泵设备和系统技术方案

本发明专利技术公开了一种泵设备(3)，其具有第一泵(9)和至少一个控制器(17)。至少一个控制器(17)适于产生用于控制第一泵(9)的第一控制信号(SOUT1)。至少一个控制器(17)适于产生用于控制第二泵(27)的操作的第二控制信号(SOUT2)。第二泵(27)在泵设备(3)的外部。在泵设备(3)中提供一个或多个泵连接端口(39)，用于将第二控制信号(SOUT2)输出到第二泵(27)。本公开还涉及一种真空系统(1)，其包括本文所述类型的泵设备(3)。述类型的泵设备(3)。述类型的泵设备(3)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】泵设备和系统


[0001]本公开涉及一种泵设备和系统。更具体地但不排他地，本公开涉及一种用于真空系统的真空泵设备；以及涉及一种真空系统。

技术介绍

[0002]某些真空系统，诸如质谱系统，可以包括多个真空室。通过连续的室分级地(分阶段地)降低压力。每个室经由限制部与相邻的室连通，并且需要单独的泵送以提供所需的真空。这些系统的泵送通常使用多个泵来执行，每个室使用一个或多个泵。可以有高真空泵，例如涡轮泵或涡轮分子泵，用于泵送最高的真空室，而较低的真空室由其他较低的真空泵来泵送，诸如涡旋泵或罗茨泵。涡轮泵或涡轮分子泵可以是次级泵，并且可以由单独的泵(在此称为前级泵)支持。前级泵例如可以是涡旋泵。
[0003]泵控制器通常专门集中于容纳控制器的泵的控制和/或监测。通常，安装主级真空泵和次级真空泵，以及一个或多个真空计、真空阀和其他附件，它们被集成到真空系统中。然后，用户可以负责将不同的部件集成在真空系统内。设置在真空系统中的真空泵可以具有单独的控制器。通常，用户必须开发他们自己的真空系统控制器和/或结合附加的控制器，诸如涡轮仪表控制器(TIC)。系统控制器可以用作用于控制和监测每个真空泵的中枢控制单元(hubcontrolunit)。真空系统可能需要复杂的控制系统来提供对每个真空泵的适当控制。
[0004]至少在某些实施例中，本专利技术寻求解决或改善与现有技术相关联的问题中的至少一些。

