一种信号线和背氦流量控制器的防干扰结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种信号线和背氦流量控制器的防干扰结构。信号线包括第一接头、第二接头、连接线和第一接地线；第一接头和第二接头之间通过连接线连接；第一接头的外壳包括第一壳体，第一壳体由导电材料制成，第一壳体围合形成第一环形区域，第一环形区域内设置有第一导电部件，第一导电部件与连接线的一端连接；第二接头的外壳包括第二壳体，第二壳体围合形成第二环形区域，第二环形区域内设置有第二导电部件，第二导电部件与连接线的另一端连接；第一接地线的一端与第一壳体连接，另一端用于与接地端连接。第一接地线可以将第一外壳上电磁干扰产生的干扰信号输送至接地端，从而避免信号线中的电信号受到外部的电磁干扰，防止电信号异常抖动。止电信号异常抖动。止电信号异常抖动。

【技术实现步骤摘要】
一种信号线和背氦流量控制器的防干扰结构


[0001]本技术涉及集成电路制造设备
，特别涉及一种信号线和背氦流量控制器的防干扰结构。

技术介绍

[0002]在刻蚀机台中，温度是非常关键的控制参数。由于氦气的化学性质稳定、分子体积小、流动性大，因此氦气的导热性能极强，且几乎不呈现粘滞性。在半导体工艺过程中使用氦气从晶背方向对晶圆进行冷却，使晶圆受热均匀，因此背氦流量对半导体工艺有非常大的影响。
[0003]如图1所示，型号为LAM KiyoEX机型的刻蚀机台的背氦系统包括氦气源、手动阀、调压阀、供气阀、电磁阀、隔离阀、静电吸盘、UPC(unit pressure controller，背氦流量控制器)和控制板；氦气源输出的氦气依次流过手动阀、调压阀、供气阀、隔离阀和静电吸盘后，吹向晶圆背面，从而对晶圆进行冷却；UPC可以实时监测供气阀的气流所对应的电信号，并将电信号传输给控制板；控制板可以实时监测电磁阀的状态信号，并根据预设的工艺参数、UPC输送的电信号和电磁阀的状态信号，生成电磁阀控制信号；电磁阀根据电磁阀控制信号控制供气阀和隔离阀的开合状态，进而调节静电吸盘上输出的氦气气流大小。
[0004]然而，现有的背氦流量控制器和控制板之间通过常规的信号线连接，这样导致背氦流量控制器向控制板传输的电信号容易受到电磁干扰，进而导致背氦流量控制器反馈给控制板的背氦流量值存在异常抖动的现象。

