一种拉晶系统和硅氧化物收集方法技术方案

本公开涉及一种拉晶系统和硅氧化物收集方法，该拉晶系统包括拉晶炉、硅氧化物收集单元以及气体回收单元，硅氧化物收集单元的入口与拉晶炉的内部连通，硅氧化物收集单元的出口与气体回收单元的入口连通，硅氧化物收集单元能够对来自拉晶炉的气体中的硅氧化物进行收集。气体回收单元进行工作时，气体回收单元能够将拉晶炉内的气体抽出，当气体经过硅氧化物收集单元时，且该硅氧化物收集单元能够对从拉晶炉内排出的气体中的硅氧化物进行收集，从而实现对硅氧化物的有效回收，避免硅氧化物的浪费。费。费。

【技术实现步骤摘要】
一种拉晶系统和硅氧化物收集方法


[0001]本公开涉及拉晶
，具体地，涉及一种拉晶系统和硅氧化物收集方法。

技术介绍

[0002]相关技术中，拉晶工艺一般采用氩气气氛减压拉晶，利用通入惰性气体氩气，结合真空泵的抽力，形成一个减压气氛的氩气流动，在晶棒拉制过程中，一般控制炉压在10
‑
20Torr之间，在晶棒生长过程中，坩埚内的熔硅会和石英坩埚反应生成SiOx(硅氧化物，0＜x＜2，)，SiOx通过氩气气氛以及真空泵的吸力作用，顺着排气管道排出，没有进行有效地收集利用，造成资源的浪费并污染环境。

