一种腔室双层密封结构制造技术

本实用新型专利技术涉及腔室密封结构技术领域，具体涉及一种腔室双层密封结构，通过在腔室的密封面内圈和室门的密封面内圈上环绕开设有内槽孔，在腔室的密封面外圈和室门的密封面外圈上上环绕开设有外槽孔，内槽孔内设有内密封圈，外槽孔内设有外密封圈，内槽孔、外槽孔中间环绕设有二级真空槽，二级真空槽上可拆卸连接有质板，锁闭室门时，通过室门的密封面、质板、腔室的密封面依次贴合密封，可使室门和腔室密封更加紧密有效，增加双层密封，解决单层密封腔室易漏真空的风险，增加质板可随时便捷更换，解决光滑面密封面刮花风险，且直接将质板拆下清洁和打磨，解决原室门光滑密封面需线上清洁和打磨问题。清洁和打磨问题。清洁和打磨问题。

【技术实现步骤摘要】
一种腔室双层密封结构


[0001]本技术涉及腔室密封结构
，尤其涉及一种腔室双层密封结构。

技术介绍

[0002]现有的设备腔室，特别是对密封要求较高的腔室，例如溅射靶材的腔室，基于工艺要求，其腔室和室门需严格密封，而现有的密封方式主要是靠光滑的室门的密封面与腔室密封圈进行密封，然而，只安装一层密封圈，一旦腔室有漏需要破空处理，严重影响生产，硬质光滑面对密封圈密封时容易刮花平面，致使腔室真空有泄漏风险，而且密封面清洁或平面打磨麻烦，不能拆下清洁和打磨，从而存在密封可靠性不足以及维护麻烦的缺点，有必要进一步研发改进。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术的目的在于提出一种腔室双层密封结构，以解决腔室密封可靠性不足以及维护麻烦的问题。
[0004]基于上述目的，本技术提供了一种腔室双层密封结构，包括腔室、室门，还包括：
[0005]内槽孔，分别环绕开设于腔室的密封面内圈和室门的密封面内圈上，内槽孔内设有内密封圈；
[0006]外槽孔，分别环绕开设于腔室的密封面外圈和室门的密封面外圈上，外槽孔内设有外密封圈；
[0007]二级真空槽，环绕设于内槽孔、外槽孔中间，二级真空槽上开设有用于连接真空泵的真空孔；
[0008]质板，可拆卸连接于二级真空槽上，锁闭室门时，通过室门的密封面、质板、腔室的密封面依次贴合密封。
[0009]优选地，质板与腔室的密封面相重合。
[0010]优选地，质板与室门的密封面相重合。
[0011]优选地，腔室的二级真空槽上开设有螺孔，质板上开设有穿孔，穿孔上通过螺丝锁固于螺孔上。
[0012]优选地，穿孔为沉孔。
[0013]优选地，腔室的密封面侧端开设有螺丝孔，用于螺栓固定室门。
[0014]优选地，内槽孔、外槽孔上分别开设有用于撬开内密封圈、外密封圈的宽槽孔。
[0015]优选地，质板、内槽孔、外槽孔四个转角为倒圆角处理。
[0016]本技术的有益效果：通过在腔室的密封面内圈和室门的密封面内圈上环绕开设有内槽孔，在腔室的密封面外圈和室门的密封面外圈上上环绕开设有外槽孔，内槽孔内设有内密封圈，外槽孔内设有外密封圈，同时在内槽孔、外槽孔中间环绕设有二级真空槽，二级真空槽上开设有用于连接真空泵的真空孔，二级真空槽上可拆卸连接有质板，锁闭室
门时，通过室门的密封面、质板、腔室的密封面依次贴合密封，质板为不锈钢或铝材质，作为室门和腔室的密封中间密封体，可使室门和腔室密封更加紧密有效，增加双层密封，解决单层密封腔室易漏真空的风险，增加质板可随时便捷更换，解决光滑面密封面刮花风险，且直接将质板拆下清洁和打磨，解决原室门光滑密封面需线上清洁和打磨问题。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本技术的腔室双层密封的整体结构示意图；
[0019]图2为本技术的质板与腔室密封的结构示意图；
[0020]图3为本技术的质板的结构示意图；
[0021]图4为本技术的内外密封圈的结构示意图；
[0022]图5为本技术的内外密封圈的局部结构示意图。
[0023]图中标记为：
[0024]1、腔室；2、室门；3、质板；4、螺丝孔；7、穿孔；8、外槽孔；9、二级真空槽；10、内槽孔；11、真空孔；12、宽槽孔。
