感光性膜、感光性元件及层叠体的制造方法技术

一种感光性膜，其含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂及(D)吡唑啉化合物，其厚度为20μm以下。一种感光性元件(1)，其具备支撑体(2)和配置于支撑体(2)上的感光性树脂层(3)，其中感光性树脂层(3)为该感光性膜。一种层叠体的制造方法，其具备：使用上述感光性膜或感光性元件(1)将感光性树脂层配置于基材上的配置工序；使感光性树脂层的一部分光固化的工序；及去除感光性树脂层的未固化部的至少一部分而形成固化物图案的工序。化部的至少一部分而形成固化物图案的工序。化部的至少一部分而形成固化物图案的工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性膜、感光性元件及层叠体的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种感光性膜、感光性元件、层叠体的制造方法等。

技术介绍

[0002]在能够用作配线基板等的层叠体的制造中，形成抗蚀剂图案以获得所期望的配线。抗蚀剂图案能够通过对作为膜状的感光性树脂组合物的感光性膜进行曝光及显影来形成。作为感光性树脂组合物，研究了各种组合物。例如，在下述专利文献1中，记载了含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物及特定的光聚合引发剂的感光性树脂组合物。
[0003]以往技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2019
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028398号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术课题
[0007]在使用感光性膜形成能够用作抗蚀剂图案的固化物图案时，有时在截面圆形的凹部(圆孔)内填充感光性树脂组合物的同时形成固化物图案。然而，在以往的感光性膜中，在凹部内产生空隙的状态下形成固化物图案，有时对凹部的形状的追随性(填充性)不充分。并且，以往，虽然通常使用厚度25μm的感光性膜，但是为了降低层叠体的厚度等，有时需要将感光性膜的厚度降低至20μm以下。但是，若如此降低感光性膜的厚度，则用于填充凹部的感光性树脂组合物的量减少，因此容易在凹部内产生空隙的状态下形成固化物图案。因此，对于感光性膜，即使厚度为20μm以下的情况下，也要求对截面圆形的凹部的追随性优异。
[0008]本专利技术的一方面的目的为提供一种对截面圆形的凹部的追随性优异的感光性膜作为厚度20μm以下的感光性膜。本专利技术的另一方面的目的为提供一种使用该感光性膜的感光性元件。本专利技术的另一方面的目的为提供一种使用上述感光性膜或感光性元件的层叠体的制造方法。
[0009]用于解决技术课题的手段
[0010]本专利技术的一方面涉及一种感光性膜，其含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂及(D)吡唑啉化合物，其厚度为20μm以下。
[0011]这种感光性膜的厚度为20μm以下，但是对截面圆形的凹部的追随性优异。
[0012]本专利技术的另一方面涉及一种感光性元件，其具备支撑体和配置于该支撑体上的感光性树脂层，所述感光性树脂层为上述感光性膜。
[0013]本专利技术的另一方面涉及一种层叠体的制造方法，其具备：使用上述感光性膜或上述感光性元件将感光性树脂层配置于基材上的配置工序；使所述感光性树脂层的一部分光固化的工序；及去除所述感光性树脂层的未固化部的至少一部分而形成固化物图案的工序。
[0014]专利技术效果
[0015]根据本专利技术的一方面，能够提供一种对截面圆形的凹部的追随性优异的感光性膜作为厚度20μm以下的感光性膜。根据本专利技术的另一方面，能够提供一种使用该感光性膜的感光性元件。根据本专利技术的另一方面，能够提供一种使用上述感光性膜或感光性元件的层叠体的制造方法。
附图说明
[0016]图1是表示感光性元件的一例的示意剖视图。
具体实施方式
[0017]以下，对本专利技术的实施方式进行详细说明。但是，本专利技术并不限定于以下实施方式。
[0018]在本说明书中，使用“～”所表示的数值范围表示将“～”前后记载的数值分别作为最小值和最大值而包含在内的范围。数值范围的“A以上”是指A及超过A的范围。数值范围的“A以下”是指A及小于A的范围。在本说明书中阶段性记载的数值范围内，某一阶段的数值范围的上限值或下限值能够与其他阶段的数值范围的上限值或下限值任意地组合。在本说明书中所记载的数值范围内，其数值范围的上限值或下限值可以替换为实施例所示的值。“A或B”包括A及B中的任一者即可，也可以包括两者。只要没有特别说明，则本说明书中所例示的材料能够单独使用1种或组合使用2种以上。关于组合物中的各成分的含量，组合物中存在多种相当于各成分的物质的情况下，只要没有特别说明，则是指存在于组合物中的该多种物质的合计量。关于“层”一词，当以平面图观察时，除形成于整面上的形状的结构以外，也包含形成于一部分的形状的结构。“工序”一词不仅包含独立的工序，即便在无法与其他工序明确区分的情况下，只要实现该工序的预期作用，则也包含于本术语中。“(甲基)丙烯酸酯”是指丙烯酸酯及与其对应的甲基丙烯酸酯中的至少一种。在“(甲基)丙烯酸”等其他类似的表现中也相同。除非另有说明，“烷基”可以为直链状、支链或环状中的任一种。
