一种硅片缺陷视觉检测设备制造技术

技术编号:38822063 阅读:12 留言:0更新日期:2023-09-15 20:01
本发明专利技术公开了一种硅片缺陷视觉检测设备,涉及硅片检测技术领域,该硅片缺陷视觉检测设备,包括检测箱和硅片本体,所述检测箱的下端固定连接有支撑腿,检测箱的两侧分别开设有通槽,检测箱的两侧分别固定连接有两个支撑板,支撑板相对的一侧均转动连接有传动轴,传动轴上传动套接有传输带,传输带贯穿通槽,支撑板上固定连接有电机,电机的输出端与其中一个传动轴固定连接。该硅片缺陷视觉检测设备,使得转动板能够带动夹爪以及硅片本体产生翻转,因此使得检测装置能够对硅片本体的侧面进行检测,因此检测其侧面是否存在崩裂或者缺口现象,进而提高检测数据的准确性,避免传统的平面检测造成的侧面检测不到的现象。面检测造成的侧面检测不到的现象。面检测造成的侧面检测不到的现象。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片缺陷视觉检测设备


[0001]本专利技术涉及硅片检测
,特别涉及一种硅片缺陷视觉检测设备。

技术介绍

[0002]当下新能源产业趋势明显,光伏产业发展迅速,硅片作为太阳能电池片的主要原料,使得硅片的需求日益增大,而且硅片表面的平整度直接影响着太阳能电池片的质量,使用不合格的硅片制作太阳能电池片,可能会使太阳能电池片直接报废,比较浪费成本和资源;
[0003]现有的硅片表面的缺陷检测多是通过相机检测单面的平整度,不能够保证背面的平整情况,同时在对硅片进行检测时,硅片为静止状态,因此无法对硅片的侧边进行检测,因此当硅片侧边产生缺陷或者是崩口时,传统的单面检测就存在检测不全面的现象,因此影响硅片检测过程中的准确性,同时增加了二次检测所产生的成本和时间支出,为此提出一种硅片缺陷视觉检测设备来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提供一种硅片缺陷视觉检测设备,能够解决
技术介绍
的问题。
[0005]为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种硅片缺陷视觉检测设备,包括检测箱和硅片本体,所述检测箱的下端固定连接有支撑腿,检测箱的两侧分别开设有通槽,检测箱的两侧分别固定连接有两个支撑板,支撑板相对的一侧均转动连接有传动轴,传动轴上传动套接有传输带,传输带贯穿通槽,支撑板上固定连接有电机,电机的输出端与其中一个传动轴固定连接,检测箱的内部固定连接有检测装置,传输带上设置有翻转机构。
[0006]优选的,所述翻转机构包括连接板,连接板上固定连接有支撑轴,支撑轴不与连接板接触的一端固定连接有为圆形的转动板,转动板上固定连接有伸缩杆,伸缩杆的输出端上固定连接有为n字形夹爪,夹爪的内部滑动连接有两个夹板,夹板相背的一侧固定连接有弹簧,弹簧不与夹板接触的一端固定连接在夹爪的内壁上,硅片本体设置在两个夹板之间。
[0007]优选的,所述检测装置由红外线发射器、高速相机、中央处理器和图像传输模块、分析模块组成。
[0008]优选的,两个所述夹板相对的一侧固定连接有海绵垫。
[0009]优选的,所述检测箱的内部固定连接有吊杆,吊杆不与检测箱接触的一端上固定连接有摩擦板,摩擦板与转动板相互贴合。
[0010]优选的,所述检测箱的内壁上固定连接有两个清理板,两个清理板位于硅片本体的两侧,两个清理板相对的一侧均设置有清理毛刷,清理毛刷与硅片本体接触。
[0011]优选的,所述支撑轴上活动套接有扭力弹簧,扭力弹簧的两个扭力臂分别固定连接在支撑轴和转动板上。
[0012]优选的,两个所述清理板均为相对设置的n字形,清理板的内壁上开设有滑槽,滑
槽的内部滑动连接有滑块,滑块上固定连接有拉簧,拉簧不与滑块接触的一端固定连接在滑槽的内壁上,清理毛刷转动连接在滑块上。
[0013]与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:
[0014](1)、该硅片缺陷视觉检测设备,当传输带进行传动时,带动支撑板和转动板向着检测箱的内部移动,随着转动板的不断移动,因此转动板与摩擦板接触,进而在摩擦力的影响下,转动板产生翻转现象,进而使得转动板能够带动夹爪以及硅片本体产生翻转,因此使得检测装置能够对硅片本体的侧面进行检测,因此检测其侧面是否存在崩裂或者缺口现象,进而提高检测数据的准确性,避免传统的平面检测造成的侧面检测不到的现象。
[0015](2)、该硅片缺陷视觉检测设备,通过设置的扭力弹簧,因此当转动板产生翻转现象时,进而扭力弹簧受力,因此当转动板与摩擦板脱离后,在扭力弹簧自身具备的复位性能下,使得转动板和夹爪复位,因此使得硅片本体可以随着传输带的传动从检测箱的内部传出,进而避免硅片本体为倾斜状态下与通槽产生碰撞现象,因此避免硅片本体产生损坏,进而确保检测过程中的安全。
[0016](3)、该硅片缺陷视觉检测设备,通过设置的清理毛刷,当硅片本体随着传输带进行移动时,硅片本体进入至两个清理毛刷之间,因此清理毛刷对硅片本体的两侧进行清理,进而避免灰尘粘附在硅片本体上影响检测数据的准确性和硅片本体的透光效果。
[0017](4)、该硅片缺陷视觉检测设备,通过将清理毛刷转动连接在滑块上,滑块通过拉簧滑动连接在滑槽的内部,因此当面对不同厚度的硅片本体时,清理毛刷可以通过滑块进行相背的移动,因此使得两个清理毛刷之间的间距能够适配硅片本体,因此使得清理毛刷在面对不同厚度的硅片本体时,都可以有效的对其进行清理。
[0018](5)、该硅片缺陷视觉检测设备,通过设置在夹板上的海绵垫,因此使得硅片本体能够与夹板之间为柔性接触,因此避免其刚性接触对硅片本体表面造成磨损现象,因此确保硅片本体不会受到损坏,进而确保后续的正常使用。
附图说明
[0019]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步地说明:
[0020]图1为本专利技术一种硅片缺陷视觉检测设备的结构示意图;
[0021]图2为本专利技术检测箱内部示意图;
[0022]图3为本专利技术传动轴平面示意图;
[0023]图4为本专利技术传输带示意图;
[0024]图5为本专利技术连接板示意图;
[0025]图6为本专利技术夹爪示意图;
[0026]图7为本专利技术检测箱右视示意图;
[0027]图8为本专利技术清理毛刷右视示意图。
[0028]附图标记:1、检测箱;2、支撑板;3、电机;4、传输带;5、通槽;6、支撑腿;7、传动轴;8、检测装置;9、连接板;91、支撑轴;92、扭力弹簧;93、转动板;94、伸缩杆;95、夹爪;96、夹板;97、弹簧;10、吊杆;11、摩擦板;12、清理毛刷;13、清理板;14、硅片本体;15、滑槽;16、拉簧;17、滑块。
具体实施方式
[0029]本部分将详细描述本专利技术的具体实施例,本专利技术之较佳实施例在附图中示出,附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述,使人能够直观地、形象地理解本专利技术的每个技术特征和整体技术方案,但其不能理解为对本专利技术保护范围的限制。
[0030]请参阅图1

