化学气相沉积炉用导气座制造技术

本实用新型专利技术公开了一种化学气相沉积炉用导气座，涉及导气装置技术领域，其技术方案要点是：包括有连接管，连接管一侧设置有环形限位盘，连接管远离限位盘一侧依次连接有支撑环，第一紧锁环和第二紧锁环，第一紧锁环上阵列有若干螺栓，螺栓朝向支撑环设置，螺栓远离支撑环的端面上阵列有若干第一凸起，第二紧锁环上阵列有与第一凸起对应的第二凸起。本实用新型专利技术通过设置多级紧锁，增大紧锁的摩擦力，防止紧锁处松动，使得导气座最大程度上不松动。使得导气座最大程度上不松动。使得导气座最大程度上不松动。

【技术实现步骤摘要】
化学气相沉积炉用导气座


[0001]本技术涉及导气装置
，更具体地说，它涉及一种化学气相沉积炉用导气座。

技术介绍

[0002]化学气相沉积炉是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物的一种反应容器。在进行化学气相沉积时，需要向沉积炉内导入反应气体。
[0003]传统上用于化学气相沉积炉通过设置导气座与管路联通，导气座与管路的密封主要是靠密封橡胶圈，但是在实际的化学气相沉积的过程中，一般需要对沉积炉内导入的气体进行预热，预热的气体长期通过导气座与管路时，预热的气体与密封橡胶圈接触，可能会导致密封橡胶圈老化而造成气体轻微泄漏而又不容易被发现。并且，在沉积炉工作时，由于导气座通过锁紧螺母固定在化学气相沉积炉上，沉积炉上的电机等驱动设备会产生震动，锁紧螺母可能会因震动而慢慢松动，导气座与管路位置发生偏移导致气体泄漏。
[0004]因此需要提出一种新的方案来解决这个问题。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种化学气相沉积炉用导气座，通过设置多级紧锁，增大紧锁的摩擦力，防止紧锁处松动，使得导气座最大程度上不松动。
[0006]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种化学气相沉积炉用导气座，包括有连接管，所述连接管一侧设置有环形限位盘，所述连接管远离限位盘一侧依次连接有支撑环、第一紧锁环和第二紧锁环，所述第一紧锁环上阵列有若干螺栓，所述螺栓朝向支撑环设置，所述螺栓远离支撑环的端面上阵列有若干第一凸起，所述第二紧锁环上阵列有与第一凸起对应的第二凸起。
[0007]本技术进一步设置为：所述连接管远离限位盘一侧设置外螺纹，所述第一紧锁环开设有与外螺纹对应的第一内螺纹，第二紧锁环开设有与外螺纹对应的第二内螺纹。
[0008]本技术进一步设置为：所述第一紧锁环上开设有用以安装螺栓的螺纹孔。
[0009]本技术进一步设置为：所述支撑环开设有与外螺纹对应的第三内螺纹。
[0010]本技术进一步设置为：所述限位盘与支撑环之间设置有密封垫。
[0011]本技术进一步设置为：所述限位盘朝向密封垫的端面上设置有若干凸环。
[0012]本技术进一步设置为：所述限位盘与为螺纹之间留有一定的间隙。
[0013]综上所述，本技术具有以下有益效果：
[0014]将连接管安装在需要的位置，使得安装壁设置在限位盘与外螺纹之间，密封垫夹设在限位盘与安装壁之间，将支撑环旋拧在连接管上，使得支撑环远离连接管上的外螺纹与安装壁贴合，再将第一紧锁环旋拧至连接管上，使得第一紧锁环与支撑环贴合，然后将转动第一紧锁环上的若干螺栓，使得螺栓推动支撑环更好的贴合安装壁，然后将第二紧锁环
旋拧至连接管上，使得第二紧锁环上的第二凸起与螺栓上的第一凸起相接触，当化学气相沉积炉在工作时电机等驱动设备会产生震动，第二紧锁环上的第二凸起与螺栓上的第一凸起增加摩擦力，减少第二紧锁环的松动，如若第二紧锁环松动，第一紧锁环上的螺栓对支撑环支撑，螺栓对支撑环之间也存在有一定的摩擦力防止第一紧锁环松动，工作人员可以定期检查第二紧锁环是否松动，使得导气座最大程度上不松动，而且限位盘上设置有若干凸环，凸环与安装壁挤压密封垫，增加了导气座的气密性。
