磁性复合体制造技术

提供一种磁性复合体，其致密且膜较厚、磁特性及电特性优异、且密合性良好的铁氧体层。一种磁性复合体，具有金属基材和设置在所述金属基材表面上的铁氧体层，所述金属基材厚度(d

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】磁性复合体


[0001]本公开涉及一种磁性复合体。

技术介绍

[0002]随着近年来电子信息通信技术的快速发展，在电磁波的利用急速增加的同时，所使用的电磁波的高频化及宽带化也得以推进，具体来说，在以手机(1.5、2.0GHz)和无线LAN(2.45GHz)为代表的准微波频带中的系统之外，利用高速无线LAN(65GHz)和防撞雷达(76.5GHz)的毫米波段中的电波的新系统的导入也在进行中。
[0003]随着电磁波利用的扩大及高频化的发展，电磁噪声引起的电子设备的误动作和对人体的不良影响等电磁干扰的问题受到关注，对EMC(Electromagnetic Compatibility)对策的要求越来越高。作为EMC对策的一种方法，已知有使用电磁波吸收体(电波吸收体)吸收不需要的电磁波，防止其侵入的方法。
[0004]电磁波吸收体使用显示导电损耗、介电损耗、和/或磁性损耗的材料。作为显示磁性损耗的材料，多使用透磁率高且电阻高的铁氧体。铁氧体在特定的频率下引起共振现象从而吸收电磁波，将吸收的电磁波能量转换为热能并放射到外部。作为使用铁氧体的电磁波吸收体，提出了含有铁氧体粉末和粘合剂树脂的复合材料或铁氧体薄膜。另外，在电磁波吸收体以外的用途中，已知有在基板上形成铁氧体膜的技术。
[0005]例如，在专利文献1中记载了，将含有Mn
‑
Zn系铁氧体等的铁氧体粉末：20～80质量％、炭黑粉末：3～60质量％、剩余部分为树脂的涂料组合物涂装在金属板的至少单面，制作涂装金属板(专利文献1的权利要求1～6)。另外，在专利文献1中记载了，该涂料组合物具有优异的散热性和在广范围的频带中良好的电磁波吸收性能(专利文献1的[0060])。
[0006]在专利文献2中，公开了一种电磁波吸收体，其特征在于，在由有机高分子构成的基体上物理蒸镀强磁性体而成，该电磁波吸收体的电磁波吸收特性好、小型、轻量、具有可挠性、且牢固(专利文献2的权利要求1及[0008])。另外，在专利文献2中，记载了主要使用氧化物类软磁性体作为强磁性体，作为氧化物类软磁性体优选为铁氧体，在物理蒸镀法中，可以采用例如EB蒸镀、离子镀、磁控溅射、对向靶磁控溅射等(专利文献2的[0009]、[0010]和[0017])。
[0007]在专利文献3中，公开了一种具有电磁波吸收功能的复合磁性膜，其由金属磁性体构成的磁性相与在该磁性相中呈岛状分散的高绝缘性铁氧体的高电阻相构成(专利文献3的权利要求1)。另外，在专利文献3中记载了，关于该复合磁性膜，使用将原料微粒粉末气溶胶化，使其与作为被成膜体的基板等碰撞，形成厚膜的气溶胶沉积(AD)法来形成。通过应用AD法，可以高速形成所希望的膜厚的复合磁性膜(专利文献3的[0029]和[0033])。
[0008]在专利文献4中，公开以下内容：一种电磁波吸收体，其特征在于，其为在铁氧体等陶瓷母相中分散了金属粒子的复合体(专利文献4的权利要求1及权利要求8)。另外，在专利文献4中记载了，电磁波吸收体多在基板上形成并被使用，此时如果金属为基板，则在电磁波吸收体与基板的界面反射，从而能够期待在电磁波吸收体内的再次吸收；在制造电磁波
吸收体中，可以使用气体沉积法，或者，气溶胶沉积法(专利文献4的[0029]及[0031])。
[0009]由此，在专利文献1～4中，提出了在金属板等基板上形成铁氧体含有层来制作电磁波吸收体的方案。另外，在电磁波吸收体以外的用途中，也提出了在基板上形成铁氧体含有层的方案。例如，在专利文献5中公开了一种电感器元件，其具有磁性体基板、通过导电体在所述磁性体基板的面上形成的线圈、以及通过气溶胶沉积法在所述磁性体基板上埋入所述线圈而形成的磁性体层(专利文献5的权利要求1)。
