送气操作箱以及供气系统技术方案

本申请提供了一种送气操作箱以及供气系统，涉及供气设备技术领域。送气操作箱用于对待供气设备供气；送气操作箱包括箱体以及安装于箱体的底部的滚轮，以使箱体可以移动。箱体上设置有气体进口和可选择地开闭的气体出口，气体进口用于与气源连通，气体出口用于向待供气设备内供气。箱体的外表面上设置有拨码开关，箱体上设置有控制器，控制器与拨码开关信号连接，控制器被配置为：接收拨码开关发出的开闭指令，并根据拨码开关发出的开闭指令控制气体出口的开闭。本申请提供的送气操作箱便于移动，可实现灵活地对设置在不同位置的待供气设备进行供气，无需使得每台待供气设备均安装有具有强制拨码供气功能的控制柜，可减少待供气设备的体积和成本。气设备的体积和成本。气设备的体积和成本。

【技术实现步骤摘要】
送气操作箱以及供气系统


[0001]本申请涉及供气设备
，具体而言，涉及一种送气操作箱以及供气系统。

技术介绍

[0002]在半导体领域中，半导体材料等产品的生产过程中常需要使用高纯气体设备。现有技术中，高纯气体设备上一般设置有控制柜，控制柜内设置有控制器件以及具有强制拨码功能的器件等元件，以使得高纯气体设备具有强制拨码功能，进而在生产车间出现紧急停电等导致高纯气体设备发生紧急断电的情况时，使得外界气源可以在强制拨码下向高纯气体设备内输送特定的气体，以保障高纯气体设备内特定的气体的含量。
[0003]但是，每台高纯气体设备发生紧急断电的概率较低，导致每台高纯气体设备使用其强制拨码供气功能的概率也较低；每台高纯气体设备上设置具有强制拨码供气功能的控制柜，不仅会增加每台高纯气体设备的体积，还会增加每台高纯气体设备的成本。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种送气操作箱以及供气系统，其旨在提供一种方便移动的、可对不同的高纯气体设备进行强制拨码供气的装置，以实现减少每台高纯气体设备的体积和成本。
[0005]第一方面，本申请提供一种送气操作箱，送气操作箱用于对待供气设备供气；送气操作箱包括：箱体以及安装于箱体的底部的滚轮，以使箱体可以移动。箱体上设置有气体进口和可选择地开闭的气体出口，气体进口用于与气源连通，气体出口用于向待供气设备内供气。箱体的外表面上还设置有拨码开关，箱体上设置有控制器，控制器与拨码开关信号连接，且控制器被配置为：接收拨码开关发出的开闭指令，并根据拨码开关发出的开闭指令控制气体出口的开闭。
[0006]本申请提供的送气操作箱设置有气体进口和可选择地开闭的气体出口，通过将气体进口与气源连通，将气体出口与待供气设备连通，可实现向待供气设备(即高纯气体设备)内进行供气；且本申请提供的送气操作箱的箱体底部安装有滚轮，使得送气操作箱可以便于移动，以实现送气操作箱可以灵活地对设置在不同位置的待供气设备进行强制供气，无需使得每台待供气设备均安装有具有强制拨码供气功能的控制柜，可减少待供气设备的体积和成本。
[0007]结合第一方面，在本申请可选的实施方式中，拨码开关与气体出口的数量均为多个，一个拨码开关通过控制器控制一个气体出口的开闭，且一个气体出口用于向一个待供气设备内供气。
[0008]上述技术方案，可实现一个送气操作箱可以同时向多个不同的待供气设备强制供气。
[0009]结合第一方面，在本申请可选的实施方式中，拨码开关设置于箱体的前壁体上，气体进口和气体出口均设置于箱体的后壁体上。
[0010]上述技术方案中，拨码开关、控制器、气体进口以及气体出口的设置位置，有利于避免由于“气体出口、气体进口或控制器设置在拨码开关附近”而导致的影响操作者操控拨码开关的情况，有利于提高操作者操控送气操作箱的便利性。
[0011]结合第一方面，在本申请可选的实施方式中，箱体具有相对设置的第一侧壁和第二侧壁，控制器设置于第一侧壁上，且第二侧壁上设置有检修口以及用于可选择地封挡检修口的封挡件。
[0012]上述技术方案，便于对箱体内部的线路以及控制器进行检修。
[0013]结合第一方面，在本申请可选的实施方式中，前壁体的远离后壁体的表面上还设置有开关指示灯，开关指示灯用于指示气体出口的开闭。送气操作箱还包括透明防护板，透明防护板设置于前壁体的远离后壁体的一侧；前壁体的远离后壁体的表面上设置有围设于前壁体的边缘的凸台，透明防护板的一端与凸台合页连接，以使透明防护板、凸台以及前壁体之间可形成用于容纳拨码开关和开关指示灯的容纳腔。
[0014]上述技术方案中，透明防护板的设置，可保护前壁体上安装的开关指示灯以及拨码开关，也便于观察开关指示灯是否亮，以确定对应的气体出口是否开闭。
