滤波器、双工器和通信装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了滤波器、双工器和通信装置。一种滤波器包括多个压电薄膜谐振器，压电薄膜谐振器是通过将压电膜夹在布置在基板上的下电极以及上电极之间而形成的。每个压电薄膜谐振器具有上电极和下电极彼此交叠而形成的电极区域，电极区域的轮廓包括曲线。在多个压电薄膜谐振器中，在相邻压电薄膜谐振器的相对电极区域中的压电薄膜谐振器被成形为具有彼此互补的轮廓。利用该滤波器，由压电薄膜谐振器的横向模式的不希望的波引起的影响可以被抑制。因此，可以在不牺牲具有空心结构的电极的机械强度的情况下实现小型化。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种包括多个压电薄膜谐振器的滤波器，　每个压电薄膜谐振器包括：　基板；　下电极，所述下电极被布置在所述基板上；　压电膜，所述压电膜被布置在所述基板和所述下电极上；以及　上电极，所述上电极被布置在所述压电膜上以使 得具有与所述下电极相对的部分；　其中，上电极和下电极彼此交叠的电极区域被成形为具有至少一对彼此不平行的相对边缘；　所述一对边缘中的任一个边缘与相邻的压电薄膜谐振器的电极区域相对；以及　所述一个边缘与所述相邻的压电薄膜谐振器 的电极区域的相对边缘之间的间隔是恒定的。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：谷口真司，西原时弘，横山刚，岩城匡郁，原基扬，坂下武，上田政则，
申请(专利权)人：富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]