光波导路组件的制造方法技术

本发明专利技术提供一种光波导路组件的制造方法，能以稳定的精度形成光的反射部，其生产效率高。在光学元件被安装在光波导路的端部的背面侧的光波导路组件的制造方法中，上述光波导路的制作使用了成形模具（１０）的模具成形法，以覆盖了芯（５）的状态将上敷层（６）形成在表面侧的同时，将与光波导路的端部相对应的上敷层（６）的端部形成为反射部（６ａ）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光通信、光信息处理、其它一般光学中广 泛应用的光波导^^组件的制造方法。
技术介绍
如图7所示，光波导路组件例如包括基^反81;形成在该基 1o板81的表面的、由下lt层84、芯85、上数层86构成的光波导路； 安装在上述基板81的背面的发光元件31和受光元件32。上述发光 元件31和受光元件32的电极31a、 31b分别与导电配线83连接。 并且，在发光元件31的上方和受光元件32的上方，在上述基板81 上形成有作为光路的通孔88，以便能借助于光波导路将来自发光 ls元件31的光(光信号)L传播到受光元件32上，并且光波导路的 两端部定位在两通孔88的上方。该光波导^各的两端部形成为相对 于光轴倾斜45。的倾斜面，该倾斜面的与芯85相对应的部分形成 为光路变换镜85a (例如，参照专利文献l)。上述光波导路组件中的光L的传播如下所述这样进行。首 先，光L从发光元件31射出到上方。该光L通过上述基々反81的通 孔88后，穿过光波导路的一端部(在图7中的左端部)的下敷层 84，入射到芯85的一端部。接着，该光L由芯85的一端部的光 路变换镜85a反射(光路发生90。变换)，被引导到芯85的里侧。 然后，该光L在芯85内传:播到另 一端部(图7中的右端部)。4妄 着，该光L由上述另 一端部的光路变换镜85a向下方反射(光路 发生90°变换)，穿过下敷层84而从光波导路射出。然后，该光 L通过上述基板81的通孔88后，传播到受光元件32上。而且，为了降低光波导路与发光元件31或受光元件32之间 的光L的耦合损失，如图8所示，提出了将与光波导路两端部的 光路变换镜95a相对应的下li层96的表面部分形成为凸状透镜 部96a(例如，参照专利文献2、 3)。即，在光波导^各的一端部 中，从发光元件31射出的光L净皮上述凸状透4竟部96a聚光，以该 聚光状态被引导到芯95的 一端部的光路变换镜95a。在光波导路 的另 一 端部中，由芯95的另 一端部的光路变换镜95a反射的光被 上述凸状透镜部96a聚光，以该聚光状态朝着受光元件32射出。 利用这样的上述凸状透镜部96a的聚光作用，降低了光L的耦合 损失。另外，在图8中，附图标记94是下敷层。专利文献l:曰本对争开2007画4043号7>才艮(,更落0096 ~ 0100 以及图25、 26、 32、 34)专利文献2:日本特开2003-172837号公报专利文献3:日本特开2006-154335号公报但是，在上述专利文献1~3中，为了形成光路变换镜(倾 斜面)85a、 95a,需要利用旋转刀具等切削光波导路两端部，生 产效率差。并且，光路变换镜85a、 95a的形成是利用旋转刀具 等的切削时，其切断角度(倾斜面的角度)、切断面(倾斜面) 的平面度等精度易于产生偏差。光路变换镜85a、 95a的精度不 够时，无法恰当地进行光路变换，光L的耦合损失变大。而且， 在专利文献2、 3中，形成凸状透镜部96a时要求其与光路变换镜 95a的定位精度，凸状透镜部96a的形成很困难。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而做成的，其目的在于提供一种光 波导路组件的制造方法，能以稳定的精度形成光的反射部，其 生产效率高。为了达到上述目的，本专利技术的，其用于制造光波导路组件，该光波导路组件包括在表面侧具 有芯和覆盖该芯的上敷层的光波导路；在该光波导路的背面侧 与上述光波导路的端部相关联地安装的光学元件；能将光反射 而在上述芯和上述光学元件之间进行光传播的反射部，该光波 导路组件的制造方法采取具有如下工序的结构利用模具成形 法形成上述上敷层的同时，将与上述光波导路的端部相对应的 上敷层的端部形成为反射部。在本专利技术的中，利用模具成形法 形成光波导路的上敷层的同时，在上敷层上也形成反射部。