外观检查系统技术方案

本发明专利技术提供一种外观检查系统，不会受到搬送机构的影响而可靠且稳定地得到高精度的位置信息，并且有利于降低成本以及小型化、轻量化以及节能性提高。该外观检查系统（１）利用摄像部（Ｖ）拍摄被检查物（Ｐ）的外观，并通过图像处理检查有无缺陷部位，其特征在于，具备：编码器图案显示部（２），具有在被检查物（Ｐ）上显示、并且至少显示与被检查物（Ｐ）的搬送方向（Ｆｙ）（Ｙ坐标方向）上的Ｙ坐标位置对应的编码器图案的Ｙ坐标图案部（２ｙ）；以及检查装置（３），具有从在检测缺陷部位时利用摄像部（Ｖ）拍摄该编码器图案显示部（２）而得到的图案信号（Ｓｐ）中检测与缺陷部位的位置对应的至少Ｙ坐标位置的检测处理部（４）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在利用摄像装置对面板基板等被检查物的外观进行摄像，并通过图像 处理检查有无缺陷部位时适用的外观检查系统。
技术介绍
以往，作为利用摄像部对包括多个液晶显示用面板的面板基板等被检查物的外观 进行摄像，并通过图像处理检查有无缺陷部位(视觉性不良点)的外观检查系统，已经公知 由本申请人提出的专利文献1中公开的基板用自动检查装置。该基板用自动检查装置(外观检查系统)具备搬送被检查基板的搬送部；检测 所搬送的被检查基板的视觉性不良点的检测部；以及根据来自该检测部的检测信息自动地 标记到被检测基板的视觉性不良点的标记部，其中，具备支撑被检测基板的下表面的左右 两侧的一对支撑辊机构；与支撑在该支撑辊机构上的被检测基板的左右的端边抵接而进行 被检测基板的左右方向的位置限制的一对限制辊机构；卡合到被检测基板的前后的端边而 移送被检测基板的移送机构；以及具有向所移送的被检测基板的下表面吹入压力空气而限 制被检测基板向下方弯曲的空气吹入机构的搬送部，可以实现检查的高速化并提高产品的 生产性。专利文献1 日本特开2000-193604号
技术实现思路
(本专利技术要解决的问题)但是，上述以往的外观检查系统(基板用自动检查装置)存在下述那样的应解决 的课题。第一，在来自检测被检查基板的视觉性不良点的检测部的检测信息中，包括以视 觉性不良点的大小、种类等为首的视觉性不良点的位置信息。从附加设置在搬送机构中的 编码器等得到该位置信息特别是搬送方向(Y坐标方向)的位置信息，但由于该位置信息成 为所谓间接地检测被检查基板的位置而得到的位置信息，所以在得到高精度的位置信息时 存在界限，对于液晶显示用面板那样的要求高度的位置精度的被检查物来说，无法确保充 分的精度。即，在检查液晶显示元件用滤色片中的微小着色图案的缺陷的情况下，通常要求 几十(Pm)左右的位置精度，所以无法对应于这样的检查用途。第二，在要求高度的位置精度的被检查物中，为了提高检查精度，在搬送机构中， 要求高精度(高精密)且刚性以及可靠性高的机械部件，搬送机构的成本比率变得相当大。 特别，在如液晶显示用面板那样进行着产品的大型化的情况下，搬送机构的成本比率进一 步变大，而无法忽视成本上升。本专利技术的目的在于提供一种解决了这样的
技术介绍
中存在的课题的外观检查系 统。(用于解决问题的手段)本专利技术为了解决上述课题，提供一种外观检查系统1，利用摄像部V拍摄被检查物 P的外观，并通过图像处理检查有无缺陷部位，其特征在于，具备编码器图案显示部2，具 有在被检查物P上显示、并且至少显示与被检查物P的搬送方向Fy (Y坐标方向)上的Y坐 标位置对应的编码器图案的Y坐标图案部2y ；以及检查装置3，具有从在检测缺陷部位时利 用摄像部V拍摄该编码器图案显示部2而得到的图案信号Sp中检测与缺陷部位的位置对 应的至少Y坐标位置的检测处理部4。在该情况下，根据本专利技术的优选的方式，可以在被检查物P中使用包括一个或两 个以上的平板显示器Pd...的面板基板Po，并可以在该面板基板Po的空白部位Bp中显示 编码器图案显示部2。另外，在编码器图案显示部2中，除了 Y坐标图案部2y以外，还可以 包括显示与相对Y坐标方向成为垂直的X坐标方向上的X坐标位置对应的编码器图案的X 坐标图案部2x。另一方面，编码器图案显示部2既可以使用能够通过递增方式依次检测的 多个图案要素2e...，也可以使用能够通过绝对方式检测且分别附加了绝对坐标的多个图 案要素2s...。另外，在摄像部V中，可以使用一个或两个以上的线传感器照相机Vc...，特 别，优选通过在线传感器照相机Vc...