分体驱动的工件转台系统技术方案

本实用新型专利技术涉及分体驱动的工件转台系统，其转台和转台驱动装置分体设置，转台安装在传送机构上，转台输入轴纵向设置，位于转台基板的下方，通过齿轮齿条机构与转盘轴驱动连接，转盘轴竖向设置，上端与位于转台基板上方的转盘固定连接，下端安装齿轮齿条机构的齿轮，齿轮齿条机构的齿条设置在转台输入轴上，转台驱动装置设有气/油缸，气油缸纵向设置，其活塞杆从气/油缸的缸体内端延伸出来，与转台处于驱动工位时的转台输入轴位于同一直线上。本实用新型专利技术有利于避免恶劣作业环境对转台驱动装置的损坏。的损坏。的损坏。

【技术实现步骤摘要】
分体驱动的工件转台系统


[0001]本技术涉及分体驱动的工件转台系统。

技术介绍

[0002]在工业清洗中，可以将待清洗物体（简称为工件）安装在转台（旋转工作台或类似转盘组件）的转盘上，通过转盘旋转改变工件的朝向，以实现对工件周面各部位的清洗，转盘由转台上的电机（电动机）驱动。例如，中国专利文献CN218692049U公开了一种晶圆清洗装置，包括旋转组件（即转台）以及位于所述旋转组件上方的喷淋组件，所述旋转组件用于承载晶圆并带动所述晶圆旋转，包括转盘和驱动机构，驱动机构配置于转盘的底部，用于带动转盘旋转，包括驱动电机和联轴器，驱动电机的输出轴经由联轴器传动连接转盘的底面，驱动电机的顶部设置有安装座，联轴器固定于安装座内，摆臂带动喷淋部从转盘的中心向转盘边缘呈扇形轨迹移动，也可以由转盘 的边缘向转盘的中心呈扇形轨迹移动，从而使得喷淋部在转盘上方呈扇形的往复移动方式覆盖晶圆的大部分区域，或使喷淋部的喷淋面覆盖整个晶圆的表面。由于转台暴露在喷淋区域，为防止液体接触电机及相应电路，必要在转台上设置严格的密封并进行可靠的维护，由此不仅带来的设备制造和维护成本的提高，而且即使如此，也不能完全避免用电安全问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供分体驱动的工件转台系统，以避免恶劣作业环境对转台驱动装置的损坏。
[0004]本技术的技术方案是：分体驱动的工件转台系统，包括转台及转台驱动装置，转台和转台驱动装置分体设置，转台安装在传送机构上，转台输入轴纵向（水平）设置，位于转台基板（或称底座、底板）的下方，通过齿轮齿条（传动）机构与转盘轴驱动连接（或称传动连接），转盘轴竖向设置，上端与位于转台基板上方的转盘（转台中的转动件/转动平台）固定连接，下端安装齿轮齿条机构的齿轮，齿轮齿条机构的齿条设置在转台输入轴上，转台驱动装置设有气/油缸（气缸或液压缸，缩写为气油缸），气油缸纵向设置，其活塞杆从气/油缸的缸体内端（纵向上朝向转台方向的端）延伸出来，与转台处于驱动工位（需要通过驱动装置进行驱动的位置/工位）时的转台输入轴位于同一直线上（两者的轴线位于同一直线上）。
[0005]进一步地，转盘通过推力轴承旋转支撑于转台基板的上方，或者说，转盘通过推力轴承旋转连接转台基板。
[0006]优选地，转台基板上设有供转盘轴穿过的竖向的转盘轴孔，转盘轴孔为圆孔，位于转盘轴孔内的转盘轴为圆轴，两者旋转配合（以允许转盘轴相对转盘轴孔旋转但不允许水平移动的活动连接方式连接），以利于转盘轴的稳定。
[0007]进一步地，转盘轴和转台基板之间设有弹簧复位装置，形成复位作用，以便当转盘轴不受外力驱动时，转盘恢复原位（初始位置，或者说常态位置），由此只需要转台输入轴通过齿轮齿条机构单向推动转盘轴旋转，在任意位置（转盘转角）下，弹簧复位作用和转盘转
台输入轴的推动/限位作用共同决定了转盘转角。
[0008]优选地，弹簧复位装置采用两端分别连接转台基板和转盘轴的复位盘簧.
[0009]进一步地，转台上设有用于限定转盘轴在复位方向（转盘在复位过程中的旋转方向，或称复位旋转方向）上不能越过（转过）起始位置的限位结构。
[0010]转台输入轴可以向前延伸或者向后延伸，相应地，气油缸位于转台的前侧或后侧。
[0011]优选地，传送机构由平行设置的前后两个链传动机构组成，转台基板位于链传动机构的上面，其前后两侧的底面（下表面）固定连接在两链传动机构的链条上。
[0012]优选地，两链传动机构的对应链轮分别通过对应的链轮轴固定连接，或者说，固定安装在同一个链轮轴上。
[0013]优选地，连接两主动链轮的链轮轴驱动连接有传送电机（用于驱动传送机构的电机）。