具体实施方式
[0025]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，对本技术进一步详细说明。
[0026]需要说明的是，除非另外定义，本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0027]如图1至图5所示，一种腔室双层密封结构，包括腔室1、室门2，还包括内槽孔10，内槽孔10分别环绕开设于腔室1的密封面内圈和室门2的密封面内圈上，内槽孔10内设有内密封圈，外槽孔8分别环绕开设于腔室1的密封面外圈和室门2的密封面外圈上，外槽孔8内设有外密封圈，内槽孔10、外槽孔8中间环绕设有二级真空槽9，二级真空槽9上开设有用于连接真空泵的真空孔11，二级真空槽9上可拆卸连接有质板3，锁闭室门2时，通过室门2的密封面、质板3、腔室1的密封面依次贴合密封。
[0028]本技术根据当前腔室1密封可靠性不足以及维护麻烦的问题进行改善优化设置，通过在腔室1的密封面内圈和室门2的密封面内圈上环绕开设有内槽孔10，在腔室1的密封面外圈和室门2的密封面外圈上上环绕开设有外槽孔8，外槽孔8、内槽孔10绕密封面一
圈，内槽孔10内设有内密封圈，外槽孔8内设有外密封圈，同时在内槽孔10、外槽孔8中间环绕设有二级真空槽9，二级真空槽9上开设有用于连接真空泵的真空孔11，二级真空槽9上可拆卸连接有质板3，锁闭室门2时，通过室门2的密封面、质板3、腔室1的密封面依次贴合密封，具体的，质板3为不锈钢或铝材质，作为室门2和腔室1的密封中间密封体，可使室门2和腔室1密封更加紧密有效，增加双层密封，解决单层密封腔室1易漏真空的风险，增加质板3可随时便捷更换，解决光滑面密封面刮花风险，且直接将质板3拆下清洁和打磨，解决原室门2光滑密封面需线上清洁和打磨问题。
[0029]在本技术的实施例中，质板3与腔室1的密封面相重合，质板3与室门2的密封面相重合，从而质板3的宽度刚好能覆盖在室门2和腔室1的双层密封面上，质板3过窄不能与双层密封面完全密封，质板3过宽则会挡住靶材溅射。
[0030]其中，质板3的厚度需考虑靶基距的距离，由于室门2的靶材位置和腔室1内基板位置固定，当质板3过厚时则靶基距过大，即靶材到基板距离过长，则靶材溅射到衬底膜层变薄，从而达不到工艺要求。当质板3过薄时则靶基距过小，即靶材溅射到衬底的膜层变厚，从而也会影响工艺，最终生成不良品。
[0031]在本技术的实施例中，腔室1的二级真空槽9上开设有螺孔，质板3上开设有穿孔7，具体的，如图3所示，质板3上间隔开设有六个穿孔7，穿孔7上通过螺丝锁固于螺孔上，优选的，穿孔7为沉孔，方便固定质板3。
[0032]在本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种腔室双层密封结构，包括腔室(1)、室门(2)，其特征在于，还包括：内槽孔(10)，分别环绕开设于所述腔室(1)的密封面内圈和所述室门(2)的密封面内圈上，所述内槽孔(10)内设有内密封圈；外槽孔(8)，分别环绕开设于所述腔室(1)的密封面外圈和所述室门(2)的密封面外圈上，所述外槽孔(8)内设有外密封圈；二级真空槽(9)，环绕设于所述内槽孔(10)、所述外槽孔(8)中间，所述二级真空槽(9)上开设有用于连接真空泵的真空孔(11)；质板(3)，可拆卸连接于所述二级真空槽(9)上，锁闭室门(2)时，通过所述室门(2)的密封面、所述质板(3)、所述腔室(1)的密封面依次贴合密封。2.根据权利要求1所述的一种腔室双层密封结构，其特征在于，所述质板(3)与所述腔室(1)的密封面相重合。3.根据权利要求1所述的一种腔室双层密封结构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：年志强，罗友菊，徐铭俊，
申请(专利权)人：宣城开盛新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：