一种布拉格反射镜蒸镀治具制造技术

本实用新型专利技术提供一种布拉格反射镜蒸镀治具，包括卡环以及镀锅，卡环包括卡环本体以及设于卡环本体上的松紧装置，卡环本体包括延长部以及接触部，延长部用于放置在镀锅上，松紧装置包括弹性部、推动部以及插接杆，弹性部与推动部固定连接，推动部与插接杆固定连接，在镀锅上设有与插接杆对应的插接槽，在镀锅内还设有紧固组件，紧固组件包括紧固块以及与紧固块连接的旋转部，旋转部位于紧固块的非轴心处，旋转部用于推动紧固块使其以紧固块与旋转部的连接处为轴旋转，以使紧固块面积大的一侧将插接杆挤压至插接槽的侧壁中，本实用新型专利技术中的布拉格反射镜蒸镀治具，将插接杆插入插接槽中，再通过紧固块挤压插接杆、以实现对卡环的固定。固定。固定。

【技术实现步骤摘要】
一种布拉格反射镜蒸镀治具


[0001]本技术涉及半导体器件制造
，特别涉及一种布拉格反射镜蒸镀治具。

技术介绍

[0002]LED芯片工艺主要分为薄膜沉积、光刻图形、蚀刻(薄膜去除)、清洗四个工艺并重复多次以达成芯片制作目的。其中薄膜沉积工艺，可分为PECVD沉积、磁控溅射镀膜、蒸发台电子束镀膜、离子辅助光学镀膜，主要作用是将产品所需的物质均匀的附着在基板表面，其中DBR蒸镀属于离子辅助光学镀膜。离子辅助光学镀膜相比于其他成膜方式具有产量高、膜层均匀性及致密性会更加优秀，靶材氧化更完全等优点。
[0003]现有技术的蒸镀过程中，需将晶片稳定的放置在卡环治具之上，然后将卡环治具放置在镀锅上的片源孔洞中，在光学镀膜机里旋转蒸镀，安全性能低，晶片在作业过程中，随着镀锅在驱动器的作用下匀速旋转，单弹簧固定存在晶片掉落风险，造成晶片返工以及报废的严重后果。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种布拉格反射镜蒸镀治具，旨在解决现有技术中晶片在作业过程中，随着镀锅在驱动器的作用下匀速旋转，单弹簧固定存在晶片掉落风险，造成晶片返工以及报废的严重后果的技术问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术是通过如下技术方案来实现的：
[0006]一种布拉格反射镜蒸镀治具，用于蒸镀晶片，所述布拉格反射镜蒸镀治具包括卡环以及镀锅，所述卡环包括卡环本体以及设于所述卡环本体上的松紧装置，所述卡环本体包括延长部以及接触部，所述延长部用于放置在所述镀锅上，所述松紧装置包括弹性部、推动部以及插接杆，所述弹性部与所述推动部固定连接，所述推动部与所述插接杆固定连接，在所述镀锅上设有与所述插接杆对应的插接槽，所述松紧装置无外力作用下，所述插接杆凸出所述接触部的外表面，在所述镀锅内还设有紧固组件，所述紧固组件包括紧固块以及与所述紧固块连接的旋转部，所述旋转部位于所述紧固块的非轴心处，所述旋转部用于推动所述紧固块使其以所述紧固块与所述旋转部的连接处为轴旋转，以使所述紧固块面积大的一侧将所述插接杆挤压至所述插接槽的侧壁中。
[0007]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
[0008]通过在所述卡环和所述镀锅上分别设置所述插接杆和所述插接槽，并通过弹性部控制所述插接杆的移动，将所述插接杆插入所述插接槽完成初步固定，再设置不以轴心旋转的紧固块，通过所述旋转部控制所述紧固块的旋转，使所述紧固块面积大的一侧靠近所述插接杆、将所述插接杆挤压至所述插接槽的内壁，以实现对卡环的固定，避免了卡环内的晶片存在的掉落风险，提高了安全性能进而节省了成本。
[0009]进一步的，所述旋转部包括与所述紧固块固定连接的连接杆以及与所述连接杆固
定连接的旋转阀，所述旋转阀位于所述镀锅的表面上方。
[0010]进一步的，所述弹性部包括弹性杆以及第一拉升弹簧，所述第一拉升弹簧套设在所述弹性杆的外表面，所述第一拉升弹簧的一端与所述推动部固定连接、另一端与所述延长部固定连接。
[0011]进一步的，所述推动部包括扳动杆、第一弯折杆以及第二弯折杆，所述扳动杆与所述弹性杆垂直设置、且贯穿所述弹性杆，所述扳动杆在所述弹性杆的上端形成扳动区，所述第一弯折杆与所述扳动杆的下端垂直连接、且设于远离所述第一拉升弹簧的一侧，所述第二弯折杆与所述第一弯折杆的自由端垂直连接、且设于远离所述扳动杆的一侧，在所述卡环本体上设有供所述推动部移动的轨道槽。
[0012]进一步的，所述插接杆与所述第二弯折杆垂直连接、且设于靠近所述镀锅的一侧，所述第一拉升弹簧拉升变形最大时，所述插接杆位于所述接触部的内部。