8,本专利技术提供一种技术方案:一种硅片缺陷视觉检测设备,包括检测箱1和硅片本体14,检测箱1的下端固定连接有支撑腿6,检测箱1的两侧分别开设有通槽5,检测箱1的两侧分别固定连接有两个支撑板2,支撑板2相对的一侧均转动连接有传动轴7,传动轴7上传动套接有传输带4,传输带4贯穿通槽5,支撑板2上固定连接有电机3,电机3的输出端与其中一个传动轴7固定连接,检测箱1的内部固定连接有检测装置8,传输带4上设置有翻转机构;
[0031]当电机3启动时,其输出端带动传动轴7进行转动,因此使得传输带4进行传动;
[0032]其中,检测装置8由红外线发射器、高速相机、中央处理器和图像传输模块、分析模块组成。
[0033]当需要对硅片本体14进行检测时,检测装置上的红外线发射器产生光波照射在硅片本体14上,此时高速相机对硅片本体14进行拍照并将所得图像通过图像传输模块传输至本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片缺陷视觉检测设备,包括检测箱(1)和硅片本体(14),其特征在于:所述检测箱(1)的下端固定连接有支撑腿(6),检测箱(1)的两侧分别开设有通槽(5),检测箱(1)的两侧分别固定连接有两个支撑板(2),支撑板(2)相对的一侧均转动连接有传动轴(7),传动轴(7)上传动套接有传输带(4),传输带(4)贯穿通槽(5),支撑板(2)上固定连接有电机(3),电机(3)的输出端与其中一个传动轴(7)固定连接,检测箱(1)的内部固定连接有检测装置(8),传输带(4)上设置有翻转机构。2.根据权利要求1所述的一种硅片缺陷视觉检测设备,其特征在于:所述翻转机构包括连接板(9),连接板(9)上固定连接有支撑轴(91),支撑轴(91)不与连接板(9)接触的一端固定连接有为圆形的转动板(93),转动板(93)上固定连接有伸缩杆(94),伸缩杆(94)的输出端上固定连接有为n字形夹爪(95),夹爪(95)的内部滑动连接有两个夹板(96),夹板(96)相背的一侧固定连接有弹簧(97),弹簧(97)不与夹板(96)接触的一端固定连接在夹爪(95)的内壁上,硅片本体(14)设置在两个夹板(96)之间。3.根据权利要求2所述的一种硅片缺陷视觉检测设备,其特征在于:所述检测装置(8)由红外线发射器、高速相机、中央处理器和图像传输模块、分...

【专利技术属性】
技术研发人员:侯育星谢文婷
申请(专利权)人:苏州若高智能科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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