技术实现思路

[0003]本公开的目的是提供一种拉晶系统和硅氧化物收集方法，该拉晶系统能够解决相关技术中存在的技术问题。
[0004]为了实现上述目的，本公开提供一种拉晶系统，所述拉晶系统包括拉晶炉、硅氧化物收集单元以及气体回收单元，所述硅氧化物收集单元的入口与所述拉晶炉连通，所述硅氧化物收集单元的出口与所述气体回收单元的入口连通，所述硅氧化物收集单元能够对来自所述拉晶炉的气体中的硅氧化物进行收集。
[0005]可选地，所述拉晶系统还包括过滤单元，所述过滤单元的入口与所述硅氧化物收集单元的出口连通，所述过滤单元的出口与所述气体回收单元的入口连通，且所述过滤单元用于对硅氧化物收集单元排出的硅氧化物粉末进行过滤。
[0006]可选地，所述硅氧化物收集单元包括底座、控温部以及收集壳体，所述收集壳体设置于所述底座，所述控温部用于对所述收集壳体内的温度进行控制，
[0007]所述收集壳体的入口与所述拉晶炉连通，所述收集壳体的出口与所述气体回收单元的入口连通。
[0008]可选地，所述控温部包括控制器、加热件以及测温元件，所述加热件设置于所述底座以用于对所述收集壳体进行加热，所述测温元件设置于所述收集壳体内，所述加热件和所述测温元件均与所述控制器电连接。
[0009]可选地，所述底座包括底板和侧板，所述侧板与所述底板围设出具有开放端的安装腔体，所述收集壳体设置于所述安装腔体内，所述加热件设置于所述底板和/或侧板。
[0010]可选地，所述底板和/或所述侧板的内部设置有夹层腔，所述加热件设置于所述夹层腔内；且所述底板和/或所述侧板的内表面和/或外表面设置有保温件。
[0011]可选地，所述加热件包括加热丝、石墨/碳碳加热件或电磁感应加热件。
[0012]可选地，所述控制器用于控制所述加热件将所述收集壳体内的温度加热至300℃
‑
900℃。
[0013]可选地，所述硅氧化物收集单元还包括第一进气管、第二进气管以及出气管，所述收集壳体设置有第一壳体入口、第二壳体入口以及壳体出口；
[0014]所述拉晶炉构造为单晶炉，所述单晶炉设置有第一炉体出口和第二炉体出口；
[0015]所述第一进气管的一端与所述第一炉体出口连通，另一端与所述第一壳体入口连通；所述第二进气管的一端与所述第二炉体出口连通，另一端与所述第二壳体入口连通；所述出气管的一端与所述壳体出口连通，另一端与所述气体回收单元的入口连通。
[0016]可选地，所述气体回收单元包括分子泵、干泵、第一管道以及第二管道，所述分子泵的入口与所述硅氧化物收集单元的出口通过所述第一管道连通，所述分子泵的出口与所述干泵的入口通过所述第二管道连通，所述干泵的出口用于与外界连通；或者，
[0017]所述气体回收单元包括主管道、多个分支管道以及多个干泵，多个所述分支管道和多个所述干泵一一对应设置，所述主管道用于与所述硅氧化物收集单元的出口连通，所述分支管道的一端与所述主管道连通，另一端与对应的所述干泵的入口连通，所述干泵的出口用于与外界连通。
[0018]本公开另外还提供一种硅氧化物收集方法，所述硅氧化物收集方法采用所述的拉晶系统，所述收集方法包括：
[0019]向所述拉晶炉的坩埚内装入硅料；
[0020]开启所述拉晶炉的加热器以使硅料熔化，启动所述硅氧化物收集单元的控温部和所述气体回收单元；
[0021]收集硅料和坩埚反应生成的硅氧化物；
[0022]在晶体生长结束后，获取坩埚中剩余硅料的重量，向坩埚中加入与剩余硅料相应重量的石英；
[0023]待所述拉晶炉内不再产生硅氧化物后，关闭所述硅氧化物收集单元的控温部和所述气体回收单元。
[0024]在上述技术方案中，当气体回收单元进行工作时，气体回收单元能够将拉晶炉内的气体抽出，当气体经过硅氧化物收集单元时，且该硅氧化物收集单元能够对从拉晶炉内排出的气体中的硅氧化物进行收集，从而实现对硅氧化物的有效回收，避免硅氧化物的浪费。
[0025]本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
[0026]附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：
[0027]图1是本公开一种实施方式的拉晶系统的结构示意图，其中箭头表示气体流向；
[0028]图2是本公开另一种实施方式的拉晶系统的结构示意图，其中箭头表示气体流向；
[0029]图3是本公开一种实施方式的硅氧化物收集单元的结构示意图，其中箭头表示气体流向。
[0030]附图标记说明
[0031]1ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
拉晶炉
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硅氧化物收集单元
[0032]21
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底座
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211
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底板
[0033]212
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侧板
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210
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安装腔体
[0034]22
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控温部
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
221
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加热器
[0035]23
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
收集壳体
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
24
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保温层
[0036]201
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第一进气管
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202
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第二进气管
[0037]203
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出气管
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过滤单元
[0038]4ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
气体回收单元41
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分子泵
[0039]42
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干泵
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43
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第一管道
[0040]44
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第二管道
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45
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种拉晶系统，其特征在于，所述拉晶系统包括拉晶炉、硅氧化物收集单元以及气体回收单元，所述硅氧化物收集单元的入口与所述拉晶炉连通，所述硅氧化物收集单元的出口与所述气体回收单元的入口连通，所述硅氧化物收集单元能够对来自所述拉晶炉的气体中的硅氧化物进行收集。2.根据权利要求1所述的拉晶系统，其特征在于，所述拉晶系统还包括过滤单元，所述过滤单元的入口与所述硅氧化物收集单元的出口连通，所述过滤单元的出口与所述气体回收单元的入口连通，且所述过滤单元用于对硅氧化物收集单元排出的硅氧化物粉末进行过滤。3.根据权利要求1所述的拉晶系统，其特征在于，所述硅氧化物收集单元包括底座、控温部以及收集壳体，所述收集壳体设置于所述底座，所述控温部用于对所述收集壳体内的温度进行控制，所述收集壳体的入口与所述拉晶炉连通，所述收集壳体的出口与所述气体回收单元的入口连通。4.根据权利要求3所述的拉晶系统，其特征在于，所述控温部包括控制器、加热件以及测温元件，所述加热件设置于所述底座以用于对所述收集壳体进行加热，所述测温元件设置于所述收集壳体内，所述加热件和所述测温元件均与所述控制器电连接。5.根据权利要求4所述的拉晶系统，其特征在于，所述底座包括相互连接的底板和侧板，所述侧板与所述底板围设出具有开放端的安装腔体，所述收集壳体设置于所述安装腔体内，所述加热件设置于所述底板和/或侧板。6.根据权利要求5所述的拉晶系统，其特征在于，所述底板和/或所述侧板的内部设置有夹层腔，所述加热件设置于所述夹层腔内；且所述底板和/或所述侧板的内表面和/或外表面设置有保温件。7.根据权利要求5所述的拉晶系统，其特征在于，所述加热件包括加热丝、石墨/碳碳加热件或电磁感应加热件。8.根据权利要求4所述的拉晶系统，其特征在于，所述控制器用于控制所述加热件将所述收集...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩昀钊，谢志宴，韩伟，杜超，杜倩，邓浩，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：