中使用线(XD而将摄像部V的分辨率设定为5 ( y m) 以上。(专利技术效果)根据具有这样的结构的本专利技术的外观检查系统1，起到如下那样的显著的效果。(1)由于具备在被检查物P上显示的编码器图案显示部2 ；以及具有从在检测缺 陷部位时利用摄像部V拍摄的编码器图案显示部2的图案信号Sp中检测与缺陷部位的位 置对应的至少Y坐标位置的检测处理部4的检查装置3，所以可以从该被检查物P自身直接 检测被检查物P中的缺陷部位的坐标位置。因此，不会受到搬送机构的影响，而可以可靠且 稳定地得到高精度的位置信息。(2)在检查被检查物P中的缺陷部位的坐标位置时，不会受到搬送机构的影响，所 以在搬送机构中不要求高精度(高精密)且刚性以及可靠性高的机械部件。因此，可以包 括搬送机构的形式选定而实现大幅的成本降低，并且还可以有利于外观检查系统1的小型 化、轻量化以及节能性提高。(3)根据优选的方式，如果在被检查物P中使用包括一个或两个以上的显示器用 平板Pd...的面板基板Po，并在该面板基板Po的空白部位Bp显示编码器图案显示部2，则 可以与在显示器用平板Pd...的表面上显示的黑矩阵图案等显示处理一起(同时)显示 等，可以容易并且低成本地实施。因此，本专利技术的外观检查系统1适用于这样的面板基板Po 中。(4)根据优选的方式，如果在编码器图案显示部2中，除了 Y坐标图案部2y以外， 还包括显示与相对Y坐标方向成为垂直的X坐标方向中的X坐标位置对应的编码器图案的 X坐标图案部2x，则可以与检测Y坐标位置的情况同样地检测处理以往在摄像部V侧进行 的X坐标位置的设定，所以具有如下优点对于X坐标，也可以可靠且稳定地得到高精度的 位置信息，并且还可以容易且低成本地实施。(5)根据优选的方式，在编码器图案显示部2中，既可以使用能够通过递增方式依 次检测的多个图案要素2e...，或者也可以使用能够通过绝对方式检测的附加了绝对坐标 的多个图案要素2s...等，可以根据被检查物P的大小、形状(形态)选择最佳的图案形态。(6)根据优选的方式，如果在摄像部V中，使用一个或两个以上的线传感器照相机 Vc...,并且特别通过在线传感器照相机Vc...中使用线(XD而将摄像部V的分辨率设定为 5(um)以上，则即使在检查液晶显示元件用滤色片(液晶显示用面板)中的微小着色图案 的缺陷等的情况下，也可以确保充裕的分辨率，所以可以可靠地进行高精度的检查。附图说明图1是示出本专利技术的最佳实施方式的外观检查系统中的主要部分的整体结构图。图2是显示该外观检查系统中的编码器图案显示部的面板基板(被检查物)的俯 视图。图3是该外观检查系统中的检查装置的外观立体图。图4是用于说明该外观检查系统的动作(功能)的流程图。(符号说明)1外观检查系统2编码器图案显示部2xX坐标图案部2yY坐标图案部2e...图案要素2s...图案要素3检查装置4检测处理部P被检查物Pd...显示器用平板Po面板基板Bp空白部位V摄像部Vc...线传感器照相机Fy被检查物的搬送方向Sp图案信号具体实施例方式接下来，举出本专利技术的最佳实施方式，并根据附图进行详细说明。首先，参照图1 图3，对本实施方式的外观检查系统1的结构进行说明。另外，在 外观检查系统1中，包括检查装置3、和在成为该检查装置3的检查对象的被检查物P上显 示的编码器图案显示部2。最初，参照图1以及图2对被检查物P进行说明。例示的被检查物P是包括电 视机显示器中使用的液晶显示用面板等显示器用平板Pd...的面板基板Po，由一张玻璃 板构成。该面板基板Po的整体形成为矩形，在面内本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种外观检查系统，利用摄像部拍摄被检查物的外观，并通过图像处理检查有无缺陷部位，其特征在于，具备：编码器图案显示部，具有在上述被检查物上显示、并且至少显示与上述被检查物的搬送方向（Ｙ坐标方向）上的Ｙ坐标位置对应的编码器图案的Ｙ坐标图案部；以及检查装置，具有从在检测缺陷部位时利用上述摄像部拍摄该编码器图案显示部而得到的图案信号中检测与上述缺陷部位的位置对应的至少上述Ｙ坐标位置的检测处理部。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：小田切章，户田好实，长野胜一，增田良太，
申请(专利权)人：日商鹰野株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]