一种管路连接结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种管路连接结构。管路连接结构包括：第一管路，第一管路设有限位柱，限位柱相对于第一管路的表面凸出；第一连接件，第一连接件包括限位槽，限位柱位于限位槽内，第一连接件套接于第一管路外，第一连接件可相对于第一管路轴向滑动和周向滑动；第二连接件，第二连接件可与第一连接件配合连接；第二管路，第二管路与第二连接件配合连接；其中，限位柱可在限位槽内移动，以控制第一连接件与第二连接件之间的连接状态。本实用新型专利技术解决的问题是：相关技术中的风道管路结构无法快速地拆卸安装，影响检修效率。影响检修效率。影响检修效率。

【技术实现步骤摘要】
一种管路连接结构


[0001]本技术涉及管路连接
，具体而言，涉及一种管路连接结构。

技术介绍

[0002]晶圆是制造硅半导体电路所用的硅晶片，是制造芯片的基本材料。在晶圆的旋涂工艺中，晶圆放在承载座上旋转，光刻胶和显影液等液体不可避免的会飞溅，现有技术中，通过气液分离收集装置对匀胶过程中产生的废液和废气进行收集，气液分离收集装置包括导风口，导风口用于将收集来的废气排出，导风口与风道管路连接，在实际使用过程中，每间隔一段时间，需要对风道管路进行检查和保养；现有技术中的风道管路不易拆卸，不方便工作人员的检修。
[0003]因此，相关技术中存在的其中一项不足是：相关技术中的风道管路结构无法快速地拆卸安装，影响检修效率。

