本实用新型专利技术公开了一种机械泵管路油雾吸附装置，包括放置筒，所述放置筒上靠近其底部的侧面连通设置有腔体连接管，所述腔体连接管用于与外部离子溅射仪真空腔体相连，所述放置筒靠近其顶部的侧面连通设置有机械泵连接管，所述机械泵连接管用于与外部机械泵相连，所述放置筒内设置有多孔过滤筒，所述多孔过滤筒内填充有吸附剂，所述放置筒的底部设置有加热组件，所述加热组件用于对放置筒底部进行加热，便于提高油分子和吸附剂的活性。本实用新型专利技术通过上述等结构的配合，实现了能够吸附从机械泵返流过来的油雾，加热可以提高吸附剂和油分子的活性，有利于吸附过滤油雾。有利于吸附过滤油雾。有利于吸附过滤油雾。
【技术实现步骤摘要】
一种机械泵管路油雾吸附装置
[0001]本技术涉及油雾吸附
，具体为一种机械泵管路油雾吸附装置。
技术介绍
[0002]机械泵抽气系统用于在封闭空间内产生真空环境，被广泛地应用于工业领域，但是，实际应用中往往由于机械泵的油孔与泵腔相通或排气阀、轴封、泵盖平面、进气管、气镇阀等密封不严等原因导致机械泵返油，大量油雾分子会污染离子溅射仪真空腔体，从而会污染待检测、待试验的样品表面，进而容易影响检测结果，为此我们提出了一种机械泵管路油雾吸附装置。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种机械泵管路油雾吸附装置，具备能够吸附从机械泵返流过来的油雾，加热可以提高吸附剂和油分子的活性，有利于吸附过滤油雾，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种机械泵管路油雾吸附装置，包括放置筒，所述放置筒上靠近其底部的侧面连通设置有腔体连接管，所述腔体连接管用于与外部离子溅射仪真空腔体相连，所述放置筒靠近其顶部的侧面连通设置有机械泵连接管，所述机械泵连接管用于与外部机械泵相连。
[0005]所述放置筒内设置有多孔过滤筒，所述多孔过滤筒内填充有吸附剂，所述放置筒的底部设置有加热组件，所述加热组件用于对放置筒底部进行加热，便于提高油分子和吸附剂的活性。
[0006]优选的，所述放置筒内固定安装有定位环，所述多孔过滤筒位于定位环内。
[0007]优选的，所述定位环的数量为两个，且两个定位环上下设置在放置筒内。
[0008]优选的，位于上方的定位环距离放置筒的开口处具有一定的距离，便于抽出多孔过滤筒。
[0009]优选的，所述放置筒上靠近其开口处的外表面上开设有外螺纹，所述外螺纹上螺纹连接有密封盖。
[0010]优选的，所述密封盖上固定安装有提手。
[0011]优选的，所述密封盖和提手为一体成型的结构设置。
[0012]优选的，所述吸附剂为活性炭吸附颗粒。
[0013]优选的，所述加热组件包括加热底座，所述加热底座内设有加热电阻丝。
[0014]优选的，所述加热底座上设置有电源连接线。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0016]一、通过把吸附剂放置在多孔过滤筒内，吸附剂在使用一段时间后，方便抽出多孔过滤筒，对吸附剂进行更换，提高了对油雾的吸附过滤效果。
[0017]二、通过定位环的设置，使得多孔过滤筒以及其内部的吸附剂，能够同轴位于放置
筒内，避免过滤在腔体内位置出现偏移，影响过滤吸附效果。
[0018]三、通过加热底座的设置，能够对吸附剂和油分子进行加热，提高了吸附剂和油分子的活性，有利于吸附过滤油雾。
附图说明
[0019]图1为本技术的结构示意图；
[0020]图2为本技术图1的剖面结构示意图；
[0021]图3为本技术图1的爆炸式结构示意图。