[0010]现有技术文献
[0011]专利文献
[0012]专利文献1：日本国特开2004
‑
027064号公报
[0013]专利文献2：日本国特开2005
‑
045193号公报
[0014]专利文献3：日本国特开2007
‑
088121号公报
[0015]专利文献4：日本国特开2007
‑
180289号公报
[0016]专利文献5：日本国特开2007
‑
250924号公报
[0017]专利技术的内容
[0018]专利技术要解决的技术问题
[0019]虽然提出了将在基板上形成铁氧体含有层而制作的复合体适用于以电磁波吸收体和电感器为首的电子器件的用途，但现有技术仍有改良的余地。例如，专利文献1中提出的含有铁氧体粉末的复合材料由于含有大量的作为非磁性体的树脂，所以磁特性较差。因此，在提高电磁波吸收特性方面存在局限性。专利文献2中提出的铁氧体薄膜在制造上难以将其厚成膜，在提高磁特性等特性方面仍然存在局限。另外，即使能够厚成膜，也存在膜容易从基材剥离的问题。在专利文献3和专利文献4中提出的复合体由于含有高导电性的金属磁性体，所以不能适用于被要求电绝缘性的用途。进而，在专利文献5中提出的元件也在提高电特性、密合性等特性方面存在局限。
[0020]本专利技术人鉴于这些问题，进行了深入研究。其结果获得了如下发现：获得了在具有金属基材和铁氧体层的磁性复合体中，铁氧体层的结晶状态很重要，通过控制结晶状态，可以得到致密且膜厚比较厚、磁特性及电特性、耐热性优异、并且密合性良好的铁氧体层。
[0021]本专利技术是基于该见解而完成，以提供一种磁性复合体为课题，其具备致密且膜厚比较厚、磁特性(500MHz以上的高频下tanδ较小)、电气特性(不受金属基材的影响，表面电阻高)、耐热性优异并且密合性良好的铁氧体层。
[0022]用于解决技术问题的技术手段
[0023]本专利技术包括下述(1)～(6)的方式。此外，在本说明书中，“～”的表达包含其两端的数值。即，“X～Y”与“X以上Y以下”同义。
[0024](1)一种磁性复合体，其具备金属基材和设置在所述金属基材表面上的铁氧体层，
[0025]所述金属基材厚度(d
M
)为0.001μm以上，
[0026]所述铁氧体层厚度(d
F
)为2.0μm以上，以尖晶石型铁氧体为主要成分，X射线衍射分析中的(222)面的积分强度(I
222
)相对于(311)面的积分强度(I
311
)之比(I
222
/I
311
)为0.00以上0.03以下。
[0027](2)如所述(1)的磁性复合体，
[0028]所述铁氧体层α
‑
Fe2O3的含量为0.0质量％以上，20.0质量％以下。
[0029](3)如所述(1)或(2)的磁性复合体，
[0030]所述铁氧体层含有铁(Fe)及氧(O)，还含有从锂(Li)、镁(Mg)、铝(Al)、钛(Ti)、锰(Mn)、锌(Zn)、镍(N本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种磁性复合体，其具备金属基材，和设置在所述金属基材表面上的铁氧体层，所述金属基材厚度d
M
为0.001μm以上，所述铁氧体层厚度d
F
为2.0μm以上，以尖晶石型铁氧体为主要成分，X射线衍射分析中的(222)面的积分强度I
222
相对于(311)面的积分强度I
311
之比I
222
/I
311
为0.00以上0.03以下。2.如权利要求1记载的磁性复合体，所述铁氧体层的α
‑
Fe2O3含量为0.0质量％以上，20.0质量％以下。3.如权利要求1或2记载的磁性复...

【专利技术属性】
技术研发人员：石井一隆，安贺康二，
申请(专利权)人：保德科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：