[0014]使用时，例如，应用于工业清洗设备时，可以将传送机构、转台驱动装置（例如，气油缸的缸体）及其他相关部分安装在清洗设备的机架上。
[0015]在上述情形下，进一步地，机架上安装有导向板，导向板横向（传送机构的传送方向）延伸，数量为两个，分别位于转台基板的前后两侧。
[0016]优选地，导向板采用开口朝内的V形板，转台基板的前后两侧边缘呈与V形板配合的V形结构，插在相应V形板的V形槽上，与V形板滑动配合。
[0017]导向板可以直接或通过连接件固定在机架上，其他件在机架上的安装亦可以是直接安装在机架上或者安装在机架上设置的相应连接件/安装基础上。
[0018]本技术的有益效果是：通过转台与驱动装置的分体设置，转台上不设驱动装置，能够更好地适应于工业冲洗等恶劣作业环境，同时允许采用隔离体（例如，清洗仓）将驱动装置与恶劣作业环境隔离，避免恶劣环境对驱动装置的损坏，有助于减少故障，延长使用寿命；由于设置了转盘复位装置，能够实现转盘的自动复位或复位转动（复位方向的转动），驱动装置仅需要对转台输入轴施以单向推力，由此不仅允许采用简单的气油缸作为驱动装置的原动机，而且无需在活塞杆和转台输入轴之间设置复杂的传送机构，极大简化了分体驱动下的传送结构；由于采用对称设置于前后两侧的链传动机构，且通过链轮轴连接两侧对应的链轮，实现了两个链传动机构的同步，且不会产生累积误差；由于采用V形板作用转台基板的导向板，不仅制备方便，成本低，而且导向槽（V形槽）的上下槽壁都是斜面，即使在工业洗涤环境下，进入导向槽的液体会自动流出，有效地避免了液体中杂质或油垢等在导向槽内的沉积，有利于避免或减少因杂质或油垢沉积导致的故障。
附图说明
[0019]图1是本技术在使用状态下（应用于工业清洗设备）的构造示意图；
[0020]图2是与图1对应的俯视方向的示意图。
具体实施方式
[0021]参见图1和图2，转台主要由基板（或称基座，或底座等）22和位于基板上方且能够旋转的转盘21组成。转盘作为装载物体（可简称为工件）1的平台，可以依据现有技术设置用于固定/夹持被装载物体（简称工件）的固定/夹持机构，或者设有螺孔，通过工件上的法兰
用螺栓将工件紧固在转盘上，以便通过转盘带动工件旋转，进行相关作业。例如，当用于清洗设备时，通过转盘旋转调整/变化被清洗物体的转角或朝向，以在仅设置较少喷嘴装置的情形下实现对工件360
°
的清洗。
[0022]转盘位于基板上方，通过适宜形式的推力轴承（例如，角接触推力轴承）25旋转连接基板上。
[0023]转台固定安装在传送机构上，传送机构和转台驱动装置均安装在机架10上，实现转台的横向传送（以传送机构的传送方向为横向）。
[0024]转盘的旋转范围可以依据实际需要。
[0025]转盘轴23的上端与转盘固定连接，下端位于基板下方。齿轮齿条机构的齿轮39固定安装在转盘轴的下端，齿轮齿条机构的齿条（或者说齿条结构）设置在转台输入轴上（例如，将转台输入轴的相应区域制备成齿条状，或者将单独加工出的齿条与转台输入轴固定连接为一体），与齿轮啮合，转台输入轴纵向移动时，带动转盘轴旋转。
[0026]转盘轴和基板之间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.分体驱动的工件转台系统，包括转台及转台驱动装置，其特征在于转台和转台驱动装置分体设置，转台安装在传送机构上，转台输入轴纵向设置，位于转台基板的下方，通过齿轮齿条机构与转盘轴驱动连接，转盘轴竖向设置，上端与位于转台基板上方的转盘固定连接，下端安装齿轮齿条机构的齿轮，齿轮齿条机构的齿条设置在转台输入轴上，转台驱动装置设有气/油缸，气油缸纵向设置，其活塞杆从气/油缸的缸体内端延伸出来，与转台处于驱动工位时的转台输入轴位于同一直线上。2.如权利要求1所述的分体驱动的工件转台系统，其特征在于转盘通过推力轴承旋转支撑于转台基板的上方。3.如权利要求1所述的分体驱动的工件转台系统，其特征在于转台基板上设有供转盘轴穿过的竖向的转盘轴孔，转盘轴孔为圆孔，位于转盘轴孔内的转盘轴为圆轴，两者旋转配合。4.如权利要求1所述的分体驱动的工件转台系统，其特征在于转盘轴和转台基板之间设有弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：甄雪松，陈云海，靳宇，陈明辉，姜辉，黄为民，于杰，
申请(专利权)人：北京电子科技职业学院，
类型：新型
国别省市：