准分子灯制造技术

本发明专利技术提供一种在放电空间内发生准分子放电而放射真空紫外光的准分子灯，由熔融石英玻璃构成放电容器的一部分。该准分子灯（１）具有内侧管（４）与外侧管（３）配置在同轴方向的双重管构造的石英玻璃构成的放电容器（２），在介设有形成该放电容器（２）的石英玻璃的状态下设置一对电极（５）、（６），在放电空间（Ｓ）内封入有氙气体，在放电容器（２）的放电空间（Ｓ）内发生准分子放电，其特征在于，内侧管（４）由熔融石英玻璃形成，外侧管（３）由合成石英玻璃形成。

【技术实现步骤摘要】
准分子灯技术区域本专利技术涉及一种准分子灯，具有由石英玻璃构成的放电容器，在 介设有形成该放电容器的石英玻璃的状态下设置一对电极，在上述放 电容器的内部发生准分子放电。
技术介绍
近年来，开发了通过将波长为200nm以下的真空紫外光照射在由 金属、玻璃及其它材料构成的被处理体上，通过该真空紫外光及由此 生成的臭氧的作用来处理被处理体的技术，例如除去附着于被处理体 表面的有机污染物质的洗净处理技术或在被处理体的表面上形成氧化 膜的氧化膜形成处理技术，并正在进行实用化。作为照射真空紫外光的装置，使用例如通过准分子放电形成准分 子分子、将利用从该准分子分子所放射的例如波长为170nm左右的光 的准分子灯作为光源的装置。在这种准分子灯中，为了更有效率地放 射更高强度的紫外线，实施了很多尝试。图1是表示准分子灯的构成的说明用剖面图，(a)是表示沿着放 电容器2的长边方向的剖面的横向剖面图，(b)是(a)的A-A线剖面图。根据日本特开2007-335350公报的记载，准分子灯1具备由透射 紫外线的合成石英玻璃构成的放电容器2，在该放电容器2的内侧与外 侧分别设有电极5、 6，在暴露于放电容器2的放电空间S的表面的一 部分上形成紫外线反射膜8。作为紫外线反射膜8，示例了仅由二氧化 硅粒子构成的膜，及仅由含有二氧化硅粒子的紫外线散射粒子构成的膜。在该准分子灯l中，在放电容器2中，通过未形成有紫外线反射膜8而形成将在放电空间S内产生的紫外线的射出的光出射部7。根据这种构成的准分子灯1，在放电容器2中的、暴露于放电空 间S的表面上设有紫外线反射膜8，从而在设有紫外线反射膜8的区域 中，发生在放电空间S内的紫外线被紫外线反射膜8反射，因而会减 小其透射合成石英玻璃导致的衰减。并且，紫外线被紫外线反射膜8 反射，仅在构成光出射部7的区域透射石英玻璃而被放射至外部，因 而可以有效地将放电空间S内产生的紫外线照射在对象物上。而且， 紫外线反射膜8通过构成为以二氧化硅粒子为主体，对于合成石英玻 璃构成的放电容器2可得到高亲和性。专利文献l:日本特开2007-335350公报可是，近年来，随着作为照射对象的液晶面板显示元件的基板逐 渐大面积化，准分子灯1也逐渐加长，例如需要全长超过800mm的准 分子灯1。然而，这种加长的准分子灯l会在点灯中发生放电容器2破 碎的问题。
技术实现思路
本专利技术为了解决上述问题而成，其目的是在于提供一种准分子灯， 在放电空间内发生准分子放电，放射真空紫外光，可消除点灯中放电 容器破碎的问题。本专利技术的第l项专利技术，是一种准分子灯，具有内侧管与外侧管配 置在同轴方向的双重管构造的石英玻璃构成的放电容器，在介设有形 成该放电容器的石英玻璃的状态下设置一对电极，在放电空间内封入 有氙气体，在上述放电容器的放电空间内发生准分子放电，其特征在于上述内侧管由熔融石英玻璃形成，上述外侧管由合成石英玻璃形 成。并且，本专利技术的第2项专利技术是在本专利技术的第1项专利技术中，上述放 电容器至少在暴露于内侧管的外周面的放电空间的表面的整个区域 上，形成有由包含二氧化硅粒子的紫外线散射粒子构成的紫外线反射 膜。并且，本专利技术的第3项专利技术是在本专利技术的第2项专利技术中，上述内 侧管由电性熔融石英玻璃形成，上述二氧化硅粒子由合成石英玻璃形 成。并且，本专利技术的第4项专利技术是在本专利技术的第2或第3项专利技术中， 形成于上述内侧管的外周面的紫外线反射膜的膜厚是lO^m以上。并且，本专利技术的第5项专利技术是在本专利技术的第2至第4项发朋中的 任一项中，上述紫外线散射粒子包含氧化铝粒子。