准分子灯制造技术

提供一种准分子灯，具备由含有二氧化硅的微小粒子构成的紫外线反射层，即使长时间点灯，也可抑制照度下降的程度，有效地射出真空紫外光。一种准分子灯（１０），包括具有放电空间（Ｓ）的、由二氧化硅玻璃构成的放电容器（２０），以夹着形成该放电容器（２０）的二氧化硅玻璃的状态设有一对电极（１１、１２），并且在放电空间（Ｓ）内封入有放电用气体，在放电容器（２０）的内表面形成有紫外线反射层（３０），所述准分子灯（１０）的特征在于，紫外线反射层（３０）由含有ＯＨ基的二氧化硅粒子和融点比二氧化硅高的微小粒子构成，构成紫外线反射层（３０）的二氧化硅粒子中的ＯＨ基浓度是１０ｗｔ　ｐｐｍ以上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种准分子灯，用于对被处理体实施通过照射紫外线 来进行的清洁处理、灰化处理、成膜处理等表面处理。
技术介绍
近年来如下技术得到开发和实用在液晶显示装置的玻璃基板、 半导体晶片等被处理体上照射波长200nm以下的紫外线即真空紫外 光，通过真空紫外光及由此生成的臭氧的作用处理被处理体，该技术 例如包括除去附着于被处理体表面的有机污染物质的清洁处理技术或 在被处理体表面上形成氧化膜的氧化膜形成处理技术。作为照射真空紫外光的装置，例如使用具备如下准分子灯的装置 在电介质构成的放电容器内封入放电用气体，经由放电容器施加交流 高电压来产生准分子放电，放射真空紫外光即准分子光。在这种准分 子灯中，为了有效地放射更高强度的紫外线，进行了很多尝试。具体地说，开发了如下的技术在准分子灯的放电容器内表面形成紫外线反射层，紫外线反射层通过层叠透射紫外线的微小粒子而形 成，例如仅层叠二氧化硅，或层叠二氧化硅与其它的微小粒子例如氧 化铝、氟化镁、氟化钙、氟化锂、氧化镁等(参照专利文献1)。在这种构成的准分子灯中，在放电容器内所产生的紫外线中不朝 光射出部直接放射的紫外线射入至紫外线反射层，在构成紫外线反射 层的多个微小粒子的表面反复进行折射、反射而扩散反射，从而从光 射出部放射。由此，可有效地放射紫外线。在放射紫外线的灯中，作为构成放电容器的材料，例如广泛地使 用二氧化硅玻璃。因此，作为构成紫外线反射层的微小粒子，为了使 与构成放电容器的二氧化硅玻璃的热胀系数之差减小或很小而提高紫 外线反射层在二氧化硅玻璃上的附着性，优选含有与放电容器相同材 质的二氧化硅粒子。表面处理的被处理物多为例如液晶面板的玻璃基板的平坦形状。 所以，在光射出部由与被处理物相同的平坦形状的放电容器构成的准 分子灯中，通过减少光射出部与被处理物的间隙，可抑制氧吸收紫外 线，因而可有效地进行表面处理。作为由这种形状的放电容器构成的准分子灯，例如在专利文献2中公开了由方型的放电容器构成的准分 子灯。作为光出射出部由平坦的放电容器构成的准分子灯，有如图7所 示的构造。准分子灯IO通过由二氧化硅玻璃构成的扁平方型放电容器 20构成，该放电容器20由上壁板21、下壁板22、侧壁板23及端壁板 24连接而成，在内部封入有放电用气体。此外，在上壁板21外表面具 备高电压供应电极11，在下壁板22的外表面具备接地电极12，这些 电极ll、 12彼此相对地配置，在放电空间S产生的准分子光通过兼作 光射出部的下壁板22射出至外部。专利文献l:日本特开2007-335350号公报 专利文献2:日本特开2004-113984号公报然而，在具备紫外线反射层的准分子灯中，若长时间点灯，则照 度维持率随时间的经过而逐渐降低。所以，例如在进行清洁处理等表 面处理时，希望以恒定照度进行处理时，产生准分子灯的处理能力随 着点灯时间而变化的问题
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述情况而作出，其目的在于提供一种准分子灯， 具备紫外线反射层，即使长时间点灯，也能够抑制照度下降的程度， 能够有效地射出真空紫外光。本申请第1项的专利技术的准分子灯，包括具有放电空间的且由二氧 化硅玻璃构成的放电容器，以夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的 状态设有一对电极，并且在放电空间内封入有放电用气体，在上述放 电容器的内表面形成有紫外线反射层，所述准分子灯的特征在于，上述紫外线反射层由含有OH基的二氧化硅粒子和融点比二氧化硅高的 微小粒子构成，构成上述紫外线反射层的二氧化硅粒子中的OH基浓度 是10wtppm以上。