种实施方式中，所述气压传感器位于曝光机平台吸盘底部气路中。
[0026]在本技术的一种实施方式中，所述气压数据采集装置位于曝光机平台吸盘底部并与气压传感器连接。
[0027]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0028]1、本技术使用一个主站及多个从站组成气压数据监控系统，主站和从站分别为数据中转装置以及气压数据采集装置；主站使用单片机作为从站数据的次级处理端将从站发送的数据进行中转处理；从站使用单片机作为系统的气压信号初级数据处理端直接从气压传感器采集原始气压值信号。通过释放PC端主控机CPU主板部分数据处理逻辑，提升处理速度，提高系统工作效率；从站与主站间使用RS422通讯接口连接，可提升处理传输效率，PLC端与主站相互连接，使用RS422通讯接口连接，可以实现实时采集气压数据。
[0029]2、本技术采用全新的数据传输模式能够实现实时不间断多点位采集气压信号并反馈至PLC端，极大提高整体工作效率，并保证能够及时发现平台吸盘气压的变化情况。而且，从站可脱离主站完成数据传输，提高曝光机整体系统工作效率。
附图说明
[0030]图1为本技术曝光机多平台实时气压监测系统的结构示意图；
[0031]图2为本技术气压数据采集装置的电路原理图；
[0032]图3为本技术数据中转装置的电路原理图；
[0033]图4为单个平台吸盘实时气压监测系统的工作原理结构示意图；
[0034]图5为多个平台吸盘实时气压监测系统的工作原理结构示意图。
具体实施方式
[0035]为使得本技术实现上述目的、特征和优点且能够更加明显易懂，下面结合具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。
[0036]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0037]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0038]如图1所示，一种曝本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种曝光机多平台实时气压监测系统，其特征在于，包括主控机、PLC、气压数据采集装置和气压传感器，若干个所述气压传感器与气压数据采集装置连接，所述气压数据采集装置与PLC连接，所述PLC与主控机连接；所述气压传感器用于将气压强度值转换为模拟电流值传入气压数据采集装置，所述气压数据采集装置用于将若干个气压模拟电流值直接传入PLC，所述PLC用于将模拟电流值传入主控机，完成若干个气压传感器采集点位的气压实时监测。2.根据权利要求1所述的曝光机多平台实时气压监测系统，其特征在于，还包括数据中转装置，所述数据中转装置连接于气压数据采集装置和PLC之间，用于将气压数据采集装置传入的气压模拟电流值传入PLC。3.根据权利要求1或2所述的曝光机多平台实时气压监测系统，其特征在于，所述气压数据采集装置包括：第一主控制芯片，与电流模拟值数据转换模块连接，用于接收气压传感器的数据，并对电流模拟值数据转换模块转换后的数据进行处理；通讯控制芯片，与第一主控制芯片连接，用于将第一主控制芯片处理完成的电流模拟值数据传送至通讯接口；通讯接口，与通讯控制芯片连接，用于将电流模拟值数据传送至数据中转装置或PLC；第一电源模块，用于给气压数据采集装置供电；以及电流模拟值输入模块，用于接收气压传感器传输过来的模拟电流信号。4.根据权利要求3所述的曝光机多平台实时气压监测系统，其特征在于，还包括通讯总线，所述第一主控制芯片与电流模拟值数据转换模块通过通讯总线连接，通讯总线用于第一主控制芯片与电流模拟值数据转换模块之间高速通信。5.根据权利要求4所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：何基奎，王翀，刘世林，
申请(专利权)人：江苏影速集成电路装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：