一种游星轮内衬夹持工装制造技术

本实用新型专利技术提供了一种游星轮内衬夹持工装，属于半导体加工技术领域技术领域；包括：底座、支撑座以及夹具组件，支撑座安装于底座，用于支撑游星轮本体，夹具组件安装于底座用于夹持内衬；其中，夹具组件包括：第一夹具、第二夹具，第一夹具安装于底座，第二夹具竖向安装于第一夹具其，第一夹具与第二夹具之间加形成夹持位，待切割内衬位于夹持位。解决了现有的游星轮内衬夹持工装不能满足游星轮内部内衬的加工精度要求的技术问题，达到保证游星轮内衬切割精度的技术效果。切割精度的技术效果。切割精度的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种游星轮内衬夹持工装


[0001]本申请涉及半导体加工
，尤其是涉及一种游星轮内衬夹持工装。

技术介绍

[0002]游星轮是应用在玻璃、镜片、硅片、硬盘等各种平面抛光工序的夹具，又被称为抛光治具、抛光垫等，游星轮的作用主要是维持和引导抛光过程中半导体晶片的运动，现有一种游星轮如图3所示，包括游星轮本体以及与游星轮本体可拆卸连接的内衬。
[0003]现有用于晶片抛光的游星轮基体材料常为金属，而金属与晶片直接接触会造成晶片边缘的磕碰损伤，所以需要在金属与晶片之间添加一层内衬来阻隔晶片和游星轮之间的接触。该内衬采用的材料主要为硬质塑料，但是该内衬在成型后内部的直径尺寸通常小于晶片的直径尺寸，为了使游星轮内衬可以完美的套合半导体晶片，一般需要对内衬进行切割。由于晶片抛光加工的精度要求极高，因此对游星轮内衬的切割也提出了较高要求，但现有的游星轮内衬夹持工装不能满足游星轮内部内衬的加工精度要求。
[0004]因此，现有技术的技术问题在于：现有的游星轮内衬夹持工装不能满足游星轮内部内衬的加工精度要求。

