固晶机的取晶方法技术

本发明专利技术涉及一种固晶机的取晶方法，其中，包括：S1、更换或放置新的晶元台；S2、读取Mapping文件，并对应Mapping文件设定参考点和起点；S3、执行晶元台机械轴寻找起点的流程，先根据预先设定的参考点和预设起点之差得到行偏移与列偏移；从参考点开始，取相机视野中心的晶元作为基点，并获得取相机视野中其他晶元与基点的位置关系，计算出需要的图像坐标，并根据图像坐标相应减少行偏移或列偏移；运动控制系统收到该需要的图像坐标后，移动晶元台机械轴的相机视野中心至该图像坐标，并获相机视野中心的晶元作为新的基点；直至行偏移和列偏移均为0，则找到起点，并执行步骤S4；S4、基于所找到的起点位置开始取晶。找到的起点位置开始取晶。找到的起点位置开始取晶。

【技术实现步骤摘要】
固晶机的取晶方法


[0001]本专利技术涉及芯片技术，特别涉及一种固晶机的取晶方法。

技术介绍

[0002]在不具备Wafer Mpaping取晶方法前，在检测机对wafer做完检测之后，需要人工手动对检测内容进行标记，即对不合格芯片进行墨点标记。在标记墨点的过程中，有可能会出现墨水量不够、人工误差等问题，导致不良晶元流入了市场。
[0003]而在具有自动识别wafer mapping的取晶方式后，如何保证mapping文件里的标记与实物晶元一一对应成了关键。现有技术中都是人工手动协助机械臂找到起始点，然后从起始点开始生产。但是由于晶元较小、晶元外观都是一致的，人工操作的方式有时候很难准确的找到起始点。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种固晶机的取晶方法，用于解决上述wafer mapping的取晶方式很难准确的找到起始点的问题。
[0005]本专利技术一种固晶机的取晶方法，其中，包括：S1、更换或放置新的晶元台；S2、读取Mapping文件，并对应Mapping文件设定参考点和起点；S3、执行晶元台机械轴寻找起点的流程，先根据预先设定的参考点和预设起点之差得到行偏移与列偏移；从参考点开始，取相机视野中心的晶元作为基点，并获得取相机视野中其他晶元与基点的位置关系，计算出需要的图像坐标，并根据图像坐标相应减少行偏移或列偏移；运动控制系统收到该需要的图像坐标后，移动晶元台机械轴的相机视野中心至该图像坐标，并获相机视野中心的晶元作为新的基点；直至行偏移和列偏移均为0，则找到起点，并执行步骤S4；S4、基于所找到的起点位置开始取晶。
[0006]根据本专利技术固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，步骤S1具体包括：卸载旧晶元台，把新的未使用的晶元台放入晶元台夹具中，用热风机软化，并锁紧蓝膜。
[0007]根据本专利技术固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，步骤S2具体包括：在读取mapping文件，导入放置的晶元台对应的mapping文件后，通过遍历的方式获取OK晶元，选择左上的OK晶元作为mapping起始点，再选择mapping文件中晶元图像较为靠中部的OK晶元作为参考点。
[0008]根据本专利技术固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，根据预先设定的参考点和起点之差得到行偏移与列偏移包括：分别获取mapping的起始点和参考点所在的行列位置，起始点的行号和列号，对应减去参考点的行号和列号，得到参考点至起始点的行偏移与列偏移。
[0009]根据本专利技术固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，得到行偏移与列偏移后，移动晶元台机械轴，使得相机视野中心对准参考点晶元所在的位置，进行图像采集。
[0010]根据本专利技术固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，步骤S3中确定行偏移与列偏
移后，晶元台机械轴寻找起点的流程包括：S331、通过形状匹配的识别算法，找到相机视野中9个晶元的图像；S332、取相机视野中心的晶元作为基点，对位于基点正上、正下、正左以及正右四个方向的晶元坐标进行分类；S333、根据参考点至起始点的行偏移与列偏移及晶元与基点的位置关系，计算出需要的图像坐标，若行偏移Δx大于0，则输出基点正上方的晶元的图像坐标给运动控制系统，行偏移的绝对值减1；若行偏移Δx小于0，则输出基点正下方的晶元的图像坐标给运动控制系统，行偏移的绝对值减1；若行偏移Δx等于0，则根据列偏移Δy输出，其中，列偏移Δy大于0，输出基点正右方的晶元的图像坐标给运动控制系统，列偏移的绝对值减1；列偏移Δy小于0，输出正左方的晶元的图像坐标给运动控制系统，列偏移的绝对值减1；若列偏移Δy等于0，则执行步骤S4；S334、运动控制系统用得到的图像坐标，作为下一个拍照位置，移动晶元台机械轴使得相机视野中心对准到该图像坐标，并以修改后的行偏移与列偏移，再次执行步骤S331。
[0011]根据本专利技术固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，如果相机视野中的晶元数量不等于9个则：(1)当晶元数量少于9个，且相机视野中心没有识别出晶元坐标时，使用图像中心坐标作为基点；(2)当晶元数量少于9个晶元，基点正上方或正下方的晶元未能识别出时，则当列偏移Δy大于0，输出基点正右方的晶元的图像坐标；列偏移Δy等于0，输出正左方的晶元的图像坐标；列偏移Δy等于0时，根据行偏移Δx输出：行偏移Δx大于0，输出基点位置加上晶元行间距的位置；行偏移Δx小于0，输出基点位置减去行间距的位置；当基点正左方或正右方未能识别出且行偏移Δx等于0时，根据列偏移Δy输出：列偏移Δy大于0，输出基点位置加上晶元列间距的位置；列偏移Δy小于0，输出基点位置减去晶元列间距的位置；(3)当晶元数量大于9个，则取围绕相机视野中心，则取每个方向离基点近的晶元。