技术实现思路

[0004]本技术解决的问题是：相关技术中的风道管路结构无法快速地拆卸安装，影响检修效率。
[0005]为解决上述问题，本技术的实施例提供了一种管路连接结构，管路连接结构包括：第一管路，第一管路设有限位柱，限位柱相对于第一管路的表面凸出；第一连接件，第一连接件包括限位槽，限位柱位于限位槽内，第一连接件套接于第一管路外，第一连接件可相对于第一管路轴向滑动和周向滑动；第二连接件，第二连接件可与第一连接件配合连接；第二管路，第二管路与第二连接件配合连接；其中，限位柱可在限位槽内移动，以控制第一连接件与第二连接件之间的连接状态。
[0006]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：在实际使用过程中，第一管路和第二管路为气液分离收集装置的导风通道，当需要进行检修时，可通过改变限位柱在限位槽内的不同位置，以使第一连接件与第二连接件断开，进而能够实现对第一管路和第二管路的检修；本实施例的方案实现了对第一管路和第二管路的快速地拆卸安装，有效地提高了检修效率。
[0007]在本技术的一个实施例中，限位槽包括依次连接的第一直线槽、弧形槽和第二直线槽；其中，当限位柱位于第一直线槽内时，第一连接件与第二连接件配合连接；当限位柱位于第二直线槽时，第一连接件与第二连接件分离。
[0008]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：通过本实施例的结构简单可靠，通过本实施例的方案能够实现第一连接件与第二连接件之间的分离和连接，进而有效地提高了对第一管路和第二管路的检修效率。
[0009]在本技术的一个实施例中，第一连接件包括扳手，扳手设于第一连接件的表面，扳手用于使限位柱保持在第一直线槽或第二直线槽内；其中，通过扳动扳手可使限位柱在第一直线槽、弧形槽和第二直线槽内移动。
[0010]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：本实施例的结构有效地提升了检修操作的便捷性；扳手的设置同时也增加了管路连接结构处于不同状态下的稳定性。
[0011]在本技术的一个实施例中，扳手与第一连接件通过螺纹连接。
[0012]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：扳手与第一连接件通过螺纹连接，螺纹螺母连接的方式简单可靠且易于拆卸，有效地提高了管路连接结构的可靠性和稳定性。
[0013]在本技术的一个实施例中，第一直线槽的长度小于第二直线槽的长度。
[0014]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：在实际使用过程中，可通过识别限位柱处于哪个长度的槽来判断管路连接机构的状态；示例性地，当限位柱处于短槽，即第一直线槽时，第一管路与第二管路配合连接；当限位柱处于长槽，即第二直线槽时，第一管路与第二管路断开连接；本实施例的结构能够提升工作人员检修操作的便捷性。
[0015]在本技术的一个实施例中，第二连接件包括限位板，当限位柱位于第一直线槽内时，第一连接件与限位板配合连接；当限位柱位于第二直线槽时，第一连接件与限位板分离。
[0016]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：限位板一方面作为第一连接件与第二连接件之间的配合接触部位，能够提高第一管路与第二管路之间的密封性能；第二方面，限位板具有一定宽度，当第一管路与第二管路连接时，能够对第一连接件起到一定的限位作用，避免第一连接件与第二连接件出现滑脱错位的情况。
[0017]在本技术的一个实施例中，第一连接件包括密封圈，密封圈可与限位板配合连接。
[0018]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：密封圈可与限位板配合连接，密封圈有效地提高了第一管路与第二管路之间的连接的密封性，进而提高了管路连接结构的可靠性。
[0019]在本技术的一个实施例中，第二连接件与第二管路可拆卸地连接。
[0020]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：当第二管路出现质量问题时，第二连接件与第二管路可拆卸地连接方式能够提高工作人员操作的便捷性。
[0021]在本技术的一个实施例中，第二管路包括固定环，固定环设于第二管路的外表面，固定环用于固定第二管路。
[0022]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：本实施例的结构使第二管路的位置得以固定，有效地提高了管路连接结构的整体结构的稳定性。
附图说明
[0023]图1为本技术实施例的管路连接结构的立体结构示意图之一；
[0024]图2为本技术实施例的管路连接结构的主视图；
[0025]图3为图2的剖视图；
[0026]图4为本技术实施例的管路连接结构的立体结构示意图之二。
[0027]附图标记说明：
[0028]100
‑
第一管路；110
‑
限位柱；200
‑
第一连接件；210
‑
限位槽；211
‑
第一直线槽；212
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弧形槽；213
‑
第二直线槽；220
‑
扳手；230
‑
密封圈；300
‑
第二连接件；310
‑
限位板；400
‑
第二管路；410
‑
固定环。
具体实施方式
[0029]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施例做详细的说明。
[0030]参见图1至图4，本技术提供一种管路连接结构，管路连接结构包括：第一管路100，第一管路100设有限位柱110，限位柱110相对于第一管路100的表面凸出；第一连接件200，第一连接件200包括限位槽210，限位柱110位于限位槽210内，第一连接件200套接于第一管路100外，第一连接件200可相对于第一管路100轴向滑动和周向滑动；第二连接件300，第二连接件300可与第一连接件200配合连接；第二管路400，第二管路400与第二连接件300配合连接；其中，限位柱110可在限位槽210内移动，以控制第一连接件200与第二连接件300之间的连接状态。
[0031]在本实施例中，管路连接结构包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种管路连接结构，其特征在于，所述管路连接结构包括：第一管路(100)，所述第一管路(100)设有限位柱(110)，所述限位柱(110)相对于所述第一管路(100)的表面凸出；第一连接件(200)，所述第一连接件(200)包括限位槽(210)，所述限位柱(110)位于所述限位槽(210)内，所述第一连接件(200)套接于所述第一管路(100)外，所述第一连接件(200)可相对于所述第一管路(100)轴向滑动和周向滑动；第二连接件(300)，所述第二连接件(300)可与所述第一连接件(200)配合连接；第二管路(400)，所述第二管路(400)与所述第二连接件(300)配合连接；其中，所述限位柱(110)可在所述限位槽(210)内移动，以控制所述第一连接件(200)与所述第二连接件(300)之间的连接状态。2.根据权利要求1所述的管路连接结构，其特征在于，所述限位槽(210)包括依次连接的第一直线槽(211)、弧形槽(212)和第二直线槽(213)；其中，当所述限位柱(110)位于所述第一直线槽(211)内时，所述第一连接件(200)与所述第二连接件(300)配合连接；当所述限位柱(110)位于所述第二直线槽(213)时，所述第一连接件(200)与所述第二连接件(300)分离。3.根据权利要求2所述的管路连接结构，其特征在于，所述第一连接件(200)包括扳手(220)，所述扳手(220)设于所述第一连接件(200)的表面，所述扳手(...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜岩松，陈胜华，王冲，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：