[0013]进一步的，所述镀锅中还包括抵压组件以及第二拉升弹簧，所述第二拉升弹簧的一端在所述镀锅内固定、另一端与所述抵压组件远离所述卡环的一面固定连接，所述抵压组件通过所述第二拉升弹簧在所述镀锅内弹性移动，所述第二拉升弹簧无外力作用时，所述抵压组件位于所述镀锅内部。
[0014]进一步的，所述抵压组件包括抵压部以及承托部，所述抵压部靠近所述卡环的一面向内凹陷形成围合槽，所述承托部自所述抵压部的底端朝向所述卡环延伸，以使所述承托部和所述抵压部之间形成夹角。
[0015]进一步的，所述抵压组件靠近所述插接杆设置，所述插接杆进入所述插接槽时，所述抵压组件与所述插接杆之间形成夹角。
[0016]进一步的，所述紧固块位于所述抵压组件和所述插接杆之间形成的所述夹角内，所述紧固块以所述旋转部为轴转动时，所述紧固块面积大的一侧挤压所述插接杆和所述抵压组件，以使所述插接杆紧贴所述插接槽的侧壁、所述抵压组件紧贴所述接触部的外表面。
[0017]进一步的，所述松紧装置为两个，两所述松紧装置以所述卡环的中心线为轴相对设置。
附图说明
[0018]图1为本技术实施例中卡环和紧固组件的立体图；
[0019]图2为图1中松紧装置的立体图；
[0020]图3为图1中卡环未固定时的结构示意图；
[0021]图4为图1中卡环已固定后的结构示意图；
[0022]图5为本技术实施例中镀锅的立体图；
[0023]图6为本技术实施例中布拉格反射镜蒸镀治具的立体图；
[0024]主要元件符号说明：
[0025][0026][0027]如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。
具体实施方式
[0028]为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的若干实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。
[0029]需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0030]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0031]请参阅图1至图6，所示为本技术实施例中的布拉格反射镜蒸镀治具，用于蒸镀晶片，所述布拉格反射镜蒸镀治具包括卡环以及镀锅30，所述卡环包括卡环本体10以及设于所述卡环本体10上的松紧装置20，所述卡环本体10包括延长部15以及接触部16，所述延长部15用于放置在所述镀锅30上，所述松紧装置20包括弹性部、推动部以及插接杆26，所述弹性部与所述推动部固定连接，所述推动部与所述插接杆26固定连接。
[0032]需要说明的是，所述镀锅30的外表面呈半球状本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种布拉格反射镜蒸镀治具，用于蒸镀晶片，其特征在于，所述布拉格反射镜蒸镀治具包括卡环以及镀锅，所述卡环包括卡环本体以及设于所述卡环本体上的松紧装置，所述卡环本体包括延长部以及接触部，所述延长部用于放置在所述镀锅上，所述松紧装置包括弹性部、推动部以及插接杆，所述弹性部与所述推动部固定连接，所述推动部与所述插接杆固定连接，在所述镀锅上设有与所述插接杆对应的插接槽，所述松紧装置无外力作用下，所述插接杆凸出所述接触部的外表面，在所述镀锅内还设有紧固组件，所述紧固组件包括紧固块以及与所述紧固块连接的旋转部，所述旋转部位于所述紧固块的非轴心处，所述旋转部用于推动所述紧固块使其以所述紧固块与所述旋转部的连接处为轴旋转，以使所述紧固块面积大的一侧将所述插接杆挤压至所述插接槽的侧壁中。2.根据权利要求1所述的布拉格反射镜蒸镀治具，其特征在于，所述旋转部包括与所述紧固块固定连接的连接杆以及与所述连接杆固定连接的旋转阀，所述旋转阀位于所述镀锅的表面上方。3.根据权利要求1所述的布拉格反射镜蒸镀治具，其特征在于，所述弹性部包括弹性杆以及第一拉升弹簧，所述第一拉升弹簧套设在所述弹性杆的外表面，所述第一拉升弹簧的一端与所述推动部固定连接、另一端与所述延长部固定连接。4.根据权利要求3所述的布拉格反射镜蒸镀治具，其特征在于，所述推动部包括扳动杆、第一弯折杆以及第二弯折杆，所述扳动杆与所述弹性杆垂直设置、且贯穿所述弹性杆，所述扳动杆在所述弹性杆的上端形成扳动区，所述第一弯折杆与所述扳动杆的下端垂直连接、且设于远离所述第一拉升弹簧的一侧，所述第二弯折杆与所述第一弯折杆的自由端...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅焱敏，段良飞，胡瑶，董国庆，文国昇，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：