前开放式晶圆盒制造技术

本申请提供一种前开放式晶圆盒，包括摄像结构、绝缘部、侧壁、底壁以及顶壁，侧壁分别与顶壁以及底壁连接形成盒体，摄像结构设置于盒体内且靠近盒体的进出口，摄像结构位于底壁和顶壁中的至少一者，绝缘部覆盖摄像结构，绝缘部采用透明材质，摄像结构用于对进出前开放式晶圆盒的晶圆进行扫描，以提高晶圆的检测效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
前开放式晶圆盒


[0001]本申请涉及半导体
，具体涉及一种前开放式晶圆盒。

技术介绍

[0002]前开式晶圆盒(Front Opening Unified Pod，FOUP)，在半导体制程中，通常被使用来保护、运送并存储晶圆的一种容器。
[0003]在半导体生产过程中，晶圆的线上缺陷检查很多情况下都是通过缺口或晶圆专用图来辅助定位问题机台，而晶圆专用图的定位通常是用来判断加工过程中的晶圆凹槽(notch，用于标识晶圆晶向的凹槽)方向。目前在产线的晶圆凹槽方向的读取只能通过人为检查，如通过FOUP的透明挡板检查FOUP内的晶圆情况，但因透明挡板视野的局限性，通过透明挡板观察notch，只能确认很小视野内的notch角度。为此，通常都需要使用夹具将晶圆一一从FOUP取出或者在机台生产过程中观看才能确认真实notch位置，导致晶圆的检测效率降低。