技术实现思路

[0005]本专利技术的方面涉及如所附权利要求中所要求保护的泵设备和真空系统。
[0006]根据本专利技术的一方面，提供了一种泵设备，包括：
[0007]第一泵；
[0008]至少一个控制器，用于生成：
[0009]用于控制第一泵的第一控制信号；以及
[0010]用于控制第二泵的第二控制信号；
[0011]其中，所述第二泵在所述泵设备的外部，并且所述泵设备包括用于将所述第二控制信号输出到所述第二泵的一个或多个泵连接端口。泵设备可以是独立的设备。泵设备可以例如包括壳体，第一泵和至少一个控制器容纳在该壳体中。一个或多个泵连接端口被配置为提供泵设备与第二泵之间的硬件接口。第二泵设置在泵设备的外部，例如作为单独的设备。设置在泵设备中的至少一个控制器可以用作可操作以控制第一泵和第二泵的主控制器。第二泵可以可选地包括单独的控制器，例如以处理第二控制信号和控制第二泵的操作。在这种布置中，第二控制器可以用作从属控制器。
[0012]例如在真空系统的设置或真空系统的重新配置期间，可以输出第二控制信号以配
置第二泵。替代地或另外，第二控制信号可以被输出以在真空系统的操作期间控制第二泵。
[0013]至少一个控制器被集成到泵设备中。至少一个控制器可以用作中枢控制器或系统控制器，允许连接到第二泵并控制第二泵。
[0014]所述至少一个控制器可以支持以下中的一者或多者的直接连接：压力传感器(诸如真空传感器或真空计)；真空附件，诸如真空阀或冷却风扇；以及接口。该接口可以提供改进的连接性，例如以实现控制过程和/或监测过程。改进的连接性可以使得这些过程能够本地和/或远程地执行。
[0015]所述至少一个控制器可以监测和/或控制第一泵和第二泵中的每一者。
[0016]至少在某些实施例中，一个或多个泵连接端口被配置成用于连接到互补连接器。每个泵连接端口可以包括公电连接器或母电连接器或由公电连接器或母电连接器组成。一个或多个泵连接端口可以集成到泵设备中。一个或多个泵连接端口可以紧固到壳体。
[0017]在使用中，电连接器可以设置在泵设备和第二泵之间。电连接器可以例如包括电缆或电线。电缆或电线可以具有用于与一个或多个泵连接端口协作以建立通信信道的连接器。通信通道可以提供单向通信，例如以提供从泵设备到第二泵的通信。替代地，通信通道可以提供双向通信，例如以提供去往和来自第二泵的通信。
[0018]一个或多个泵连接端口可以被配置为将第二控制信号输出到第二泵。一个或多个泵连接端口可以被配置为从第二泵接收一个或多个操作信号。一个或多个泵连接端口可以使得能够在至少一个控制器和与第二泵相关联的控制器之间进行通信。例如，第二泵可以具有第二泵控制器。至少一个控制器可以从第二泵控制器接收至少一个操作参数。所述至少一个操作参数可以包括以下中的一个或多个：所述第二泵的操作速度；所述第二泵的入口压力；所述第二泵的出口压力；所述第二泵的操作负载；故障数据；以及诊断信息。将一个或多个操作信号传输到第一控制器可以便于监测第二泵。
[0019]泵设备可以是真空泵设备。第一泵可以是真空泵；和/或第二泵可以是真空泵。第一泵可以是主级真空泵，并且第二泵可以是次级真空泵。替代地，第一泵可以是次级真空泵，并且第二泵可以是主级真空泵。
[0020]至少在某些实施例中，至少一个控制器被集成到泵设备中并且被配置成控制和监测第一泵；并被配置成控制和监测第二泵。第二泵可以是分立单元，其直接连接到真空系统内的第一泵。该至少一个控制器也可连接至设置在真空系统内的一个或多个真空传感器/致动器。至少在某些实施例中，至少一个控制器可以促进系统级集成，并且可以减少或消除对附加的系统级控制器的需要。
[0021]至少一个控制器可以包括存储器装置和至少一个电子处理器。至少一个电子处理器可以具有：用于接收输入信号的至少一个电输入；以及至少一个电输出，用于将第一控制信号输出到第一泵和/或将控制信号输出到第二泵。
[0022]至少一个控制器可以被配置为接收指示第二泵的一个或多个操作参数的操作信号。至少一个控制器可以被配置为根据操作信号来控制第一泵和/或第二泵的操作。
[0023]该至少一个控制器可被配置为接收指示处理室的目标操作压力的压力请求信号。操作压力请求信号可由用户直接输入。替代地，操作压力请求信号可通过用户选择而产生，例如选择待执行的多个操作过程中的一个。操作压力请求信号可指示目标操作压力。目标操作压力可以是预先限定的。例如，可以为给定的操作过程预先限定目标操作压力。
[0024]所述至少一个控制器可以被配置为根据压力请求信号来控制第一泵和第二泵的操作。
[0025]泵设备可以包括至少一个输入装置，该至少一个输入装置被配置成根据用户输入来产生压力请求信号。用户输入可以识别多个操作过程中的一个。所述至少一个控制器可以被配置为根据所述多个操作过程中的所识别的一个操作过程来生成所述压力请求信号。操作过程可以是预先限定的。
[0026]泵设备可以包括用于测量第一泵的入口压力的入口压力传感器；和/或用于测量第一泵的出口压力的出口压力传感器。
[0027]所述至少一个控制器可以被配置为根据所测量的第一泵的入口压力和/或所测量的第一泵的出口压力来控制第二泵的操作。
[0028]该至少一个控制器可包括用于接收指示(工作的)处理室中的操作压力的操作压力信号的输入。至少一个控制器可以被配置为根据操作压力信号来控制第一泵和/或第二泵的操作。操作压力可例如通过与处理室相关联的真空传本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种泵设备(3)，包括：第一泵(9)；至少一个控制器(17)，用于生成：用于控制所述第一泵(9)的第一控制信号(SOUT1)；以及用于控制第二泵(27)的第二控制信号(SOUT2)；其中，所述第二泵(27)在所述泵设备(3)的外部，并且所述泵设备(3)包括用于将所述第二控制信号(SOUT2)输出到所述第二泵(27)的一个或多个泵连接端口(39)。2.根据权利要求1所述的泵设备(3)，其中，所述至少一个控制器(17)包括存储器装置(21)和至少一个电子处理器(19)，所述至少一个电子处理器(19)具有：至少一个电输入(23)，用于接收输入信号(SIN1,SIN2)；以及至少一个电输出(25)，用于将所述第一控制信号(SOUT1)输出到所述第一泵(9)和/或将所述第二控制信号(SOUT2)输出到所述第二泵(27)。3.根据权利要求1或权利要求2所述的泵设备(3)，其中，所述至少一个控制器(17)被配置成接收指示所述第二泵(27)的一个或多个操作参数的操作信号(SIN2
‑
n)。4.根据权利要求3所述的泵设备(3)，其中，所述至少一个控制器(17)被配置为根据所述操作信号(SIN2
‑
n)控制所述第一泵(9)和/或所述第二泵(27)的操作。5.根据前述权利要求中任一项所述的泵设备(3)，其中所述至少一个控制器(17)被配置成接收指示处理室(5)的目标操作压力的压力请求信号(SIN1)。6.根据权利要求5所述的泵设备(3)，包括至少一个输入装置(29)，其被配置为根据用户输入产生所述压力请求信号(SIN1)，其中所述用户输入识别多个操作过程中的一个操作过程，所述至少一个控制器(17)被配置为根据所述多个操作过程中的所识别的一个操作过程来产生所述压力请求信号(SIN1)。7.根据前述权利要求中任一项所述的泵设备(3)，包括用于测量所述第一泵(9)的入口压力或出口压力的第一压力传感器(43)。8.根据权利要求7所述的泵设备(3)，其中，所述至少一个控制器(17)被配置成根据所述第一泵(9)的所测量的入口压力或出口压力来控制所述第二泵(27)的操作。9.根据前述权利要求中任一项所述的泵设备(3)，其中，所述至少一个控制器(17)包括用于接收指示处理室(5)中的操作压力的操作压力信号的输入；所述至少一个控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：B，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：