本发明专利技术提供一种真空蒸镀成膜装置，涉及真空蒸镀领域，包括：蒸镀成膜组件；所述真空组件安装在蒸镀成膜组件的顶部；所述密封组件安装在蒸镀成膜组件上；所述支撑组件安装在蒸镀成膜组件的内部；所述定位组件安装在蒸镀成膜组件的左侧；所述挡料组件安装在支撑组件的内部；所述驱动组件安装在蒸镀成膜组件的左侧；所述蒸镀成膜壳体整体为长方体结构；所述U型加热丝共设有三个，且三个U型加热丝固定安装在蒸镀成膜壳体的内部；本发明专利技术当电机工作时透气支撑罩间歇转动，使得透气支撑罩内部的工件发生转动，便于对工件的不同位置蒸镀；解决了不能对工件进行间歇转动，导致膜料不能与工件的不同位置快速接触的问题。的不同位置快速接触的问题。的不同位置快速接触的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸镀成膜装置
[0001]本专利技术涉及真空蒸镀
，特别涉及一种真空蒸镀成膜装置。
技术介绍
[0002]真空蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法；目前的真空蒸镀成膜装置，不方便工人添加膜料，导致工人加注膜料时费时费力，且不能对工件进行间歇转动，导致膜料不能与工件的不同位置快速接触，降低了成膜效率。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本专利技术提供一种真空蒸镀成膜装置，其具有蒸镀成膜组件、密封组件、支撑组件、挡料组件和驱动组件，方便工作人员通过加料拉环将密封板块拉出，便于工作人员将膜料放置在蒸镀成膜壳体的内部底侧，当电机工作时透气支撑罩间歇转动，使得透气支撑罩内部的工件发生转动，便于对工件的不同位置蒸镀，提高了成膜效率。
[0004]本专利技术提供了一种真空蒸镀成膜装置的目的与功效，具体包括：蒸镀成膜组件、真空组件、密封组件、支撑组件、定位组件、挡料组件和驱动组件；
[0005]所述真空组件安装在蒸镀成膜组件的顶部；所述密封组件安装在蒸镀成膜组件上；所述支撑组件安装在蒸镀成膜组件的内部；所述定位组件安装在蒸镀成膜组件的左侧；所述挡料组件安装在支撑组件的内部；所述驱动组件安装在蒸镀成膜组件的左侧；
[0006]所述蒸镀成膜组件包括：蒸镀成膜壳体和U型加热丝；所述蒸镀成膜壳体整体为长方体结构；所述U型加热丝共设有三个，且三个U型加热丝固定安装在蒸镀成膜壳体的内部。
[0007]进一步的，所述支撑组件还包括：固定杆、旋转柄和齿轮A；所述固定杆螺纹连接在透气支撑罩的右侧；所述旋转柄固定安装在固定杆的内部；所述齿轮A固定安装在安装轴的外壁。
[0008]进一步的，所述真空组件包括：支撑架、真空泵、吸气管和排气管；所述支撑架共设有两个，且两个支撑架固定安装在蒸镀成膜壳体的顶部；所述真空泵固定安装在两个支撑架的内部；所述吸气管固定安装在真空泵的左侧，且吸气管的底部插入在蒸镀成膜壳体的内部；所述排气管固定安装在真空泵的右侧。
[0009]进一步的，所述定位组件包括：定位座和定位杆；所述定位座固定安装在蒸镀成膜壳体的左侧；所述定位杆滑动安装在定位座的内部，且定位杆的顶部为半球形结构，并且定位杆插入在下方的定位凹槽中。
[0010]进一步的，所述密封组件包括：导向轴、密封板块和限位挡板；所述导向轴共设有两个，且两个导向轴滑动安装在蒸镀成膜壳体的内部；所述密封板块固定安装在两个导向轴的前侧；所述限位挡板固定安装在密封板块的前侧，且限位挡板的后侧与蒸镀成膜壳体接触。
[0011]进一步的，所述定位组件还包括：限位圆环C和复位弹簧；所述限位圆环C固定安装
在定位杆的外壁；所述复位弹簧安装在定位杆的外部，且复位弹簧位于定位座和限位圆环C之间。
[0012]进一步的，所述密封组件还包括：限位圆环A、强力磁铁和加料拉环；所述限位圆环A共设有两个，且两个限位圆环A固定安装在两个导向轴的外壁；所述强力磁铁共设有四个，且四个强力磁铁固定安装在限位挡板的内部，并且四个强力磁铁与蒸镀成膜壳体接触；所述加料拉环固定安装在限位挡板的前侧。
[0013]进一步的，所述挡料组件包括：挡料板和拉手；所述挡料板滑动安装在透气支撑罩的内部；所述拉手固定安装在挡料板的前侧。
[0014]进一步的，所述支撑组件包括：安装轴、定位凹槽、透气支撑罩和限位圆环B；所述安装轴转动安装在蒸镀成膜壳体的内部，且安装轴的外壁设置有六个定位凹槽；所述透气支撑罩固定安装在安装轴的右侧；所述限位圆环B固定安装在安装轴的外壁，且限位圆环B的右侧与蒸镀成膜壳体接触。
[0015]进一步的，所述驱动组件还包括：固定架、电机和缺齿轮B；所述固定架固定安装在蒸镀成膜壳体的左侧；所述电机固定安装在固定架的内部；所述缺齿轮B固定安装在电机上，且缺齿轮B与齿轮A啮合连接。
[0016]有益效果
[0017]1、本专利技术因三个U型加热丝固定安装在蒸镀成膜壳体的内部，从而对膜料起到了加热作用，使得蒸镀成膜壳体内部底侧的膜料气化，实现了工件的自动成膜，又因吸气管固定安装在真空泵的左侧，且吸气管的底部插入在蒸镀成膜壳体的内部，并且排气管固定安装在真空泵的右侧，进而当真空泵工作时，蒸镀成膜壳体内部的气体通过排气管排出，实现了真空蒸镀。
[0018]2、本专利技术因两个导向轴滑动安装在蒸镀成膜壳体的内部，且密封板块固定安装在两个导向轴的前侧，并且加料拉环固定安装在限位挡板的前侧，从而方便工作人员通过加料拉环将密封板块拉出，便于工作人员将膜料放置在蒸镀成膜壳体的内部底侧，又因四个强力磁铁固定安装在限位挡板的内部，且四个强力磁铁与蒸镀成膜壳体接触，进而对限位挡板起到了限位作用，避免了密封板块发生移动，提高了密封效果。