附图说明
[0015]图1为本技术的结构示意图；
[0016]图2为本技术的截面图；
[0017]图3为本技术的爆炸图。
[0018]图中：1、连接管；2、限位盘；3、支撑环；4、第一紧锁环；5、第二紧锁环；6、螺栓；7、第一凸起；8、第二凸起；9、外螺纹；10、第一内螺纹；11、第二内螺纹；12、第三内螺纹；13、密封垫；14、凸环。
具体实施方式
[0019]下面结合附图和实施例，对本技术进行详细描述。
[0020]一种化学气相沉积炉用导气座，如图1
‑
3所示，包括有连接管1，连接管1一侧设置有环形限位盘2，连接管1远离限位盘2一侧依次连接有支撑环3，第一紧锁环4和第二紧锁环5，第一紧锁环4上阵列有若干螺栓6，螺栓6朝向支撑环3设置，螺栓6远离支撑环3的端面上阵列有若干第一凸起7，第二紧锁环5上阵列有与第一凸起7对应的第二凸起8。
[0021]具体的，连接管1远离限位盘2一侧设置外螺纹9，第一紧锁环4开设有与外螺纹9对应的第一内螺纹10，第二紧锁环5开设有与外螺纹9对应的第二内螺纹11。
[0022]具体的，第一紧锁环4上开设有用以安装螺栓6的螺纹孔。
[0023]具体的，支撑环3开设有与外螺纹9对应的第三内螺纹12。
[0024]具体的，限位盘2与支撑环3之间设置有密封垫13。
[0025]具体的，限位盘2朝向密封垫13的端面上设置有若干凸环14。
[0026]具体的，限位盘2与外螺纹9之间留有一定的间隙。
[0027]将连接管1安装在需要的位置，使得安装壁设置在限位盘2与外螺纹9之间，密封垫13夹设在限位盘2与安装壁之间，将支撑环3旋拧在连接管1上，使得支撑环3远离连接管1上的外螺纹9与安装壁贴合，在将第一紧锁环4旋拧至连接管1上，使得第一紧锁环4与支撑环3贴合，然后将转动第一紧锁环4上的若干螺栓6，使得螺栓6推动支撑环3更好的贴合安装壁，然后将第二紧锁环5旋拧至连接管1上，使得第二紧锁环5上的第二凸起8与螺栓6上的第一凸起7相接触，当化学气相沉积炉在工作时电机等驱动设备会产生振动，第二紧锁环5上的第二凸起8与螺栓6上的第一凸起7增加摩擦力，减少第二紧锁环5的松动，如若第二紧锁环5松动，第一紧锁环4上的螺栓6对支撑环3支撑，螺栓6对支撑环3之间也存在有一定的摩擦力防止第一紧锁环4松动，工作人员可以定期检查第二紧锁环5是否松动，使得导气座最大程度上不松动，而且限位盘2上设置有若干凸环14，凸环14与安装壁挤压密封垫13，增加了导气座的气密性。
[0028]以上所述仅是本技术的优选实施方式，本技术的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本技术思路下的技术方案均属于本技术的保护范围。应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉用导气座，其特征在于：包括有连接管(1)，所述连接管(1)一侧设置有环形限位盘(2)，所述连接管(1)远离限位盘(2)一侧依次连接有支撑环(3)、第一紧锁环(4)和第二紧锁环(5)，所述第一紧锁环(4)上阵列有若干螺栓(6)，所述螺栓(6)朝向支撑环(3)设置，所述螺栓(6)远离支撑环(3)的端面上阵列有若干第一凸起(7)，所述第二紧锁环(5)上阵列有与第一凸起(7)对应的第二凸起(8)。2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉用导气座，其特征在于：所述连接管(1)远离限位盘(2)一侧设置外螺纹(9)，所述第一紧锁环(4)开设有与外螺纹(9)对应的第一内螺纹(10)，第二紧锁环(5)开设有与外螺纹(9)...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱双林，马国忠，
申请(专利权)人：苏州仕科泰新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：