本实用新型专利技术公开了一种用于MPCVD设备的气体混合装置，属于气体混合技术领域，包括混合箱、气体定量控制装置、出气管、出气控制阀和支撑柱、混合箱顶部开设有固定通孔，固定通孔两侧设置有导向通孔，气体定量控制装置底部安装在固定通孔上，气体定量控制装置包括安装板、固定架、气体流量传感器、进气管、显示屏、可伸缩式导向柱、密封垫、通气架和进气控制阀，出气管穿设安装在混合箱一侧，出气管一端位于混合箱内，出气控制阀安装在出气管的另一端，支撑柱顶部固定安装在混合箱底部，本实用新型专利技术能够根据混合要求对不同气体进行定量控制，同时保证了混合箱内部的严密性，使用方便，实用性强。实用性强。实用性强。
【技术实现步骤摘要】
一种用于MPCVD设备的气体混合装置
[0001]本技术涉及一种用于MPCVD设备的气体混合装置，属于气体混合
技术介绍
[0002]金刚石也就是我们常说的钻石，它是一种由纯碳组成的矿物，也是自然界中最坚硬的物质，人造金刚石亦被广泛应用于各种工业，现在的生产工艺一般需要使用MPCVD设备，MPCVD设备能沉积高纯度的金刚石膜，其沉积速率也可以通过加大微波功率来提高，因此需要使用到气体混合装置，一般的气体混合装置不能根据混合要求，对不同的气体进行定量处理，使得气体混合效果不好，气体进入混合箱时，使得混合箱内部不能保持严密，会造成其余气体挥发，影响最终的混合结果，为此，我们提出了一种新的气体混合装置。
技术实现思路
[0003]本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于MPCVD设备的气体混合装置，能够根据混合要求对不同气体进行定量控制，同时保证了混合箱内部的严密性。
[0004]本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种用于MPCVD设备的气体混合装置，包括混合箱、气体定量控制装置、出气管、出气控制阀和支撑柱、所述混合箱顶部开设有固定通孔，所述固定通孔两侧设置有导向通孔，所述气体定量控制装置底部安装在所述固定通孔上，所述气体定量控制装置两侧安装在所述导向通孔内，所述出气管穿设安装在所述混合箱一侧，所述出气管一端位于所述混合箱内，所述出气控制阀安装在所述出气管的另一端，所述支撑柱顶部固定安装在所述混合箱底部。
[0005]优选的，为了对MPCVD设备在气体混合时，能够对气体进行定量，所述气体定量控制装置包括安装板、固定架、气体流量传感器、进气管、显示屏、可伸缩式导向柱、密封垫、通气架和进气控制阀，所述密封垫底部安装在所述固定通孔顶部，所述安装板底部固定在所述密封垫顶部，所述固定架穿设安装在所述安装板和所述密封垫上，所述气体流量传感器安装在所述固定架内部一侧，所述进气管一端穿设安装在所述固定架顶部，所述进气控制阀安装在所述进气管的另一端，所述显示屏安装在所述固定架侧壁上，所述可伸缩式导向柱一端安装在所述安装板侧壁上，所述通气架顶部固定在所述固定架底部。
[0006]优选的，为了使得混合箱内部的气体混合均匀，所述混合箱内部上壁安装有气体完全混合组件，所述混合箱前侧穿设安装有温度控制器，所述气体完全混合组件包括电机、转轴、顶板、加热丝和底板，所述电机安装在所述混合箱内部上壁，所述转轴一端转动安装在所述电机的输出端，所述顶板侧壁固定在所述转轴一侧，所述加热丝一端安装在所述顶板底部，所述底板顶部固定在所述加热丝的另一端，所述底板侧壁固定在所述转轴一侧。
[0007]本技术的有益效果是：本技术通过气体定量控制装置，能够对MPCVD设备在进行气体混合时，对不同的气体分别根据混合要求，进行定量处理，使得气体混合效果更好，气体定量控制装置与混合箱固定紧密，保持混合箱内部的严密性，避免气体挥发对混合结果造成不良影响。
附图说明
[0008]图1为本技术的整体结构示意图。
[0009]图2为本技术的部分结构剖视示意图。
[0010]图3为本技术的气体定量控制装置结构剖视示意图。
[0011]图4为本技术的气体完全混合组件结构示意图。
[0012]图中：1、混合箱；2、气体定量控制装置；201、安装板；202、固定架；203、气体流量传感器；204、进气管；205、显示屏；206、可伸缩式导向柱；207、密封垫；208、通气架；209、进气控制阀；3、出气管；4、出气控制阀；5、支撑柱；6、温度控制器；7、气体完全混合组件；701、电机；702、转轴；703、顶板；704、加热丝；705、底板；8、固定通孔；9、导向通孔。
具体实施方式
[0013]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0014]请参阅图1
