信息处理装置、程序和恢复辅助方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供辅助热处理装置的恢复的信息处理装置、程序和恢复辅助方法。利用具有运转状况数据收集部、运转状况数据保存部和运转状况数据提供部的信息处理装置来解决上述技术问题，上述运转状况数据收集部构成为能够收集设置于制造工厂的多个热处理装置的运转状况数据，上述运转状况数据保存部构成为能够按照每个热处理装置保存运转状况数据，上述运转状况数据提供部构成为能够在多个热处理装置的运转强制停止了的情况下提供保存在运转状况数据保存部中的每个热处理装置的运转状况数据的一览信息作为辅助多个热处理装置的恢复的信息。的信息。的信息。

【技术实现步骤摘要】
信息处理装置、程序和恢复辅助方法


[0001]本专利技术涉及信息处理装置、程序和恢复辅助方法。

技术介绍

[0002]以往，已知有例如能够根据业务数据的产生而每天将备份数据更新为最新状态，并且在因操作失误等导致数据消失或发生灾害时等能够迅速恢复的远程备份系统(例如，参照专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2008
‑
204036号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]本专利技术提供辅助热处理装置的恢复的技术。
[0008]用于解决技术问题的技术方案
[0009]本专利技术的一方式为一种信息处理装置，其包括：运转状况数据收集部，其构成为能够收集设置于制造工厂的多个热处理装置的运转状况数据；运转状况数据保存部，其构成为能够按照每个所述热处理装置保存上述运转状况数据；和运转状况数据提供部，其构成为能够在上述多个热处理装置的运转强制停止了的情况下，提供保存在上述运转状况数据保存部中的每个上述热处理装置的上述运转状况数据的一览信息作为辅助上述多个热处理装置的恢复的信息。
[0010]专利技术效果
[0011]依照本专利技术，能够提供辅助热处理装置的恢复的技术。
附图说明
[0012]图1是本实施方式涉及的信息处理系统的一例的构成图。
[0013]图2是计算机的一例的硬件构成图。
[0014]图3是本实施方式涉及的信息处理装置的一例的功能框图。
[0015]图4是本实施方式涉及的信息处理装置的处理的一例的流程图。
[0016]图5是本实施方式涉及的运转状况数据的一例的构成图。
[0017]图6是本实施方式涉及的信息处理装置的处理的一例的流程图。
[0018]图7是本实施方式涉及的信息处理装置的处理的一例的流程图。
[0019]附图标记说明
[0020]1信息处理系统
[0021]10热处理装置
[0022]12装置控制器
[0023]14信息处理装置
[0024]16信息处理终端
[0025]18、20网络
[0026]52运转状况数据收集部
[0027]54运转状况数据保存部
[0028]56运转状况数据提供部。
具体实施方式
[0029]以下，参照附图，对用于实施本专利技术的方式进行说明。
[0030]＜系统构成＞
[0031]图1是本实施方式涉及的信息处理系统的一例的构成图。图1所示的信息处理系统1具有设置于制造工厂2的热处理装置10和装置控制器12。此外，信息处理系统1具有信息处理装置14，其设置在即使在制造工厂2发生了热处理装置10强制停止那样的灾害(例如地震、停电等)的情况下也能够继续运转的环境。能够设置信息处理装置14的环境例如为距制造工厂2足够距离的远距离地点等。
[0032]此外，信息处理系统1具有信息处理终端16，其供使设置于制造工厂2的热处理装置10恢复的操作者、或者向操作者发出指示使热处理装置10恢复的管理者等操作。
[0033]热处理装置10、装置控制器12、信息处理装置14和信息处理终端16经由互联网和LAN(Local Area Network，局域网)等网络18及20可通信地连接。此外，即使在制造工厂2发生灾害而网络18无法使用的情况下，信息处理装置14和信息处理终端16也能够经由网络20进行通信。
[0034]热处理装置10为半导体制造装置和成膜装置等，从装置控制器12接受遵循方案的控制命令，并执行方案的处理。方案的处理进度以被称为步骤的控制单位来进行管理。方案的处理进度例如用步骤序号和步骤名等表示。
[0035]此外，热处理装置10可以如图1所示搭载有装置控制器12，只要可通信地连接，也可以不一定搭载有装置控制器12。装置控制器12是具有控制热处理装置10的计算机结构的控制器。装置控制器12按照方案输出控制热处理装置10的控制部件的控制命令。
