用于固定待镀膜工件的基板架制造技术

技术编号:38981324 阅读:17 留言:0更新日期:2023-10-03 22:15
本申请公开了一种用于固定待镀膜工件的基板架,包括:下盖,用于承载所述待镀膜工件;上盖,包括使用时叠置在所述待镀膜工件上的工作区以及超出待镀膜工件的非工作区;锁止件,活动穿设在所述非工作区上,具有结合下盖限制上盖和下盖分离的锁止位置以及释锁位置;所述锁止件包括接受外力从释锁位置切换至锁止位置的操作部;第一弹性件,作用于所述锁止件,使其从锁止位置复位到释锁位置。本申请先通过锁止件限制上盖、下盖分离,再通过第一弹性件的弹性势能由缓渐增的释放方式将上盖、下盖夹紧,即基板架夹紧待镀膜工件的过程也是由缓渐增、逐步夹紧,避免了玻璃基本夹紧过程破损的不利影响,且锁止件的结构简单、施力方便、拆卸效率高。效率高。效率高。

【技术实现步骤摘要】
用于固定待镀膜工件的基板架


[0001]本申请涉及真空镀膜领域,特别是涉及用于固定待镀膜工件的基板架。

技术介绍

[0002]在镀膜过程中,很多工艺不需要对整个基板覆膜,而是在溅射镀膜时使用掩膜板及其配套机构来对特定位置(例如端面、侧边等)进行覆膜。
[0003]待镀膜工件一般装载在基板架上,掩膜板与基板架通过螺纹连接、磁吸的方式贴合上并把待镀膜工件夹紧,但现有的掩膜板与基板架装配结构无法满足工艺的要求,尤其当待镀膜工件为玻璃薄片时,若采用磁吸结构,则由于贴合的瞬间吸力够大导致基片破损;若采用螺纹连接,则需要手动去拆装每个连接螺栓,效率低下。