根据本专利技术的第l项专利技术的准分子灯，容易变为高温的内侧管由 熔融石英玻璃构成，温度维持在比内侧管低的外侧管由合成石英玻璃 构成，从而外侧管与内侧管之间的热膨胀导致的收缩差变小，可解决 在准分子灯点灯中放电容器破碎的问题。并且，根据本专利技术的第2项专利技术的准分子灯，即使由熔融石英玻 璃构成内侧管，通过将紫外线反射膜形成在暴露于内侧管外周面的放 电空间的表面的整个区域，也可防止真空紫外光照射到内侧管，可抑 制放电容器的劣化。因此，即使是在放电空间内发生准分子放电而放 射真空紫外光的准分子灯，也可利用熔融石英玻璃形成构成放电容器 的内侧管。并且，根据本专利技术的第3项专利技术的准分子灯，在由电性熔融石英 玻璃形成的内侧管外周面，形成有包含由合成石英玻璃构成的二氧化 硅粒子的紫外线散射粒子构成的紫外线反射膜，从而包含缺氧型缺陷(Si-Si)的内侧管与包含0H基的紫外线反射膜进行反应，以Si-H的 方式化学性地结合，从而提高内侧管与紫外线反射膜的附着边界的紧 密接触性，可有效地防止紫外线反射膜剥落。并且，根据本专利技术的第4项专利技术的准分子灯，通过在内侧管外周 面形成膜厚为i0/,m以上的紫外线反射膜，紫外线反射膜几乎完全遮 挡真空紫外光，真空紫外光不会照射到内侧管。因此，可防止紫外线 的能量蓄积在内侧管，可抑制紫外线导致的失真引起的劣化。并且，根据本专利技术的第5项专利技术的准分子灯，紫外线反射膜包含 氧化铝粒子，从而可防止相邻的二氧化硅粒子与氧化铝粒子的粒子之 间结合，能够维持晶界，可以抑制紫外线反射膜的反射率的降低。附图说明图1是表示准分子灯的构成的说明用剖面图。 图2是表示准分子灯的构成的说明用剖面图。 图3是表示紫外线反射膜的膜厚与其光的透射率的关系的图表。具体实施例方式图1是表示准分子灯1的构成的说明用剖面图，(a)是表示沿着 放电容器2的长边方向的剖面的横向剖面图，(b)是(a)的A-A线剖面图。准分子灯1具有由圆筒状外侧管3与圆筒状内侧管4构成的放电 容器2。放电容器2例如管轴方向的长度为800 1600mm，外侧管3 的直径为25 40mm，内侧管4的直径为15 30mm。6内侧管4的直径构成为比外侧管3的直径小，在外侧管3的内部 配置有内侧管4。沿着外侧管3的管轴配置有内侧管4，因而放电容器 2是外侧管3与内侧管4在同轴方向配置的双重管构造。通过焊接外侧 管3的端部和内侧管4的端部，形成侧壁部9，外侧管3的内周面3a 与内侧管4的外周面4b之间形成气密空间，在放电容器2的内部形成 气密地密闭的环状放电空间S。放电容器2由良好地透射真空紫外光的石英玻璃构成，外侧管3 及侧壁部9由金属不纯物的浓度低的合成石英玻璃构成，内侧管4由 金属不纯物的浓度比合成石英玻璃高的熔融石英玻璃构成。在外侧管3，与外周面3b紧密接触地设有如金属网等导电性材料 构成的网状外侧电极5。外侧电极5是在将金属线无缝地编织成圆筒状 的部件中插入放电容器2而成的，呈网状形状，可从网眼之间放射光。在内侧管4，与内周面4a紧密接触地设有如铝构成的管状的内侧 电极6。内侧电极6沿着内侧管4的管轴方向形成，在距离管轴方向两 端约20mm的范围形成有未设置内侧电极6的空隙。并且，内侧电极6 也可以是在剖面具有局部切除的大致C字形状(槽状)。外侧电极5与内侧电极6隔着构成放电容器2的石英玻璃相对地 配置。通过如此地构成，构成放电容器2的石英玻璃也可发挥作为介 电体的功能。并且，在放电容器2的放电空间S，作为放电用气体，封入有氙 气体。在此，氙气体的封入量为在常温下压力达到例如10 60kPa (100-600mbar)的范围内。在外侧电极5与内侧电极6之间提供高频本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种准分子灯，具有内侧管与外侧管配置在同轴方向的双重管构造的石英玻璃构成的放电容器，在介设有形成该放电容器的石英玻璃的状态下设置一对电极，在放电空间内封入有氙气体，在上述放电容器的放电空间内发生准分子放电，其特征在于：　上述内侧管由熔 融石英玻璃形成，上述外侧管由合成石英玻璃形成。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：藤泽繁树，森本幸裕，菱沼宣是，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]