[0019]3、本专利技术因透气支撑罩固定安装在安装轴的右侧，从而对工件起到了支撑作用，又因齿轮A固定安装在安装轴的外壁，且缺齿轮B固定安装在电机上，并且缺齿轮B与齿轮A啮合连接，从而当电机工作时透气支撑罩间歇转动，使得透气支撑罩内部的工件发生转动，便于对工件的不同位置蒸镀，提高了成膜效率，又因挡料板滑动安装在透气支撑罩的内部，且固定杆的左侧与挡料板接触，进而对透气支撑罩内部的工件起到了阻挡作用。
[0020]4、本专利技术因定位杆滑动安装在定位座的内部，且定位杆的顶部为半球形结构，并且定位杆插入在下方的定位凹槽中，从而对安装轴起到了定位作用，使得透气支撑罩间歇转动后更加稳定，又因复位弹簧安装在定位杆的外部，且复位弹簧位于定位座和限位圆环C之间，进而实现了定位杆的自动复位。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本专利技术的实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍。
[0022]下面描述中的附图仅仅涉及本专利技术的一些实施例，而非对本专利技术的限制。
[0023]在附图中：
[0024]图1示出了本专利技术的立体结构示意图；
[0025]图2示出了本专利技术图1的底部视角结构示意图；
[0026]图3示出了本专利技术图1的主视视角结构示意图；
[0027]图4示出了本专利技术蒸镀成膜组件和密封组件的结构示意图；
[0028]图5示出了本专利技术密封组件的结构示意图；
[0029]图6示出了本专利技术图3中A区域的局部放大结构示意图；
[0030]图7示出了本专利技术支撑组件和挡料组件的结构示意图；
[0031]图8示出了本专利技术图7中B区域的局部放大结构示意图；
[0032]图9示出了本专利技术图1中C区域的局部放大结构示意图。
[0033]附图标记列表
[0034]1、蒸镀成膜组件；101、蒸镀成膜壳体；102、U型加热丝；2、真空组件；201、支撑架；202、真空泵；203、吸气管；204、排气管；3、密封组件；301、导向轴；302、密封板块；303、限位挡板；304、限位圆环A；305、强力磁铁；306、加料拉环；4、支撑组件；401、安装本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于，包括：蒸镀成膜组件(1)、真空组件(2)、密封组件(3)、支撑组件(4)、定位组件(5)、挡料组件(6)和驱动组件(7)；所述真空组件(2)安装在蒸镀成膜组件(1)的顶部；所述密封组件(3)安装在蒸镀成膜组件(1)上；所述支撑组件(4)安装在蒸镀成膜组件(1)的内部；所述定位组件(5)安装在蒸镀成膜组件(1)的左侧；所述挡料组件(6)安装在支撑组件(4)的内部；所述驱动组件(7)安装在蒸镀成膜组件(1)的左侧；所述蒸镀成膜组件(1)包括：蒸镀成膜壳体(101)和U型加热丝(102)；所述蒸镀成膜壳体(101)整体为长方体结构；所述U型加热丝(102)共设有三个，且三个U型加热丝(102)固定安装在蒸镀成膜壳体(101)的内部。2.根据权利要求1所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述真空组件(2)包括：支撑架(201)、真空泵(202)、吸气管(203)和排气管(204)；所述支撑架(201)共设有两个，且两个支撑架(201)固定安装在蒸镀成膜壳体(101)的顶部；所述真空泵(202)固定安装在两个支撑架(201)的内部；所述吸气管(203)固定安装在真空泵(202)的左侧，且吸气管(203)的底部插入在蒸镀成膜壳体(101)的内部；所述排气管(204)固定安装在真空泵(202)的右侧。3.根据权利要求1所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述密封组件(3)包括：导向轴(301)、密封板块(302)和限位挡板(303)；所述导向轴(301)共设有两个，且两个导向轴(301)滑动安装在蒸镀成膜壳体(101)的内部；所述密封板块(302)固定安装在两个导向轴(301)的前侧；所述限位挡板(303)固定安装在密封板块(302)的前侧，且限位挡板(303)的后侧与蒸镀成膜壳体(101)接触。4.根据权利要求3所述一种真空蒸镀成膜装置，其特征在于：所述密封组件(3)还包括：限位圆环A(304)、强力磁铁(305)和加料拉环(306)；所述限位圆环A(304)共设有两个，且两个限位圆环A(304)固定安装在两个导向轴(301)的外壁；所述强力磁铁(305)共设有四个，且四个强力磁铁(305)固定安装在限位挡板(303)的内部，并且四个强力磁铁(305)与蒸镀成膜壳体(101)接触；所述加料拉环(306)固定安装在限位挡板(303...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩敬坤，顾红军，
申请(专利权)人：昆山三凯光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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