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4所示，一种用于MPCVD设备的气体混合装置，包括混合箱1、气体定量控制装置2、出气管3、出气控制阀4和支撑柱5、混合箱1顶部开设有固定通孔8，固定通孔8两侧设置有导向通孔9，气体定量控制装置2底部安装在固定通孔8上，气体定量控制装置2两侧安装在导向通孔9内，出气管3穿设安装在混合箱1一侧，出气管3一端位于混合箱1内，出气控制阀4安装在出气管3的另一端，支撑柱5顶部固定安装在混合箱1底部，对混合箱1具有支撑作用。
[0015]本技术实际使用时，将气体定量控制装置2安装在固定通孔8和导向通孔9上，使得不同气体从气体定量混合装置进入到混合箱1，气体完全进入后，通过温度控制器6能够根据不同的混合气体，岁混合箱1内部的温度进行调节，之后利用气体完全混合组件7对混合箱1内部的气体进行搅拌混合，使得气体能够完全混合，且大大的缩短了混合时间，混合结束需要将气体取出时，打开出气控制阀4，气体从出气管3流向出气控制阀4。
[0016]作为本技术的一种技术优化方案，如图3所示，气体定量控制装置2包括安装板201、固定架202、气体流量传感器203、进气管204、显示屏205、可伸缩式导向柱206、密封垫207、通气架208和进气控制阀209，密封垫207底部安装在固定通孔8顶部，安装板201底部固定在密封垫207顶部，用于安装固定架202，固定架202穿设安装在安装板201和密封垫207上，气体流量传感器203安装在固定架202内部一侧，进气管204一端穿设安装在固定架202顶部，进气控制阀209安装在进气管204的另一端，显示屏205安装在固定架202侧壁上，可伸缩式导向柱206一端安装在安装板201侧壁上，通气架208顶部固定在固定架202底部。
[0017]本技术在使用时，将密封垫207底部放置在固定通孔8上，可伸缩式导向柱206拉伸移动到导向通孔9内，能够将气体定量控制装置2紧紧地固定在固定通孔8上，保证了混合箱1内部的严密性，避免气体散发，气体通过进气控制阀209、进气管204、固定架202和通气架208能够进入到混合箱1内，固定架202内部的气体流量传感器203能够对进入混合箱1内部的气体进行测量，气体流量传感器203和显示屏205电性连接，能够将电信号传输到显示屏205上，方便操作者观看，当通过气体的量达到设定值时，进气控制阀209关闭，完成定
量进气的效果，通气架208底部直径大于顶部直径，使得气体流通的更快。
[0018]作为本技术的一种技术优化方案，如图4所示，混合箱1内部上壁安装有气体完全混合组件7，混合箱1前侧穿设安装有温度控制器6，气体完全混合组件7包括电机701、转轴702、顶板703、加热丝704和底板705，电机701安装在混合箱1内部上壁，转轴702一端转动安装在电机7本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于MPCVD设备的气体混合装置，其特征在于：包括混合箱(1)、气体定量控制装置(2)、出气管(3)、出气控制阀(4)和支撑柱(5)、所述混合箱(1)顶部开设有固定通孔(8)，所述固定通孔(8)两侧设置有导向通孔(9)，所述气体定量控制装置(2)底部安装在所述固定通孔(8)上，所述气体定量控制装置(2)两侧安装在所述导向通孔(9)内，所述出气管(3)穿设安装在所述混合箱(1)一侧，所述出气管(3)一端位于所述混合箱(1)内，所述出气控制阀(4)安装在所述出气管(3)的另一端，所述支撑柱(5)顶部固定安装在所述混合箱(1)底部。2.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD设备的气体混合装置，其特征在于：所述气体定量控制装置(2)包括安装板(201)、固定架(202)、气体流量传感器(203)、进气管(204)、显示屏(205)、可伸缩式导向柱(206)、密封垫(207)、通气架(208)和进气控制阀(209)，所述密封垫(207)底部安装在所述固定通孔(8)顶部。3.根据权利要求2所述的一种用于MPCVD设备的气体混合装置，其特征在于：所述安装板(201)底部固定在所述密封垫(207)顶部，所述固定架(202)穿设安装在所述安装板(201)和所述密封垫(207)上，所述气体流量传感器(203)安装在所述固定架(202)内部一侧。4.根据权利要求3所述的一种用于M...
【专利技术属性】
技术研发人员：王凯，秦静，
申请(专利权)人：美若科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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