[0022]图中：1、放置筒；2、腔体连接管；3、机械泵连接管；4、多孔过滤筒；5、吸附剂；6、定位环；7、密封盖；8、提手；9、加热组件；91、加热底座；92、电源连接线。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]请参阅图1至图3，本技术提供一种技术方案：一种机械泵管路油雾吸附装置，包括放置筒1，放置筒1上靠近其底部的侧面连通设置有腔体连接管2，腔体连接管2用于与外部离子溅射仪真空腔体相连，放置筒1靠近其顶部的侧面连通设置有机械泵连接管3，机械泵连接管3用于与外部机械泵相连。
[0025]放置筒1内设置有多孔过滤筒4，多孔过滤筒4内填充有吸附剂5，放置筒1的底部设置有加热组件9，加热组件9用于对放置筒1底部进行加热，便于提高油分子和吸附剂5的活性。
[0026]在使用时，将腔体连接管2与外部离子溅射仪真空腔体相连，机械泵连接管3与外部机械泵相连，当机械泵运行时，抽取真空腔体内的气体，会通过腔体连接管2进入到放置筒1内，随后通过机械泵连接管3进入到机械泵内，如有油雾返出，则会被吸附剂过滤吸附掉。
[0027]进一步的，放置筒1内固定安装有定位环6，多孔过滤筒4位于定位环6内。
[0028]进一步的，定位环6的数量为两个，且两个定位环6上下设置在放置筒1内。
[0029]通过定位环6的设置，使得多孔过滤筒4以及其内部的吸附剂5，能够同轴位于放置筒1内，避免多孔过滤筒4在放置筒1内的位置出现偏移，影响过滤吸附效果。
[0030]进一步的，位于上方的定位环6距离放置筒1的开口处具有一定的距离，便于抽出多孔过滤筒4。
[0031]进一步的，放置筒1上靠近其开口处的外表面上开设有外螺纹，外螺纹上螺纹连接有密封盖7，通过密封盖7螺纹连接在放置筒1上，便于旋出密封盖7，取出多孔过滤筒4并进行更换吸附剂5。
[0032]进一步的，密封盖7上固定安装有提手8，通过提手8的设置，方便进行转动密封盖7，便于从放置筒1上旋下密封盖7。
[0033]进一步的，密封盖7和提手8为一体成型的结构设置，通过一体成型的结构设置，增
加了相关结构的牢固性。
[0034]进一步的，吸附剂5为活性炭吸附颗粒，活性炭吸附颗粒具有一定的吸附性，且在加热下能够提高其吸附活性。
[0035]进一步的，加热组件9包括加热底座91，加热底座91内设有加热电阻丝。
[0036]进一步的，加热底座91上设置有电源连接线92，通过加热底座91的设置，能够对吸附剂5和油分子进行加热，提高了吸附剂5和油分子的活性，有利于吸附过滤油雾。
[0037]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种机械泵管路油雾吸附装置，其特征在于：包括放置筒(1)，所述放置筒(1)上靠近其底部的侧面连通设置有腔体连接管(2)，所述腔体连接管(2)用于与外部离子溅射仪真空腔体相连，所述放置筒(1)靠近其顶部的侧面连通设置有机械泵连接管(3)，所述机械泵连接管(3)用于与外部机械泵相连；所述放置筒(1)内设置有多孔过滤筒(4)，所述多孔过滤筒(4)内填充有吸附剂(5)，所述放置筒(1)的底部设置有加热组件(9)，所述加热组件(9)用于对放置筒(1)的底部进行加热，便于提高油分子和吸附剂(5)的活性。2.根据权利要求1所述的一种机械泵管路油雾吸附装置，其特征在于：所述放置筒(1)内固定安装有定位环(6)，所述多孔过滤筒(4)位于定位环(6)内。3.根据权利要求2所述的一种机械泵管路油雾吸附装置，其特征在于：所述定位环(6)的数量为两个，且两个定位环(6)上下设置在放置筒(1)内。4.根据权利要求3所述的一种机械泵管路油雾吸附装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：孟晓敏，林阿玉，冯霜，
申请(专利权)人：重庆诺奖二维材料研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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