[0015]结合第一方面，在本申请可选的实施方式中，箱体的顶壁上设置有把手。
[0016]上述技术方案中，把手的设置，便于操作者移动整个送气操作箱。
[0017]结合第一方面，在本申请可选的实施方式中，送气操作箱还包括伸缩杆，伸缩杆的一端与箱体连接，且伸缩杆的另一端朝向竖直方向的上方延伸。
[0018]上述技术方案中，伸缩杆的设置，便于通过伸缩杆的伸长或缩短，以适合于不同的操作者，使得不同的操作者可通过拉持送气操作箱以使得箱体的滚轮滚动，进而使得整个送气操作箱移动。
[0019]结合第一方面，在本申请可选的实施方式中，箱体的底部还安装于支撑件，支撑件和滚轮分别安装箱体的底部的相对两端，以使得滚轮和支撑件能够共同支撑箱体。
[0020]上述技术方案中，支撑件的设置，可以在箱体无需移动时，稳定支撑箱体，有利于提高箱体的稳定性。
[0021]第二方面，本申请提供一种供气系统，供气系统包括：气源、待供气设备以及上述第一方面提供的送气操作箱，气源用于与送气操作箱的气体进口可选择地连通，待供气设备的气体输入口用于与送气操作箱的气体出口可选择地连通。
[0022]本申请提供的供气系统，可在待供气设备断电时，通过将送气操作箱的气体进口与气源连通，气体出口与待供气设备的气体输入口连通，通过操控拨码开关的开闭实现向待供气设备内强制供气。
[0023]结合第二方面，在本申请可选的实施方式中，待供气设备、拨码开关以及气体出口的数量均为多个；一个拨码开关通过控制器控制一个气体出口的开闭，且一个气体出口用于与一个待供气设备的气体输入口可选择地连通。
[0024]上述技术方案，可实现一个送气操作箱可以同时向多个不同的待供气设备强制供气。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附
图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0026]图1为本申请实施例提供的供气系统的第一视角的结构示意图。
[0027]图2为本申请实施例提供的供气系统的第二视角的结构示意图。
[0028]图3为本申请实施例提供的送气操作箱的第一视角的结构示意图。
[0029]图4为本申请实施例提供的送气操作箱的第二视角的结构示意图。
[0030]图5为本申请实施例提供的送气操作箱的第三视角的结构示意图。
[0031]图标：100
‑
气源；200
‑
待供气设备；300
‑
送气操作箱；310
‑
箱体；311
‑
气体进口；312
‑
气体出口；313
‑
前壁体；314
‑
后壁体；315
‑
侧壁体；3151
‑
第一侧壁；3152
‑
第二侧壁；316
‑
封挡件；317
‑
顶壁；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种送气操作箱，其特征在于，所述送气操作箱用于对待供气设备供气；所述送气操作箱包括：箱体以及安装于所述箱体的底部的滚轮，以使所述箱体可以移动；所述箱体上设置有气体进口和可选择地开闭的气体出口，所述气体进口用于与气源连通，所述气体出口用于向所述待供气设备内供气；所述箱体的外表面上还设置有拨码开关，所述箱体上设置有控制器，所述控制器与所述拨码开关信号连接，且所述控制器被配置为：接收所述拨码开关发出的开闭指令，并根据所述拨码开关发出的所述开闭指令控制所述气体出口的开闭。2.根据权利要求1所述的送气操作箱，其特征在于，所述拨码开关与所述气体出口的数量均为多个，一个所述拨码开关通过所述控制器控制一个所述气体出口的开闭，且一个所述气体出口用于向一个所述待供气设备内供气。3.根据权利要求1所述的送气操作箱，其特征在于，所述拨码开关设置于所述箱体的前壁体上，所述气体进口和所述气体出口均设置于所述箱体的后壁体上。4.根据权利要求3所述的送气操作箱，其特征在于，所述箱体具有相对设置的第一侧壁和第二侧壁，所述控制器设置于所述第一侧壁上，且所述第二侧壁上设置有检修口以及用于可选择地封挡所述检修口的封挡件。5.根据权利要求3所述的送气操作箱，其特征在于，所述前壁体的远离所述后壁体的表面上还设置有开关指示灯，所述开关指示灯用于指示所述气体出口的开闭；所述送气操作箱还包括透明防护板，所述透明防护板设置于所述前壁体的远离所述后壁体的一侧；所述前...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏伯春，顾鑫，李梦越，
申请(专利权)人：上海正帆科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：