本申请提供一种冷却设备自动关闭装置，包括：监测单元，其设于静电吸盘与安装底座之间，用于监测所述静电吸盘与所述安装底座之间的连接紧固状态，并于监测到连接紧固状态改变时生成相应的监测信号；信号处理单元，其连接所述监测单元和控制单元，用于根据所述监测单元传输的监测信号生成对应的控制信号；和所述控制单元，其连接所述冷却设备的开关阀，用于根据所述控制信号调整所述监测单元的开闭状态；本申请提供的所述冷却设备自动关闭装置，于静电吸盘与安装底座之间的连接紧固状态发生改变时，可以实现冷却装置的自动关闭，防止冷却液渗出至晶圆加工系统中。液渗出至晶圆加工系统中。液渗出至晶圆加工系统中。
【技术实现步骤摘要】
冷却设备自动关闭装置
[0001]本申请涉及自动化
，尤其涉及一种冷却设备自动关闭装置。
技术介绍
[0002]在晶圆加工过程中，反应腔室的等离子会不断轰击晶圆表面产生热量，较高的温度会损坏晶圆表面光刻胶；因此，为使晶圆温度的保持稳定，会在静电吸盘(ESC)底部接入制冷装置，即冷水机(Chiller)。于具体蚀刻过程中，晶圆通常固定在反应腔室的底部。所述反应腔室内设有静电吸盘(ESC：Elector
‑
Static
‑
Chuck)，其连接于安装底座上，以基于晶圆与静电吸盘之间的电荷库仑力，将晶圆稳固在ESC上。
[0003]对于半导体制造的晶圆加工系统，随着装置的不断使用，其静电吸盘(ESC)往往会发生损坏或松脱；当达到使用寿命或需要更换静电吸盘的部件时，需要对静电吸盘进行拆卸，而在拆卸静电吸盘时，需要同时关闭冷水机(chiller)；然而在实际操作过程中，往往会存在忘记关闭的情况，而当忘记关闭冷水机时，则会导致冷水机管道内的冷却液溅射到反应腔室内部，则对反应腔室内部环境造成污染，产生巨大损失，且需花费大量财力、物力、人力对其进行清洁，严重地影响了晶圆的生产效率和生产成本。
技术实现思路
[0004]鉴于以上所述现有技术的缺点，本申请的目的在于提供一种冷却设备自动关闭装置，用于解决于拆卸静电吸盘时，往往会存在关闭冷水机，导致冷水机管道内的冷却液溅射到反应腔室内部等问题。
[0005]为实现上述目的及其他相关目的，本申请提供一种冷却设备自动关闭装置，适配于晶圆加工系统；所述晶圆加工系统包括静电吸盘，所述静电吸盘连接于安装底座上；于所述静电吸盘与所述安装底座之间设有冷却管路，所述冷却管路连接冷却设备，且所述冷却管路于所述静电吸盘侧设有出液口；所述冷却设备自动关闭装置包括：监测单元，其设于所述静电吸盘与所述安装底座之间，用于监测所述静电吸盘与所述安装底座之间的连接紧固状态，并于监测到所述连接紧固状态改变时生成相应的监测信号；信号处理单元，其连接所述监测单元和控制单元，用于根据所述监测单元传输的监测信号生成对应的控制信号；所述控制单元，其连接所述冷却设备，用于根据所述控制信号调节所述冷却设备的开闭状态，以控制冷却液于所述冷却管路内的流动状态。
[0006]可选的，所述静电吸盘通过连接件连接所述安装底座；所述监测单元包括压力传感器，分别对应设于所述静电吸盘的各所述连接件处，以于监测到所述连接件于连接面上的压力值低于一压力阈值时，生成对应的监测信号。
[0007]可选的，所述静电吸盘通过连接件连接所述安装底座；所述监测单元设于各所述连接件处，以于监测到所述连接件承载的压力值低于一压力阈值时，生成对应的监测信号。
[0008]可选的，所述连接件包括固定螺栓，所述监测单元包括压力传感器；所述压力传感器设于各所述固定螺栓的底部。
[0009]可选的，所述连接件包括固定螺栓，所述监测单元包括接触开关，所述接触开关设于各所述固定螺栓的底部。
[0010]可选的，所述接触开关采用常开型按压开关；所述常开型按压开关的按压面设于所述固定螺栓的螺杆底部。
[0011]可选的，所述信号处理单元包括微控制器，其输入端连接各所述监测单元的输出接口，用于获取所述监测单元输出的各监测信号，以生成对应的控制信号；所述微控制器的输出端连接所述控制单元，以输出所述控制信号至所述控制单元中。
[0012]可选的，所述晶圆加工系统中还包括清洁管路；所述清洁管路连接所述冷却管路，以通过所述清洁管路对所述冷却管路中的残液进行排出；所述控制单元连接所述清洁管路上的开关单元，用于根据第二控制信号控制所述清洁管路上开关单元的工作状态；其中，所述第二控制信号为所述信号处理单元根据接收到的监测信号所生成的控制信号。
[0013]可选的，所述开关单元包括清洁管电磁阀。
[0014]可选的，所述清洁管电磁阀中包括电磁阀驱动器，用于根据所述第二控制信号的信号大小，控制所述清洁管电磁阀的开闭大小，进而调节所述冷却管路内的残余冷却液的排除效率。