此外，本申请第2项专利技术的特征在于，在本申请第l项专利技术中， 构成上述紫外线反射层的二氧化硅粒子中的OH基浓度是502wt ppm以 下。通过在紫外线反射层中混入融点比二氧化硅高的微小粒子，防止 彼此邻接的微小粒子彼此间结合而引起晶界消失，可抑制紫外线反射 层的反射率下降。此外，通过在构成紫外线反射层的二氧化硅粒子中含有OH基， 能够抑制在紫外线反射层所含的二氧化硅粒子中生成内部缺陷，防止 紫外线反射层吸收紫外区域波长的光而维持紫外线反射层的反射率， 抑制准分子灯的照度下降程度，有效地射出真空紫外光。此外，通过使构成紫外线反射层的二氧化硅粒子中的OH基浓度 为10wtppm以上，能够使反射维持率及照度维持率均保持较高的值， 具有长时间点灯时维持照度的优异效果。通过使构成紫外线反射层的二氧化硅粒子中的OH基浓度是502wtppm以下，能够抑制从OH基产生的氧原子过多地存在于放电空 间，防止由于氧原子与稀有气体原子反应而阻碍准分子的形成，能够 使准分子灯的照度维持率保持较高的值，有效地射出真空紫外光。附图说明图1是表示本专利技术的准分子灯的一例的大致构成的说明用剖视 图，图l(a)是表示沿着放电容器的长度方向的断面的剖视图，图l(b) 是图1 (a)中的A-A'线剖视图。图2是用于说明实验例中的准分子灯的照度测定方法的剖视图。图3是表示实验例的测定结果的图表。图4是表示实验例的测定结果的图表。图5是表示本专利技术的准分子灯的一例的大致构成的说明用剖视图。图6是表示本专利技术的准分子灯的一例的大致构成的说明用剖视图。图7是表示现有的准分子灯的大致构成的说明用剖视图。 具体实施例方式图1是表示本专利技术的准分子灯10的一例的构成概略的说明用剖视 图。图l(a)是表示沿着放电容器20的长度方向的断面的剖视图，图l(b) 是表示图l(a)的A-A'线的剖视图。该准分子灯10具备两端被气密地密封而在内部形成有放电空间S 的、断面矩形状的中空长尺状的放电容器20。该放电容器20包括上 壁板21及相对于上壁板21的下壁板22;连结于上壁板21与下壁板 22的一对侧壁板23;及将由这些上壁板21、下壁板22及一对侧壁板 23构成的四方筒状体的两端予以密封的一对端壁板24。放电容器20 由良好地透射真空紫外光的二氧化硅玻璃例如合成石英玻璃形成。在放电容器20的内部，以如10 80kPa的压力封入有放电用气体。作为放电用气体，即使选择任何气体，对放射强度的继时性变化也不 会有影响，但根据放电用气体的种类，所放射的准分子光的中心波长不相同。例如，封入有氙(Xe)的准分子灯产生以172nm作为中心波长 的准分子光，而封入有氩(Ar)与氯(Cl)的混合气体的准分子灯产生以 175nm作为中心波长的准分子光，封入有氪(Kr)与碘(I)的混合气体的准 分子灯产生以191nm作为中心波长的准分子光，在封入有氩(Ar)与氟(F) 的混合气体的准分子灯产生以波长193nm作为中心波长的准分子光， 封入有氪(Kr)与溴(Br)的混合气体的准分子灯产生以207nm作为中心波 长的准分子光，封入有氪(Kr)与氯(Cl)的混合气体的准分子灯产生以 222nm作为中心波长的准分子光。在放电容器20的上壁板21的外表面具备高电压供应电极11，在 下壁板22的外表面具备接地电极12，这些电极11、 12配置成彼此相 对。这种电极ll、 12成为网状构造，从网孔之间能透射光。作为材质， 例如使用铝、镍、金等，例如通过网印或真空蒸镀的方法形成。此外， 各电极ll、 12被连接于适当的高频电源(未图示)。在上述准分子灯10中，为了有效率地利用通过准分子放电所产生 的真空紫本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种准分子灯，包括具有放电空间的且由二氧化硅玻璃构成的放电容器，以夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态设有一对电极，并且在放电空间内封入有放电用气体，在上述放电容器的内表面形成有紫外线反射层，所述准分子灯的特征在于，　上述紫外线反射 层由含有ＯＨ基的二氧化硅粒子和融点比二氧化硅高的微小粒子构成，构成上述紫外线反射层的二氧化硅粒子中的ＯＨ基浓度是１０ｗｔ　ｐｐｍ以上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：庭彰，森本幸裕，松泽聪司，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]