技术实现思路

[0005]本技术提供了一种信号线和背氦流量控制器的防干扰结构，以解决信号线中的电信号容易受到电磁干扰的技术问题。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供了一种信号线，包括第一接头、第二接头、连接线和第一接地线；
[0007]所述第一接头和所述第二接头之间通过所述连接线连接；
[0008]所述第一接头的外壳包括第一壳体，所述第一壳体由导电材料制成，所述第一壳体围合形成第一环形区域，所述第一环形区域内设置有第一导电部件，所述第一导电部件与所述连接线的一端连接；
[0009]所述第二接头的外壳包括第二壳体，所述第二壳体围合形成第二环形区域，所述第二环形区域内设置有第二导电部件，所述第二导电部件与所述连接线的另一端连接；
[0010]所述第一接地线的一端与所述第一壳体连接，另一端用于与接地端连接。
[0011]可选的，所述连接线包括多根信号线，所述第一导电部件包括多个pin针，所述多根信号线的一端与所述多个pin针一一对应连接。
[0012]可选的，所述第一壳体的外侧设置有第一绝缘层。
[0013]可选的，所述第二壳体由导电材料制成；所述信号线还包括第二接地线，所述第二
接地线的一端与所述第二壳体连接，另一端用于与接地端连接。
[0014]可选的，所述第二壳体的外侧设置有第二绝缘层。
[0015]可选的，所述连接线包括多根信号线，所述第二导电部件包括多个pin针，所述多根信号线的另一端与所述多个pin针一一对应连接。
[0016]可选的，所述第一接头的外壳上设置有防脱卡扣。
[0017]可选的，所述第二接头的外壳上设置有防脱卡扣。
[0018]可选的，所述连接线包括由内向外依次设置的导线、屏蔽层和绝缘层。
[0019]本技术还提供了一种背氦流量控制器的防干扰结构，包括背氦流量控制器、控制板和上述任一项所述的一种信号线，信号线的第一接头与所述控制板连接，信号线的第二接头与所述背氦流量控制器连接。
[0020]本技术提供的一种信号线和背氦流量控制器的防干扰结构，在第一接头的第一外壳上设置有第一接地线，第一接地线可以将第一外壳上电磁干扰产生的干扰信号输送至接地端，从而避免信号线中的电信号受到外部的电磁干扰，防止电信号异常抖动。
附图说明
[0021]图1是现有技术中一种刻蚀机台的背氦系统的结构示意图。
[0022]图2是本技术一实施例提供的一种信号线的结构示意图。
[0023]图3是本技术一实施例提供的一种信号线的结构示意图。
[0024][附图标记说明如下]：
[0025]第一接头
‑
1、第二接头
‑
2、连接线
‑
3、第一接地线
‑
4。
具体实施方式
[0026]为使本技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图对本技术提出的一种信号线和背氦流量控制器的防干扰结构作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0027]在本技术的描述中，术语“第一”、“第二”等限定词是为了方便描述和引用而增加的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等限定词的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0028]如图2和图3所示，本实施例提供了一种信号线，包括第一接头1、第二接头2、连接线3和第一接地线4；所述第一接头1和所述第二接头2之间通过所述连接线3连接；所述第一接头1的外壳包括第一壳体，所述第一壳体由导电材料制成，所述第一壳体围合形成第一环形区域，所述第一环形区域内设置有第一导电部件，所述第一导电部件与所述连接线3的一端连接；所述第二接头2的外壳包括第二壳体，所述第二壳体围合形成第二环形区域，所述第二环形区域内设置有第二导电部件，所述第二导电部件与所述连接线3的另一端连接；所述第一接地线4的一端与所述第一壳体连接，另一端用于与接地端连接。其中，所述第一壳体可以由金属材料制成。
[0029]本实施例提供的一种信号线，在第一接头1的第一外壳上设置有第一接地线4，第
一接地线4可以将第一外壳上电磁干扰产生的干扰信号输送至接地端，从而避免信号线中的电信号受到外部的电磁干扰，防止电信号异常抖动。
[0030]可选的，如图2和图3所示，所述连接线3包括多根信号线，所述第一导电部件包括多个pin针，所述多根信号线的一端与所述多个pin针一一对应连接。图3是本实施例提供的一种15pin信号线，第一接头1和第二接头2分别包括15个pin针，在使用时可以只使用其中的部分pin针。图3中的BLK、BRN
……
VIO表示各导线的颜色，DRAIN WIRE表示屏蔽层。pin针可以插入对应的母端端子中，或者从对应的母端端子中拔出，方便第一导电部件与对应的母端端子对接。在其它实施例中，pin针和母端端子的位置可以对调设置。
[0031]可选的，参考图2和图3所示，所述第一壳体的外侧设置有第一绝缘层。所述第一绝缘层可以采用塑料材质，设置所述第一绝缘层可以提高所述第一接头1的抗干扰性能。
[0032]可选的，参考图2和图3所示，所述第二壳体由导电材料制成；所述信号线还包括第二接地线，所述第二接地线的一端与所述第二壳体连接，另一端用于与接地端连接。所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种信号线，其特征在于，包括第一接头、第二接头、连接线和第一接地线；所述第一接头和所述第二接头之间通过所述连接线连接；所述第一接头的外壳包括第一壳体，所述第一壳体由导电材料制成，所述第一壳体围合形成第一环形区域，所述第一环形区域内设置有第一导电部件，所述第一导电部件与所述连接线的一端连接；所述第二接头的外壳包括第二壳体，所述第二壳体围合形成第二环形区域，所述第二环形区域内设置有第二导电部件，所述第二导电部件与所述连接线的另一端连接；所述第一接地线的一端与所述第一壳体连接，另一端用于与接地端连接。2.如权利要求1所述的一种信号线，其特征在于，所述连接线包括多根信号线，所述第一导电部件包括多个pin针，所述多根信号线的一端与所述多个pin针一一对应连接。3.如权利要求1所述的一种信号线，其特征在于，所述第一壳体的外侧设置有第一绝缘层。4.如权利要求1所述的一种信号线，其特征在于，所述第二壳体由导电材料制成；所述信...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯俊杰，潘无忌，冯翔，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：