[0015]可选的，所述控制单元包括设备机台。
[0016]如上所述，本申请提供的所述冷却设备自动关闭装置，设置监测单元、信号处理单元和控制单元，以利用监测单元来监测所述静电吸盘与所述安装底座之间的连接紧固状态，于监测连接紧固状态改变时生成相应的监测信号；利用信号处理单元将所述监测信号转换为对应的控制信号，以及利用所述控制单元根据所述控制信号调整所述冷却装置的开闭状态，从而可以于静电吸盘与所述安装底座之间的连接紧固状态改变时，可以实现冷却装置的自动关闭，防止冷却液渗出至晶圆加工系统。
附图说明
[0017]图1显示为本申请中所述晶圆加工系统于一实施例中的结构示意图；
[0018]图2显示为本申请提供的所述冷却设备自动关闭装置于一实施例中的结构示意图；
[0019]图3显示为本申请一具体实施方式中常开型按压开关与固定螺栓的连接示意图；
[0020]图4显示为本申请提供的所述冷却设备自动关闭装置于另一实施例中的结构示意图；
[0021]元件标号说明
[0022]110静电吸盘
[0023]120安装底座
[0024]130冷却管路
[0025]140冷却设备
[0026]150晶圆反应腔室
[0027]160清洁管路
[0028]200冷却设备自动关闭装置
[0029]210监测单元
[0030]211常开型按压开关
[0031]211A按压面
[0032]211B第一开关接头
[0033]211C第二开关接头
[0034]220信号处理单元
[0035]230控制单元
具体实施方式
[0036]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0037]需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，遂图式。
[0038]针对现有技术中存在的静电吸盘发生拆卸或松动时，易存在冷却设备忘记关闭的情况，进而导致冷却水泄漏等问题，本申请提供一种冷却设备自动关闭装置，连接所述晶圆加工系统，以发生静电吸盘拆卸或松动时，可以自动关闭冷却设备，防止冷却液渗出。
[0039]请参阅图1，示出为所述冷却设备自动关闭装置于一实施例中的结构示意图；如图1所述，所述冷却设备自动关闭装置200装配于晶圆加工系统中。
[0040]其中，所述晶圆加工系统，如图2所示，包括晶圆反应腔室150；所述晶圆反应腔室150内包括静电吸盘110、安装底座1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种冷却设备自动关闭装置，其特征在于，适配于晶圆加工系统(100)，所述晶圆加工系统(100)包括静电吸盘(110)，所述静电吸盘(110)连接于安装底座(120)上；于所述静电吸盘(110)与所述安装底座(120)之间设有冷却管路(130)，所述冷却管路(130)连接冷却设备(140)，且所述冷却管路(130)于所述静电吸盘(110)侧设有出液口；所述冷却设备自动关闭装置(200)包括：监测单元(210)，其设于所述静电吸盘(110)与所述安装底座(120)之间，用于监测所述静电吸盘(110)与所述安装底座(120)之间的连接紧固状态，并于监测到所述连接紧固状态改变时生成相应的监测信号；信号处理单元(220)，其连接所述监测单元(210)和控制单元(230)，用于根据所述监测单元(210)传输的监测信号生成对应的控制信号；所述控制单元(230)，其连接所述冷却设备(140)，用于根据所述控制信号调节所述冷却设备(140)的开闭状态，以控制冷却液于所述冷却管路(130)内的流动状态。2.根据权利要求1所述的冷却设备自动关闭装置(200)，其特征在于，所述静电吸盘(110)通过连接件连接所述安装底座(120)；所述监测单元(210)设于各所述连接件处，以于监测到所述连接件承载的压力值低于一压力阈值时，生成对应的监测信号。3.根据权利要求2所述的冷却设备自动关闭装置(200)，其特征在于，所述连接件包括固定螺栓，所述监测单元包括压力传感器；所述压力传感器设于各所述固定螺栓的底部。4.根据权利要求2所述的冷却设备自动关闭装置(200)，其特征在于，所述连接件包括固定螺栓，所述监测单元包括接触开关，所述接...
【专利技术属性】
技术研发人员：高翔，付国亮，
申请(专利权)人：杭州富芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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