[0019]在本说明书中，感光性树脂组合物的固体成分是指在感光性树脂组合物中除挥发的物质(水、溶剂等)以外的不挥发成分。即，该固体成分是指在感光性树脂组合物的干燥中不挥发而残留的成分(除溶剂以外的成分)，也包含在室温(25℃)下为液状、饴糖状或蜡状的成分。
[0020]＜感光性膜及感光性树脂组合物＞
[0021]本实施方式所涉及的感光性膜含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂及(D)吡唑啉化合物，该感光性膜的厚度为20μm以下。本实施方式所涉及的感光性膜是膜状感光性树脂组合物，能够通过将本实施方式所涉及的感光性树脂组合物成形为膜状而获得。本实施方式所涉及的感光性树脂组合物能够含有与本实施方式所涉及的感光性膜相同的含有成分。
[0022]本实施方式所涉及的感光性膜虽然厚度为20μm以下，但是对截面圆形(例如大致正圆)的凹部(例如，直径200μm及深度8μm)的追随性(圆孔追随性、填充性)优异。根据本实施方式所涉及的感光性膜，在实施例中所记载的评价中，例如能够获得小于20000μm2(优选为15000μm2以下)的追随性。
[0023]对于通过本实施方式所涉及的感光性膜及感光性树脂组合物获得优异的追随性
的主要原因，本专利技术人如下推测。然而，主要原因并不限定于下述内容。即，在同时使用(A)成分、(B)成分及(C)成分时，通过使用(D)成分，(D)成分的各种物性(结晶性、熔点等)在具有截面圆形的凹部的基材上层叠感光性膜时的热工艺(层压等)中适当地起作用。由此，从在热工艺中容易获得合适的流动性的理由考虑，即使感光性膜的厚度为20μm以下(即使用于填充凹部的感光性树脂组合物的量少)，也可获得优异的追随性。
[0024]本实施方式所涉及的感光性膜在层叠于具有截面圆形的凹部的基材上时只要具有优异的追随性即可，也可以层叠于具有与圆形不同的截面形状的凹部的基材、不具有凹部的基材等。
[0025]在使用感光性膜或感光性树脂组合物形成能够用作抗蚀剂图案的固化物图案时，有时形成具有直线状的线部分和与线部分相邻的直线状的空间部分的固化物图案。而且，当形成空间部分的宽度(空间宽度)小于线部分的宽度(线宽度)的固化物图案时，作为良好地形成线部分及空间部分的特性，有时要求优异的分辨率。并且，当形成线宽度小于空间宽度的固化物图案时，作为良好地形成线部分及空间部分的特性，有时要求优异的密合性。
[0026]根据本实施方式所涉及的感光性膜或感光性树脂组合物，在形成空间宽度小于线宽度的固化物图案时能够获得优异的分辨率。根据本实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种感光性膜，其含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂及(D)吡唑啉化合物，其厚度为20μm以下。2.根据权利要求1所述的感光性膜，其中，所述(D)成分包含具有键合于吡唑啉环的2个以上的芳基的化合物。3.根据权利要求1或2所述的感光性膜，其中，所述(D)成分包含由下述通式(d1)表示的化合物，式(d1)中，R
d11
、R
d12
及R
d13
分别独立地表示烷氧基或烷基，d11、d12及d13分别独立地表示0～5的整数。4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性膜，其中，所述(D)成分的含量相对于所述(A)成分及所述(B)成分的总量100质量份为0.10～1.0质量份。5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性膜，其中，所述(D)成分的含量相对于所述(C)成分及所述(D)成分的总量100质量份为1.0～10质量份。6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光性膜，其中，所述(A)成分中的(甲基)丙烯酸羟烷基酯的单体单元的含量以构成所述(A)成分的单体单元的总量为基准为0.10～5.0质量％。7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光性膜，其中，所述(A)成分具有(甲基)丙烯酸芳基酯及苯乙烯化合物作为单体单元。8.根据权利要求1至7中任一项所述的感光性膜，其中，所述(A)成分中的苯乙烯化合物的单体单元的含量以构成所述(A)成分的单体单元的总量为基准为4...

【专利技术属性】
技术研发人员：成田真生，小野敬司，田中志步，武田明子，渡边祐作，
申请(专利权)人：株式会社力森诺科，
类型：发明
国别省市：