适于8寸晶圆OPEN装载传输的映射方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种适于8寸晶圆OPEN装载传输的映射方法及装置，其包括：将一8寸晶圆OPEN装载用的OPEN装载Cassette料盒装配在所述装载传输装置的机台上；基于构建的扫描检测坐标刻度映射关系，将8寸晶圆上表面扫描检测坐标刻度值、8寸晶圆下表面扫描检测坐标刻度值分别映射生成12寸晶圆上表面扫描检测映射坐标刻度值、12寸晶圆下表面扫描检测映射坐标刻度值，并将映射生成的12寸晶圆上表面扫描检测映射坐标刻度值、12寸晶圆下表面扫描检测映射坐标刻度值加载至装载传输装置内的装载传输处理器内。本发明专利技术可基于12寸晶圆FOUP装载传输下实现8寸晶圆OPEN装载传输的扫描检测映射，满足8寸晶圆装载传输的需求，提高产品的利用率。提高产品的利用率。提高产品的利用率。

【技术实现步骤摘要】
适于8寸晶圆OPEN装载传输的映射方法及装置


[0001]本专利技术涉及一种映射方法及装置，尤其是一种适于8寸晶圆OPEN装载传输的映射方法及装置，具体地说是基于12寸晶圆FOUP装载传输实现8寸晶圆OPEN装载传输时的映射方法及装置。

技术介绍

[0002]半导体生产、测试设备多具有自动传输功能，以实现物料的准确识别、进给、加工和管理，其中，Wafer晶圆在Cassette料盒的分布Mapping情形检测，就是常见功能之一。通过Mapping情形检测，对晶圆在Cassette料盒内的分布情形进行检测判断，其中，晶圆分布情形判定输出结果一般可包括：
[0003]F＝正常有一片，E＝空，D＝重叠片，T＝槽内倾斜，C＝槽间交叉，U＝未知，N＝未测。
[0004]为实现Mapping检测，不同厂家的不同设备一般设计有各种不同装置实现，但基本原理思想一般均包括：基于Cassette料盒内SLOT齿空间对应时间同步尺，以此判定特定时间点传感器采样到的特定信号波形，归属上述哪类的晶圆分布特征。
[0005]目前集成电路行业的主流材料为12寸晶圆，但近两年来8寸晶圆产品的市场需求逆势而上，有了较大的发展，这就使得对生产8寸晶圆设备的需求有了很大提高。但国内三代四代半导体工艺中，多是基于现有12寸晶圆的装载传输装置，因此，如何实现12寸晶圆装载传输设备实现8寸晶圆OPEN装载传输映射是急需解决的技术难题。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种适于8寸晶圆OPEN装载传输的映射方法及装置，其可基于12寸晶圆FOUP装载传输下实现8寸晶圆OPEN装载传输的扫描检测映射，满足8寸晶圆装载传输的需求，提高产品的利用率，降低装载传输的成本。
[0007]按照本专利技术提供的技术方案，一种适于8寸晶圆OPEN装载传输的映射方法，所述映射方法包括：
[0008]对一12寸晶圆FOUP装载传输用装载传输装置，将一8寸晶圆OPEN装载用的OPEN装载Cassette料盒装配在所述装载传输装置的机台上，以替换所述装载传输机台上原生12寸晶圆FOUP装载用的FOUP装载Cassette料盒，其中，
[0009]OPEN装载Cassette料盒内SLOT齿槽的层数与所替换原生FOUP装载Cassette料盒内SLOT齿槽的层数相一致；
[0010]对装配于机台上的OPEN装载Cassette料盒，所述OPEN装载Cassette料盒内任一层SLOT齿槽的位置均位于所替换原生FOUP装载Cassette料盒正对应层数SLOT齿槽的位置上方；
[0011]基于OPEN装载Cassette料盒内所有层SLOT齿槽在机台上方的分布位置状态，构建表征OPEN装载Cassette料盒内任一层SLOT齿槽与原生FOUP装载Cassette料盒相应层SLOT
