微小气泡生成装置、微小气泡生成方法及基板处理装置制造方法及图纸

技术编号:3908092 阅读:186 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
生成含微小气泡的液体(23)的微小气泡生成装置(10)包括:微小气泡液生成部(12),其生成含微小气泡的液体(23);异物除去机构部(30),其从微小气泡液生成部(12)所提供的含微小气泡的液体(23)中除去异物。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微小气泡生成装置,生成含有微小气泡的液体,其特征在于,具备: 微小气泡液生成部,其生成含有上述微小气泡的液体; 异物除去机构部,其从上述微小气泡液生成部所提供的含上述微小气泡的液体中除去异物。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:菊池勉安部正泰广濑治道西部幸伸安藤佳大
申请(专利权)人:芝浦机械电子装置股份有限公司
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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