技术实现思路

[0004]为了解决上述的技术问题,本申请提供一种用于固定待镀膜工件的基板架,包括:
[0005]下盖,用于承载所述待镀膜工件;
[0006]上盖,包括使用时叠置在所述待镀膜工件上的工作区以及超出待镀膜工件的非工作区;
[0007]锁止件,活动穿设在所述非工作区上,具有结合下盖限制上盖和下盖分离的锁止位置以及释锁位置;所述锁止件包括接受外力从释锁位置切换至锁止位置的操作部;
[0008]第一弹性件,作用于所述锁止件,使其从锁止位置复位到释锁位置。
[0009]以下还提供了若干可选方式,但并不作为对上述总体方案的额外限定,仅仅是进一步的增补或优选,在没有技术或逻辑矛盾的前提下,各可选方式可单独针对上述总体方案进行组合,还可以是多个可选方式之间进行组合。
[0010]可选的,所述第一弹性件为穿套在所述锁止件上的弹簧。
[0011]可选的,所述锁止件具有限位部,所述弹簧两端分别抵靠所述限位部和上盖。
[0012]可选的,包括固定在上盖上的安装座,所述安装座具有供所述锁止件滑移的通道,所述限位部与通道间隙配合,所述第一弹性件置于所述通道内。
[0013]可选的,在所述锁止位置,所述锁止件与安装座齐平,在所述释锁位置,所述操作部高出安装座。
[0014]可选的,包括滑动装配在所述下盖上的解锁件以及作用于所述解锁件的第二弹性件,所述解锁件具有使得所述锁止件停留在锁止位置的阻挡部。
[0015]可选的,所述锁止件和解锁件的滑移方向相互垂直。
[0016]可选的,所述解锁件具有露出所述下盖侧面的按压部。
[0017]可选的,所述下盖的背面具有沉槽,所述解锁件和第二弹性件在安装在所述沉槽内。
[0018]可选的,包括使得所述上盖和下盖扣合到位的定位件。
[0019]与现有的基板架夹紧结构不同,本申请的基板架并非一瞬间将上下盖夹紧,而是
先通过锁止件限制上盖、下盖分离,再通过第一弹性件的弹性势能由缓渐增的释放方式将上盖、下盖夹紧,即基板架夹紧待镀膜工件的过程也是一个由缓渐增、逐步夹紧,尤其针对薄型的玻璃基片,这种夹紧方式有效避免了玻璃基本夹紧过程破损的不利影响。且锁止件的结构简单、施力方便,操作者仅需通过按压操作部即可切换锁止件的锁止位置、释锁位置,相比于现有的螺纹连接基板架,具有操作简单、结构稳定、拆卸效率高的优势。
附图说明
[0020]图1为本申请的结构示意图;
[0021]图2为图1的局部爆炸图;
[0022]图3为本申请的剖视图;
[0023]图4为本申请中锁止件处于释锁位置的结构示意图;
[0024]图5为本申请中下盖沿沉槽方向的结构示意图。
[0025]图中附图标记说明如下:
[0026]1、下盖;11、沉槽;12、装载区;13、贴合区;2、上盖;21、工作区;22、非工作区;
[0027]3、待镀膜工件;4、锁止件;41、操作部;42、限位部;5、第一弹性件;6、安装座;61、通道;7、解锁件;71、阻挡部;72、按压部;8、第二弹性件;81、固定座;9、定位件。
具体实施方式
[0028]下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
[0029]需要说明的是,当组件被称为与另一个组件“连接”时,它可以直接与另一个组件连接或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件,它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。
[0030]除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是在于限制本申请。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0031]参考图1至图4,本申请提供一种用于固定待镀膜工件的基板架,可用于待镀膜工件端面镀膜的场景,尤其是薄型玻璃基片(厚度为0.5~3mm)的端面镀膜,基板架包括使用时相互贴合的下盖1、上盖2,上盖包括使用时叠置在待镀膜工件上的工作区21以及超出待镀膜工件的非工作区22,工作区主要将待镀膜工件不需要镀膜的部分掩盖,非工作区用于与下盖连接贴合。相应的,下盖上具有与工作区相对应的装载区12,用于承载待镀膜工件3;还具有与非工作区22贴合的贴合区13,一般贴合区和非工作区分别位于工作区的两侧,从而当上盖和下盖贴合时,待镀膜工件3位于工作区内的部位被上盖、下盖夹紧,仅两侧端面露出部分进行后续镀膜。
[0032]基板架还包括锁止件4、第一弹性件5,锁止件4活动穿设在非工作区22上,如图2所示,锁止件4贯穿非工作区22且可在非工作区内上下滑动,在锁止件的滑动过程中,形成锁
止位置、释锁位置,锁止位置可理解为锁止件与下盖结合的位置并限制上盖和下盖分离;释锁位置可理解为锁止件与下盖脱离并接触对上盖和下盖位置的限制。
[0033]锁止件4上设有便于操作者施力的操作部41,且当锁止件接受外力后,由释锁位置切换至锁止位置。第一弹性件5作用于锁止件4,为锁止件提供回复力,可理解为该回复力能使锁止件从锁止位置复位到释锁位置。
[0034]本实施例中基板架夹紧待镀膜工件的过程是一个由缓渐增、逐步夹紧的过程,如图4所示,当不对锁止件施力时,锁止件受到第一弹性件的回复力,保持在释锁位置;当操作者向下按压操作部41时,第一弹性件吸收一部分外力转换为自身去弹性势能,当锁止件向下滑动至与下盖结合的位置(如图3所示),此时操作者撤去外力,接着第一弹性件将弹性势能释放,再次转换为对上盖下盖的夹紧力,且该夹紧力由缓渐增,直至第一弹性件的弹性势能全部释放。
[0035]由此可知,与现有的磁吸结构基板架不同,本申请的基板架并非一瞬间将上下盖夹紧,而是先通过锁止件限制上盖、下盖分离,再通过第一弹性件的弹性势能由缓渐增的释放方式将上盖、下盖夹紧,即基板架夹紧待镀膜工件的过程也是一个由缓渐增、逐步夹紧,尤其针对薄型的玻璃基片,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于固定待镀膜工件的基板架,其特征在于,包括:下盖,用于承载所述待镀膜工件;上盖,包括使用时叠置在所述待镀膜工件上的工作区以及超出待镀膜工件的非工作区;锁止件,活动穿设在所述非工作区上,具有结合下盖限制上盖和下盖分离的锁止位置以及释锁位置;所述锁止件包括接受外力从释锁位置切换至锁止位置的操作部;第一弹性件,作用于所述锁止件,使其从锁止位置复位到释锁位置。2.根据权利要求1所述的基板架,其特征在于,所述第一弹性件为穿套在所述锁止件上的弹簧。3.根据权利要求2所述的基板架,其特征在于,所述锁止件具有限位部,所述弹簧两端分别抵靠所述限位部和上盖。4.根据权利要求3所述的基板架,其特征在于,包括固定在上盖上的安装座,所述安装座具有供所述锁止件滑移的通道,所述限位部与通道间隙配合,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:林佳全娄国明徐建柱沈纬徵
申请(专利权)人:安徽越好电子装备有限公司
类型:新型
国别省市:

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