齿槽对应状态的扫描检测坐标刻度映射关系；
[0012]利用Mapping检测传感器对OPEN装载Cassette料盒内的晶圆分布扫描检测，其中，对任一层SLOT齿槽内的晶圆，通过ABZ增量式光栅编码器提取Mapping检测传感器扫描当前晶圆表面时的扫描检测坐标刻度值，所提取的扫描检测刻度值包括对晶圆上表面扫描时的8寸晶圆上表面扫描检测坐标刻度值以及对晶圆下表面扫描时的8寸晶圆下表面扫描检测坐标刻度值；
[0013]基于构建的扫描检测坐标刻度映射关系，将8寸晶圆上表面扫描检测坐标刻度值、8寸晶圆下表面扫描检测坐标刻度值分别映射生成12寸晶圆上表面扫描检测映射坐标刻度值、12寸晶圆下表面扫描检测映射坐标刻度值，并将映射生成的12寸晶圆上表面扫描检测映射坐标刻度值、12寸晶圆下表面扫描检测映射坐标刻度值加载至装载传输装置内的装载传输处理器内；
[0014]基于12寸晶圆上表面扫描检测映射坐标刻度值以及12寸晶圆下表面扫描检测映射坐标刻度值，装载传输处理器识别并生成OPEN装载Cassette料盒内每一层SLOT齿槽的晶圆分布状态信息。
[0015]对构建的扫描检测坐标刻度映射关系，则有：
[0016]Yi＝k*(Xi
‑
X0)+Y0,i＝1,2,
…
,n
[0017]其中，Yi为映射生成的12寸晶圆表面扫描检测映射坐标刻度值，k为映射系数，X0为OPEN装载Cassette料盒在机台上方的初始基准位置，Y0为FOUP装载Cassette料盒在机台上方的初始基准位置，Xi为利用ABZ增量式光栅编码器提取Mapping检测传感器扫描晶圆表面时相对初始基准位置X0的8寸晶圆表面扫描检测坐标刻度值，n为OPEN装载Cassette料盒内SLOT齿槽的层数。
[0018]当n为25时，则映射系数k为1/0.635。
[0019]确定FOUP装载Cassette料盒在机台上方的初始基准位置Y0，则有：
[0020]Y0＝SLOT25
’‑
(SLOT24
’‑
SLOT25
’
)；
[0021]基于确定初始基准位置Y0后，配置OPEN装载Cassette料盒在机台上方的初始基准位置X0，以在配置初始基准位置X0后，使得所述OPEN装载Cassette料盒内任一层SLOT齿槽的位置均位于所替换原生FOUP装载Cassette料盒正对应层数SLOT齿槽的位置上方；
[0022]其中，SLOT25
’
对FOUP装载Cassette料盒内最上层SLOT齿槽扫描检测时的坐标刻度值，SLOT24
’
对FOUP装载Cassette料盒内次上层SLOT齿槽扫描检测时的坐标刻度值。
[0023]Mapping检测传感器采用单点反射式激光传感器，其中，
[0024]Mapping检测传感器装配于装载传输装置的LP门板上，并跟随LP门板同步升降，通过ABZ增量式光栅编码器提取Mapping检测传感器跟随LP门板升降时的坐标刻度值；
[0025]计算12寸晶圆下表面扫描检测映射坐标刻度值与12寸晶圆上表面扫描检测映射坐标刻度值的差值，以基于所计算的差值确定晶圆所在层SLOT齿槽内的晶圆分布状态，其中，
[0026]对确定的晶圆分布状态，包括正常有一片、空、重叠片、槽内倾斜或槽间交叉。
[0027]所述OPEN装载Cassette料盒通过一料盒安装座装配于机台上。
[0028]利用ABZ增量式光栅编码器提取坐标刻度值时，对所述ABZ增量式光栅编码器的编码信号进行非稳态检测处理，其中，
[0029]对编码信号的非稳态检测处理，包括用于对编码信号杂波过滤的杂波过滤抗抖处理。
[0030]对杂波过滤抗抖处理，包括：
