基板处理装置及其基板搬送方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及的基板处理装置及其基板搬送方法，能够防止因插入晶片的处理而破坏处理室内的状况。在反复进行按照通常时搬出模式的顺序搬出个晶片的控制的期间，如果插入开始按钮被按压，则基于晶片的搬出履历判断当时的搬出模式的循环是否已经结束，在判断为上述循环已经结束的情况下，立即在下个循环按照将产品晶片置换为插入晶片的插入时搬出模式的顺序从盒容器（１３４Ｃ、１３４Ｂ）中搬出插入晶片（Ｗｆ）和伪晶片（Ｗｄ），或者在判断为上述循环尚未结束的情况下，直到该循环结束为止，按照该通常时搬出模式搬出晶片，而在下个循环按照将产品晶片置换为插入晶片的插入时搬出模式的顺序从盒容器（１３４Ｃ、１３４Ｂ）中搬出插入晶片（Ｗｆ）和伪晶片（Ｗｄ）。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基板搬送方法，其是将基板从基板收纳容器中逐枚搬出并搬送到处理室，反复进行对于所述基板的工艺处理和所述处理室内的清洁处理的基板处理装置的基板搬送方法，其特征在于，　所述基板处理装置包括：插入开始按钮，其用于在所希望的时间使实施与产品基板同样的工艺处理的插入基板的处理开始；和　存储部，其用于存储通常时的搬出模式、插入时的搬出模式和从所述基板收纳容器搬出的基板的搬出履历，其中，所述通常时的搬出模式对从所述基板收纳容器搬出所述工艺处理中使用的所述产品基板和所述清洁处理中使用的伪基板的顺序进行规定；所述插入时的搬出模式为仅将规定枚数的该通常时的搬出模式中的产品基板置换为所述插入基板，　所述基板搬送方法包括：　判断所述插入开始按钮是否已被按压的步骤；　在所述插入开始按钮没有被按压的期间，反复进行按照所述通常时的搬出模式的顺序从所述基板收纳容器搬出各基板的控制的步骤；和　下述步骤，即，进行如下控制，如果所述插入开始按钮被按压，则基于所述搬出履历判断当时的搬出模式的循环是否已经结束，在判断为所述循环已经结束的情况下，立即按照所述插入时的搬出模式的顺序从所述基板收纳容器搬出各基板，或者在判断为所述循环尚未结束的情况下，进行按照该通常时的搬出模式的顺序从所述基板收纳容器搬出各基板的控制直到该循环结束为止之后，按照所述插入时的搬出模式的顺序从所述基板收纳容器搬出各基板，如果所述插入时的搬出模式的循环结束，则返回到按照所述通常时的搬出模式的顺序从所述基板收纳容器搬出各基板的控制。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：饭岛清仁，望月宏朗，沼仓雅博，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]