技术实现思路

[0004]鉴于此，本申请提供一种前开放式晶圆盒，以提高晶圆的检测效率。
[0005]本申请提供一种前开放式晶圆盒，包括摄像结构、绝缘部、侧壁、底壁以及顶壁，所述侧壁分别与所述顶壁以及所述底壁连接形成盒体，所述摄像结构设置于所述盒体内且靠近所述盒体的进出口，所述摄像结构位于所述底壁和所述顶壁中的至少一者，所述绝缘部覆盖所述摄像结构，所述绝缘部采用透明材质制成，所述摄像结构用于对进出所述前开放式晶圆盒的晶圆进行扫描。
[0006]其中，所述底壁和所述顶壁中的至少一者设置有卡槽，所述摄像结构卡合于所述卡槽中，所述绝缘部覆盖所述摄像结构以及所述卡槽。
[0007]其中，所述摄像结构位于所述底壁和所述顶壁的中间区域且靠近所述进出口。
[0008]其中，还包括用于承载所述晶圆的载板；自所述顶壁朝向所述底壁的方向上，所述摄像结构与所述载板不重叠。
[0009]其中，所述卡槽内设置有粘附部，所述摄像结构通过所述粘附部粘附于所述顶壁和所述底壁上。
[0010]其中，所述摄像结构具有多个，每两个相邻的摄像结构间隔设置。
[0011]其中，所述摄像结构靠近所述晶圆的一面与所述卡槽的槽口平齐。
[0012]其中，还包括透光挡板，所述透光挡板设置于与所述进出口相对设置的所述侧壁上，所述透光挡板采用透明材质制成。
[0013]其中，所述卡槽内设置有绝缘部，所述摄像结构嵌入所述绝缘部内。
[0014]其中，所述侧壁包括依次连接的第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁以及第四侧壁，所述第一侧壁可打开形成所述盒体的进出口。
[0015]本申请提供一种前开放式晶圆盒，包括摄像结构、绝缘部、侧壁、底壁以及顶壁，侧
壁均与顶壁以及底壁连接，摄像结构设置于前开放式晶圆盒内且靠近前开放式晶圆盒的进出口，摄像结构位于底壁和顶壁中的至少一者，绝缘部覆盖摄像结构，绝缘部为透明的绝缘部，摄像结构用于对进出前开放式晶圆盒的晶圆进行扫描。通过在底壁和顶壁中的至少一者设置有摄像结构，摄像结构位于盒体内且靠近盒体的进出口，使得摄像结构可以对进出盒体的晶圆进行扫描，扫描完成后，晶圆的信息形成图片，图片信息传输到后台数据库进行晶边辨识处理，即可得到晶圆的晶圆凹槽位置，晶圆的信息被记录在后台系统中，当工作人员需要检查晶圆的晶圆凹槽状况时，直接在后台系统中检查即可，无需跑到产线上检查或者从前开放式晶圆盒内一一取出检查，从而提高了晶圆的检测效率，同时，摄像结构被透明的绝缘部覆盖，避免摄像结构在作业的过程中，产生的静电影响晶圆，从而保证了晶圆的良率，此外，将摄像结构设置为被绝缘部覆盖，使得可以通过绝缘部将摄像结构固定在盒体内，降低摄像结构出现脱落的风险，且因采用透明的材质制成绝缘部，使得摄像结构可以对晶圆进行扫描，保证了摄像结构可以正常作业。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1是本申请提供的前开放式晶圆盒的结构示意图；
[0018]图2是图1中的前开放式晶圆盒的顶壁、摄像结构以及绝缘部的结构示意图；
[0019]图3是图1中前开放式晶圆盒的摄像结构扫描的晶圆的结构示意图。
[0020]附图标记：
[0021]10、前开放式晶圆盒；100、摄像结构；200、绝缘部；300、侧壁；400、底壁；500、顶壁；600、进出口。
具体实施方式
[0022]下面结合附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而非全部实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。在不冲突的情况下，下述各个实施例及其技术特征可以相互组合。
[0023]本申请提供一种前开放式晶圆盒，包括摄像结构、绝缘部、侧壁、底壁以及顶壁，侧壁与顶壁以及底壁连接形成盒体，摄像结构设置于盒体内且靠近盒体的进出口，摄像结构位于底壁和顶壁中的至少一者，绝缘部覆盖摄像结构，绝缘部为透明的绝缘部，摄像结构用于对进出前开放式晶圆盒的晶圆进行扫描。
[0024]在本申请中，通过在底壁和顶壁中的至少一者设置有摄像结构，摄像结构位于盒体内且靠近盒体的进出口，使得摄像结构可以对进出盒体的晶圆进行扫描，扫描完成后，晶圆的信息形成图片，图片信息传输到后台数据库进行晶边辨识处理，即可得到晶圆的晶圆凹槽位置，晶圆的信息被记录在后台系统中，当工作人员需要检查晶圆的晶圆凹槽状况时，直接在后台系统中检查即可，无需跑到产线上检查或者从前开放式晶圆盒内一一取出检
查，从而提高了晶圆的检测效率，同时，摄像结构被透明的绝缘部覆盖，避免摄像结构在作业的过程中，产生的静电影响晶圆，从而保证了晶圆的良率，此外，将摄像结构设置为被绝缘部覆盖，使得可以通过绝缘部将摄像结构固定在盒体内，降低摄像结构出现脱落的风险，且因采用透明的材质制成绝缘部，使得摄像结构可以对晶圆进行扫描，保证了摄像结构可以正常作业。
[0025]请参考图1
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图3，图1是本申请提供的前开放式晶圆盒的结构示意图；图2是图1中的前开放式晶圆盒的顶壁、摄像结构以及绝缘部的结构示意图；图3是图1中前开放式晶圆盒的摄像结构扫描的晶圆的结构示意图。
[0026]本申请提供一种前开放式晶圆盒10，包括摄像结构100、绝缘部200、侧壁300、底壁400以及顶壁500，侧壁300均与顶壁500以及底壁400连接形成盒体，摄像结构100设置于盒体内且靠近盒体的进出口600，摄像结构100位于底壁400和顶壁500中的至少一者，绝缘部200覆盖摄像结构100，绝缘部200为透明的绝缘部200，摄像结构100用于对进出前开放式晶圆盒10的晶圆进行扫描。具体的，侧壁300的两端分别与顶壁500以及底壁400连接形成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种前开放式晶圆盒，其特征在于，包括摄像结构、绝缘部、侧壁、底壁以及顶壁，所述侧壁分别与所述顶壁以及所述底壁连接形成盒体，所述摄像结构设置于所述盒体内且靠近所述盒体的进出口，所述摄像结构位于所述底壁和所述顶壁中的至少一者，所述绝缘部覆盖所述摄像结构，所述绝缘部采用透明材质制成，所述摄像结构用于对进出所述前开放式晶圆盒的晶圆进行扫描。2.根据权利要求1所述的前开放式晶圆盒，其特征在于，所述底壁和所述顶壁中的至少一者设置有卡槽，所述摄像结构卡合于所述卡槽中，所述绝缘部覆盖所述摄像结构以及所述卡槽。3.根据权利要求1所述的前开放式晶圆盒，其特征在于，所述摄像结构位于所述底壁和所述顶壁的中间区域且靠近所述进出口。4.根据权利要求1
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3任一项所述的前开放式晶圆盒，其特征在于，还包括用于承载所述晶圆的载板；自所述顶壁朝向所述底壁的方向上，所述摄像结构与所述载板不重叠。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭雄，黄灿阳，田野，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：