[0031]读取编码信号中的A相信号CHA，当所读取的A相信号CHA处于上升沿时，读取编码信号中B相信号CHB的电平状态，当B相信号CHB的电平为低电平状态时，配置过滤抗抖状态Aup_B0_M本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适于8寸晶圆OPEN装载传输的映射方法，其特征是，所述映射方法包括：对一12寸晶圆FOUP装载传输用装载传输装置，将一8寸晶圆OPEN装载用的OPEN装载Cassette料盒装配在所述装载传输装置的机台上，以替换所述装载传输机台上原生12寸晶圆FOUP装载用的FOUP装载Cassette料盒，其中，OPEN装载Cassette料盒内SLOT齿槽的层数与所替换原生FOUP装载Cassette料盒内SLOT齿槽的层数相一致；对装配于机台上的OPEN装载Cassette料盒，所述OPEN装载Cassette料盒内任一层SLOT齿槽的位置均位于所替换原生FOUP装载Cassette料盒正对应层数SLOT齿槽的位置上方；基于OPEN装载Cassette料盒内所有层SLOT齿槽在机台上方的分布位置状态，构建表征OPEN装载Cassette料盒内任一层SLOT齿槽与原生FOUP装载Cassette料盒相应层SLOT齿槽对应状态的扫描检测坐标刻度映射关系；利用Mapping检测传感器对OPEN装载Cassette料盒内的晶圆分布扫描检测，其中，对任一层SLOT齿槽内的晶圆，通过ABZ增量式光栅编码器提取Mapping检测传感器扫描当前晶圆表面时的扫描检测坐标刻度值，所提取的扫描检测刻度值包括对晶圆上表面扫描时的8寸晶圆上表面扫描检测坐标刻度值以及对晶圆下表面扫描时的8寸晶圆下表面扫描检测坐标刻度值；基于构建的扫描检测坐标刻度映射关系，将8寸晶圆上表面扫描检测坐标刻度值、8寸晶圆下表面扫描检测坐标刻度值分别映射生成12寸晶圆上表面扫描检测映射坐标刻度值、12寸晶圆下表面扫描检测映射坐标刻度值，并将映射生成的12寸晶圆上表面扫描检测映射坐标刻度值、12寸晶圆下表面扫描检测映射坐标刻度值加载至装载传输装置内的装载传输处理器内；基于12寸晶圆上表面扫描检测映射坐标刻度值以及12寸晶圆下表面扫描检测映射坐标刻度值，装载传输处理器识别并生成OPEN装载Cassette料盒内每一层SLOT齿槽的晶圆分布状态信息。2.根据权利要求1所述适于8寸晶圆OPEN装载传输的映射方法，其特征是，对构建的扫描检测坐标刻度映射关系，则有：Yi＝k*(Xi
‑
X0)+Y0,i＝1,2,
…
,n其中，Yi为映射生成的12寸晶圆表面扫描检测映射坐标刻度值，k为映射系数，X0为OPEN装载Cassette料盒在机台上方的初始基准位置，Y0为FOUP装载Cassette料盒在机台上方的初始基准位置，Xi为利用ABZ增量式光栅编码器提取Mapping检测传感器扫描晶圆表面时相对初始基准位置X0的8寸晶圆表面扫描检测坐标刻度值，n为OPEN装载Cassette料盒内SLOT齿槽的层数。3.根据权利要求2所述适于8寸晶圆OPEN装载传输的映射方法，其特征是，当n为25时，则映射系数k为1/0.635。4.根据权利要求3所述适于8寸晶圆OPEN装载传输的映射方法，其特征是，确定FOUP装载Cassette料盒在机台上方的初始基准位置Y0，则有：Y0＝SLOT25
’‑
(SLOT24
’‑
SLOT25
’
)；基于确定初始基准位置Y0后，配置OPEN装载Cassette料盒在机台上方的初始基准位置X0，以在配置初始基准位置X0后，使得所述OPEN装载Cassette料盒内任一层SLOT齿槽的位
置均位于所替换...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴金方，相宇阳，李玲娅，耿晓杨，
申请(专利权)人：无锡卓海科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：