因 此，能稳定(无偏差)地形成上敷层的形状。并且，也能以稳 定的精度形成上敷层端部的反射部。由此，在所制造的光波导 路组件中，在借助于上述反射部的、芯和光学元件之间的光传 播中，能恰当地进行上述反射部中的光反射(光路变换)，能减 少光的耦合损失。而且，利用模具成形法上述反射部与上敷层 同时形成，因此形成反射部不需要旋转刀具等的切削工序(现 有技术的光路变换镜部分(倾斜面)的形成工序)，提高了光波 导路的生产效率，其结果，提高了光波导路组件的生产效率。特别是，在将上述上敷层的端部形成为反射部的工序是将 上敷层本身的端部形成为截面呈弧状的曲面的工序的情况下， 在所制造的光波导路组件中，上述反射部的反射是凹曲面的反 射，因此能将上述反射部反射的光聚光。由此，借助于上述反 射部的、在芯的端部和光学元件之间的光传播能以聚光的状态 进行，更能减少光的耦合损失。而且，在将上述上敷层的端部形成为反射部的工序包括将 上敷层本身的端部形成为截面呈弧状的曲面的工序以及还在所 形成的曲面上形成金属膜的工序的情况下，在所制造的光波导路组件中，利用上述金属膜能提高反射部的光的反射率，因此 也能提高光的传播效率。附图说明图l的(a) ~ (d)是示意性地表示本专利技术的光波导路组件 的制造方法的第l实施方式的说明图。图2的(a) ~ ( c)是示意性地表示上述光波导路组件的制 造方法的第l实施方式的说明图。图3是示意性地表示上述光波导路组件的剖视图。图4是示意性地表示本专利技术的的 第2实施方式的说明图。图5的(a) ~ ( d)是示意性地表示本专利技术的光波导路组件 的制造方法的第3实施方式的说明图。图6的(a) (b)是示意性地表示本专利技术的光波导路组件 的制造方法的第4实施方式的上敷层的形成工序的说明图。图7是示意性地表示以往的光波导路组件的说明图。图8是示意性地表示以往的另 一光波导路组件的剖视图。具体实施例方式接着，基于附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。 图l的(a) ~ ( d)、图2的(a) ~ ( c)表示本专利技术的光波 导路组件的制造方法的第l实施方式。在该实施方式中，首先， 如图l的(a)所示，在不锈钢制基板l的下表面的规定位置，将 绝缘层2形成规定图案之后，在该绝缘层2的表面上，将导电配 线3形成规定图案。接着，如图l的(b)所示，在上述不锈钢制 基板l的上表面的规定位置，按下敷层4、芯5的顺序将下敷层4、 芯5层叠形成为规定图案。然后，如图l的(c) ~ (d)所示，7使用上敷层6形成用的成形模具10进行模具成形。在该成形模具 IO的模面上，在其两端形成有反射部6a形成用的、将空心球大 约一分为四而形成的大约l/4球面(凹部ll的两端部lla)。然后， 利用使用了该成形模具10的模具成形法，以覆盖上述芯5的状态 形成上敷层6。由此，制作出了由上述下敷层4、芯5、上敷层6 构成的光波导路。在本实施方式中，上述上敷层6的两端部形成 为大约l/43求面(截面为大约l/4圆)，该大约1/4J求面(截面为弧 状的曲面)为反射部6a。在本专利技术中，这样利用模具成形法形 成具有反射部6a的上敷层6，从而能提高光波导路的生产效率， 能提高光波导路组件的生产效率。并且，在本实施方式中，如图2的(a)所示，通过电镀或 蒸镀在上述大约l/4球面上形成金属膜7。接着，如图2的(b) 所示，将包括上述光波导路的规定区域与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光波导路组件的制造方法，其用于制造光波导路组件，该光波导路组件包括：在表面侧具有芯和覆盖该芯的上敷层的光波导路；在该光波导路的背面侧与上述光波导路的端部相关联地安装的光学元件；能将光反射而在上述芯和上述光学元件之间进行光传播的反射部，其特征在于，　该光波导路组件的制造方法包括如下工序：利用模具成形法形成上述上敷层的同时，将与上述光波导路的端部相对应的上敷层的端部形成为反射部。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：清水裕介，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]