技术实现思路

[0005]本申请提供一种游星轮内衬夹持工装，解决了现有的游星轮内衬夹持工装不能满足游星轮内部内衬的加工精度要求的技术问题，达到保证游星轮内衬切割精度的技术效果。
[0006]本申请提供的一种游星轮内衬夹持工装，采用如下的技术方案：
[0007]一种游星轮内衬夹持工装，包括：底座、支撑座以及夹具组件，支撑座安装于底座，用于支撑游星轮本体夹具组件安装于底座用于夹持内衬，其中，夹具组件包括：第一夹具、第二夹具，第一夹具安装于底座，第二夹具竖向安装于第一夹具其，第一夹具与第二夹具之间加形成夹持位，待切割内衬位于夹持位。
[0008]作为优选，所述夹具组件还包括：夹紧件，多个所述夹紧件安装于所述底座，用于竖向夹紧所述第一夹具与所述第二夹具。
[0009]作为优选，所述第一夹与所述第二夹具还包括加工部，所述第一夹具与所述第二夹具上加工部的形状与待加工内衬形状相同,且大于所述内衬轮廓。
[0010]作为优选，所述夹具组件还包括压条，所述压条与所述底座固定连接；
[0011]所述第二夹具竖向安装于所述压条，所述压条与所述第二夹具上设有夹紧定位部。
[0012]作为优选，所述第一夹具包括：夹紧部，所述夹紧部位于所述第一夹具远离所述游星轮的竖向端面，所述夹紧部用于所述第一夹具与所述第二夹具的夹紧。
[0013]作为优选，所述第一夹具还包括：过渡段，所述过渡段位于所述第一夹具的内侧。
[0014]作为优选，所述第二夹具高度与所述支撑座高度相同。
[0015]作为优选，所述支撑座包括：安装部，所述安装部所述底座固定连接；支撑部，所述支撑部与所述安装部连接，所述支撑部高度不低于所述安装部高度，所述支撑部用于支撑所述游星轮。
[0016]作为优选，所述支撑座还包括：支撑定位部，所述支撑定位部与所述游星轮本体上的定位孔配合，用于游星轮的安装定位。
[0017]作为优选，所述夹具组件中至少部分为柔性件，所述柔性件用于与所述游星轮抵接。
[0018]综上所述，本申请的有益技术效果为：
[0019]1、提供一种游星轮内衬夹持工装，适用于现有游星轮内衬的切割加工，包括底座、支撑座和用于夹紧游星轮的夹具组件；其中，夹具组件包括竖向安装的第一夹具和第二夹具，通过设置第一夹具和第二夹具，可以完成对于游星轮的夹紧，配合支撑座和底座可以完成对于游星轮的支撑和装夹，保证了游星轮内衬的加工精度。
[0020]2、提供一种游星轮内衬夹持工装，夹持工装上设有多个能和游星轮配合的支撑定位部，通过设置的支撑定位部能够快速的完成对于游星轮的地位，节省安装时间，提高加工精度。
附图说明
[0021]图1为本技术一种游星轮内衬夹持工装夹持游星轮时的俯视图；
[0022]图2为本技术一种游星轮内衬夹持工装夹持游星轮时的结构示意图；
[0023]图3为本技术中游星轮的结构示意图；
[0024]图4为本技术中一种游星轮内衬夹持工装的结构示意图；
[0025]图5为本技术中一种游星轮内衬夹持工装的左视图；
[0026]图6为本技术中第二夹具的结构示意图；
[0027]图7为本技术中夹具组件部分结构的示意图。
[0028]图中的附图标记为：100、底座；200、支撑座；210、安装部；220、支撑部；230、支撑定位部；300、夹具组件；310、第一夹具；311、加工部；312、夹紧部；313、过渡段；320、第二夹具；330、夹紧件；340、压条；341、夹紧定位部；400、游星轮；410、游星轮本体；411、定位孔；420、内衬。
具体实施方式
[0029]本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0030]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在
第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0031]游星轮400是应用在玻璃，镜片，硅片，硬盘等各种平面抛光工序的夹具，又被称为抛光治具，抛光垫等，游星轮400的作用主要是维持和引导抛光过程中半导体晶片的运动，现有一种游星轮如图3所示，包括游星轮本体以及与游星轮本体可拆卸连接的内衬。现有用于晶片抛光的游星轮400基体材料常为金属，而金属与晶片直接接触会造成晶片边缘的磕碰损伤，所以需要在金属与晶片之间添加一层内衬420来阻隔晶片和游星轮400之间的接触。该内衬420采用的材料主要为硬质塑料，但是该内衬420在成型后内部的直径尺寸通常小于晶片的直径尺寸，为了使游星轮内衬可以完美的套合半导体晶片，一般需要对内衬420进行切割。由于晶片抛光加工的精度要求极高，因此对游星轮内衬的切割也提出了较高要求，但现有的游星轮400的内衬420夹持工装不能满足游星轮400的内衬420的加工精度要求。
[0032]本申请提供一种游星轮内衬夹持工装，解决了现有的游星轮内衬夹持工装不能满足游星轮400内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种游星轮内衬夹持工装，用于对游星轮进行夹持，其特征在于，包括：底座(100)；支撑座(200)，所述支撑座(200)安装于所述底座(100)，用于支撑游星轮本体(410)；以及夹具组件(300)，所述夹具组件(300)安装于所述底座(100)用于夹持所述内衬(420)，包括：第一夹具(310)，所述第一夹具(310)安装于所述底座(100)；第二夹具(320)，所述第二夹具(320)竖向安装于所述第一夹具(310)；其中，所述第一夹具(310)与所述第二夹具(320)之间形成夹持位，待切割内衬(420)位于所述夹持位。2.根据权利要求1所述的游星轮内衬夹持工装，其特征在于，所述夹具组件(300)还包括：夹紧件(330)，多个所述夹紧件(330)安装于所述底座(100)，用于竖向夹紧所述第一夹具(310)与所述第二夹具(320)。3.根据权利要求2所述的游星轮内衬夹持工装，其特征在于，所述第一夹具(310)与所述第二夹具(320)还包括加工部(311)，所述第一夹具(310)与所述第二夹具(320)上加工部(311)的形状与待加工内衬(420)形状相同,且大于所述内衬(420)轮廓。4.根据权利要求3所述的游星轮内衬夹持工装，其特征在于，所述夹具组件(300)还包括：压条(340)，所述压条(340)与所述底座(100)固定连接；所述第二夹具(320)竖向安装于所述压条(340)，所述压条(340)与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张俊，王巍，沈兴潮，王越峰，陈浙校，
申请(专利权)人：浙江晶鸿精密机械制造有限公司，
类型：新型
国别省市：