[0012]根据本专利技术固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，如果相机视野中心寻找多次没有晶元的图像坐标，则流程终止。
[0013]根据本专利技术固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，步骤S4具体包括：S41、运动控制系统给视觉发送拍照识别信号；S42、视觉系统收到拍照识别信号后，进行拍照识别计算；S43、运动控制系统按照拍照识别计算的坐标，移动晶元台机械轴到该取晶元坐标后，控制焊头到相机视野中心进行取晶动作；其中，首次识别计算的坐标为该起点坐标；S44、对该晶元拾取完成后，焊头移动到固晶区进行固晶，晶元台移动到视觉给出的下个拍照位置等待；S45、固晶完成后，焊头回到预备位等待，并判断晶元台是否还有未取的晶元，如果存在，则执行步骤S41，否则，则认为当前晶元台取晶完成，结束取晶。
[0014]根据本专利技术固晶机的取晶方法的的一实施例，其中，判断晶元台是否还有未取的晶元包括：视觉系统根据导入的mapping文件中OK晶元的个数及已取晶元判断，若OK晶元的个数大于已取晶元的个数，则为未取完；否则，则认为当前晶元台取晶完成。
[0015]本专利技术固晶机的取晶方法，有效的解决了wafer mapping的取晶方式很难准确的找到起始点的问题，提高了固晶机的生产效率。
附图说明
[0016]图1所示为本专利技术固晶机的取晶方法的流程图；
[0017]图2所示为Mapping模式下的路径规划流程图；
[0018]图3通过解析mapping得到的矩阵图；
[0019]图4局部mapping矩阵图。
具体实施方式
[0020]为使本专利技术的目的、内容、和优点更加清楚，下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。
[0021]图1所示为本专利技术固晶机的取晶方法的流程图，图2所示为Mapping模式下的路径规划流程图，图3通过解析mapping得到的矩阵图，图4局部mapping矩阵图，如图1至图4所示，
[0022]如图1所示，本专利技术固晶机的取晶方法包括：
[0023]S1、更换或放置新的晶元(wafer)；
[0024]步骤S1具体可以包括：
[0025]卸载晶元台，把新的未使用的晶元(wafer)放入晶元台夹具中，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固晶机的取晶方法，其特征在于，包括：S1、更换或放置新的晶元台；S2、读取Mapping文件，并对应Mapping文件设定参考点和起点；S3、执行晶元台机械轴寻找起点的流程，先根据预先设定的参考点和预设起点之差得到行偏移与列偏移；从参考点开始，取相机视野中心的晶元作为基点，并获得取相机视野中其他晶元与基点的位置关系，计算出需要的图像坐标，并根据图像坐标相应减少行偏移或列偏移；运动控制系统收到该需要的图像坐标后，移动晶元台机械轴的相机视野中心至该图像坐标，并获相机视野中心的晶元作为新的基点；直至行偏移和列偏移均为0，则找到起点，并执行步骤S4；S4、基于所找到的起点位置开始取晶。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤S1具体包括：卸载旧晶元台，把新的未使用的晶元台放入晶元台夹具中，用热风机软化，并锁紧蓝膜。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤S2具体包括：在读取mapping文件，导入放置的晶元台对应的mapping文件后，通过遍历的方式获取OK晶元，选择左上的OK晶元作为mapping起始点，再选择mapping文件中晶元图像较为靠中部的OK晶元作为参考点。4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，根据预先设定的参考点和起点之差得到行偏移与列偏移包括：分别获取mapping的起始点和参考点所在的行列位置，起始点的行号和列号，对应减去参考点的行号和列号，得到参考点至起始点的行偏移与列偏移。5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，得到行偏移与列偏移后，移动晶元台机械轴，使得相机视野中心对准参考点晶元所在的位置，进行图像采集。6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，步骤S3中确定行偏移与列偏移后，晶元台机械轴寻找起点的流程包括：S331、通过形状匹配的识别算法，找到相机视野中9个晶元的图像；S332、取相机视野中心的晶元作为基点，对位于基点正上、正下、正左以及正右四个方向的晶元坐标进行分类；S333、根据参考点至起始点的行偏移与列偏移及晶元与基点的位置关系，计算出需要的图像坐标，若行偏移Δx大于0，则输出基点正上方的晶元的图像坐标给运动控制系统，行偏移的绝对值减1；若行偏移Δx小于0，则输出基点正下方的晶元的图像坐标给运动控制系统，行偏移的绝对值减1；若行偏移Δx等于0，则根据列偏移Δy输出，其中，列偏移Δy大于0...

【专利技术属性】
技术研发人员：李健扬，王文耀，刘少君，黄博才，黎振升，
申请(专利权)人：广州市锲致智能技术有限公司，
类型：发明
国别省市：