[0036]另外，装置控制器12具有从操作者接受对热处理装置10的指示，并且向操作者提供与热处理装置10有关的信息的人机接口(MMI)的功能。
[0037]在没有发生灾害的平常时，装置控制器12定期(例如每10秒)向信息处理装置14发送表示热处理装置10的运转状况的数据(运转状况数据)。运转状况数据是包含热处理装置10执行中的方案的识别信息、表示执行中的方案的处理进度的步骤的识别信息和步骤的执行状态信息等的信息。
[0038]在因发生灾害而造成停电时，热处理装置10失去电源而执行中的方案的处理中断。此外，装置控制器12失去电源而不再能向信息处理装置14发送热处理装置10的运转状况数据。
[0039]信息处理装置14在平常时定期从制造工厂2的装置控制器12收集热处理装置10的运转状况数据并保存。另外，信息处理装置14保存的热处理装置10的运转状况数据是从装置控制器12接收到的最近的热处理装置10各自的运转状况数据。
[0040]因而，即使制造工厂2因发生灾害而停电，热处理装置10的运转强制停止了，在信息处理装置14中也保存有从装置控制器12接收到的最近的热处理装置10的运转状况数据。
[0041]信息处理装置14能够向操作者或管理者提供灾害发生前从装置控制器12接收到的最近的热处理装置10的运转状况数据的一览信息，作为辅助设置于制造工厂2的多个热处理装置10的恢复的信息。关于提供辅助设置于制造工厂2的多个热处理装置10的恢复的信息，既可以通过在信息处理装置14的显示器等显示来进行，也可以通过在信息处理终端16的显示器等显示来进行。
[0042]像这样，通过参照灾害发生前信息处理装置14从装置控制器12接收到的最近的热处理装置10的运转状况数据的一览信息，操作者或管理者能够容易地确认制造工厂2的多个热处理装置10在灾害发生时正在执行的方案的处理。此外，通过确认制造工厂2的多个热处理装置10在灾害发生时正在执行的方案的处理，操作者或管理者能够容易地对因发生灾害而运转强制停止了的多个热处理装置10的恢复的优先级做出判断。
[0043]另外，图1的信息处理系统1为一例，根据用途、目的当然存在多种多样的系统构成例。例如信息处理系统1中，各个热处理装置10的装置控制器12可以采用合并到多个热处理装置10用的装置控制器的构成或进一步分割的构成等各种各样的构成。
[0044]＜硬件构成＞
[0045]图1所示的信息处理系统1的装置控制器12、信息处理装置14和信息处理终端16例如通过图2所示那样的硬件结构的计算机来实现。图2是计算机的一例的硬件构成图。
[0046]图2的计算机500包括输入装置501、输出装置502、外部I/F(接口)503、RAM(Random Access Memory，随机存取存储器)504、ROM(Read Only Memor本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种信息处理装置，其特征在于，包括：运转状况数据收集部，其构成为能够收集设置于制造工厂的多个热处理装置的运转状况数据；运转状况数据保存部，其构成为能够按照每个所述热处理装置保存所述运转状况数据；和运转状况数据提供部，其构成为能够在所述多个热处理装置的运转强制停止了的情况下，提供按照每个所述热处理装置保存在所述运转状况数据保存部中的所述运转状况数据的一览信息作为辅助所述多个热处理装置的恢复的信息。2.如权利要求1所述的信息处理装置，其特征在于：所述运转状况数据收集部构成为能够从所述多个热处理装置定期收集操作者判断所述多个热处理装置的恢复的优先级所需的必要信息。3.如权利要求1或2所述的信息处理装置，其特征在于：所述运转状况数据中包含所述热处理装置执行中的方案的识别信息、表示所述方案的处理进度的步骤的识别信息和所述步骤的执行状态信息。4.如权利要求1至3的任一项所述的信息处理装置，其特征在于：所述运转状况数据提供部构成为，能够向操作者提供在所述多个热处理装置的运转强制停止前最近保存在所述运转状况数据保存部中的所述运转状况数据的一览信息。5.如权利要求1至4的任一项所述的信息处理装置，其特征在于：所述运转状况数据提供部构成为，能够基于保存在所述运转状况数据保存部中的每个所述热处理装置的所述运转状况数据，提供表示所述多个热处理装置的恢复的优先级的信息...

【专利技术属性】
技术研发人员：青井良太，榎美贵，冈田康彦，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：