一种废液排放组件制造技术

本发明专利技术提供了一种废液排放组件，包括：排废管，所述排废管内部设有排废旋转轴，所述排废旋转轴内部开设有进液通道；动力机构，所述动力机构包括从动轮，所述从动轮轴心与所述排废旋转轴的一端固定连接，用于驱动所述排废旋转轴转动，使废液沿排废管向排废管的流出方向流动；装夹部件，设置于所述开口的对应位置，用于对所述排废管进行夹持固定；防倒灌清洗机构，设置于所述排废管的流出方向末端，且与所述进液通道连通，用于流体通入所述进液通道内。本发明专利技术使废液入排废管内，通过排废旋转轴转动，对管道内的废液进行推动使其流动，加快对废液排放效率，并提高废液的排放率，并通过连接防倒灌清洗机构，对管道内进行清洁。对管道内进行清洁。对管道内进行清洁。

【技术实现步骤摘要】
一种废液排放组件


[0001]本专利技术的实施例一般涉及废液处理领域，并且更具体地，涉及一种废液排放组件。

技术介绍

[0002]目前，随着在半导体制成的多样化设备中很多清洗刻蚀显影等设备的工艺很复杂，制程中需要使用多种化学品，有的化学品价格昂贵，使用一次后就直接排放造成浪费，还有一些化学品相互之间不能混合排放，否则会造成危险，或是对工厂的排废系统造成腐蚀危害，对不同工艺制品的工艺制成不完全适用。
[0003]现有技术中存在的问题：首先，废液中可能含有有害物质，直接排放会对环境造成污染。其次，废液的排放需要进行处理和管理，需要耗费大量的人力、物力和财力。此外，废液的排放还存在安全隐患，可能会对人员和设备造成损害。最后，废液的排放也会浪费资源，因为废液中可能含有一些有价值的物质，如果不能有效地回收利用，将会造成资源的浪费，针对现有技术中，化学品废液在排放过程中，由于一些具有高粘度的化学品(如光刻胶等)因其粘度大，粘附于排液管的内壁造成排放困难，导致排液管封堵，使排液失败，产生堵塞并影响使用，需要暂停排液并对排液管内壁进行废液的刮除，提高处理难度与降低处理效率。

技术实现思路

[0004]根据本专利技术的实施例，提供了一种废液排放组件，解决了化学品废液在排放过程中，由于一些具有高粘度的化学品(如光刻胶等)因其粘度大，粘附于排液管的内壁造成排放困难，导致排液管封堵，使排液失败，产生堵塞并影响使用降低处理效率问题。
[0005]在本专利技术提供了一种废液排放组件。该废液排放组件包括：排废管，所述排废管内部设有排废旋转轴，所述排废旋转轴内部开设有进液通道；所述排废旋转轴外壁上沿着搅拌叶片的轴线方向开设有第二开口，所述第二开口使所述进液通道与所述排废管相通；所述排废管顶部开设有第一开口，用于使废液通过第一开口进入排废管内，从排废管的流出方向末端流出；动力机构，所述动力机构包括从动轮，所述从动轮轴心与所述排废旋转轴的一端固定连接，用于驱动所述排废旋转轴转动，使废液沿排废管向排废管的流出方向流动；装夹部件，设置于所述第一开口的对应位置，用于对所述排废管进行夹持固定，所述装夹部件包括进液口，所述进液口与所述第一开口连通，使废液通过进液口流入排废管内；防倒灌清洗机构，所述防倒灌清洗机构设置于所述排废管的流出方向末端，且与所述进液通道连通，使流体从所述防倒灌清洗机构一侧通入所述进液通道内。
[0006]进一步地，所述排废旋转轴的外壁沿其长度方向设有螺旋状的搅拌叶片，所述搅拌叶片的边缘与所述排废管的内壁相抵，用于对所述排废管的内壁上的附着物进行刮除。
[0007]进一步地，所述动力机构还包括：电机，所述电机上设有驱动轴，用于对动力机构提供初始动力；主动轮，所述主动轮固定安装在所述驱动轴上，并与所述驱动轴同步运动，用于传递所述电机的动力；同步带，所述同步带啮合连接在所述主动轮和从动轮上，使所述
主动轮与从动轮同步转动，所述从动轮带动排废旋转轴转动，使废液在所述排废旋转轴的带动下从所述排废管的流出方向末端排出。
[0008]进一步地，还包括电机护罩，所述电机护罩一侧设有安装板，所述安装板一侧通过法兰结构与所述排废管一端连接，用于通过所述法兰结构对排废管进行固定与拆卸。
[0009]进一步地，所述电机护罩还包括驱动空腔，所述驱动空腔设置在所述电机护罩内，用于固定动力机构，其中所述主动轮转动安装在所述驱动空腔两端侧壁之间的一侧，所述电机护罩侧壁对应所述电机的位置贯穿开设第一开孔，使电机驱动轴贯穿所述第一开孔与所述主动轮固定连接，所述从动轮转动安装在所述驱动空腔两端侧壁之间的另一侧，所述电机护罩和安装板同侧侧壁与对应所述排废旋转轴的位置贯穿开设第二开孔，使排废旋转轴一端贯穿所述第二开孔与所述从动轮固定连接。
[0010]进一步地，所述装夹部件还包括：上装夹板、下装夹板、支撑固定板和上固定板，所述上装夹板设置在所述排废管的顶端，所述下装夹板设置在所述排废管的底端，所述上装夹板和所述下装夹板平行设置且二者之间通过螺栓进行固定，用于对排废管进行夹持固定；所述上固定板底端连接在所述上装夹板顶端，所述上固定板顶端中间开设有进液口；支撑固定板，所述支撑固定板顶端连接在所述下装夹板底端，用于对下装夹板进行支撑固定。
[0011]进一步地，所述第一开口沿所述排废管长度方向间隔开设为一个或多个且在每个所述开口位置对应设置一所述装夹部件。
[0012]进一步地，所述排废管的流出方向末端设置排废组件；所述排废组件包括连接座和弯头；所述连接座设置在所述排废管的流出方向末端的侧壁上，在所述排废管的流出方向末端的下方开设有第一贯穿孔，所述弯头用于所述连接座和所述第一贯穿孔连通。
[0013]进一步地，所述防倒灌清洗机构包括旋转接头和流体连通阀，所述旋转接头一端与所述排废旋转轴连接，另一端连接有软管；所述流体连通阀通过所述软管与所述旋转接头连通，用于流体控制和管道切换。
[0014]进一步地，所述流体连通阀包括阀体、压盖和切换管道，所述压盖设置气源入口与气源连通；所述阀体两侧设置第一管道和第二管道；所述压盖和阀体之间开有沟槽；所述沟槽连通所述第一管道和第二管道；所述压盖和阀体之间固定设置膜片，所述膜片使所述第一管道、第二管道与所述气源入口之间隔断，其中所述第一管道与第二管道位于所述膜片的同侧，且与所述气源入口位于所述膜片的对侧；所述膜片用于随通入的流体压力或气体吸力向所述气源入口一侧贴合，使所述第一管道和第二管道相互连通；以及随通入的气体压力向所述第一管道和第二管道一侧的阀体贴合，使所述第一管道和第二管道相互隔断；所述切换管道设置在所述第一管道上，用于切换第三管道或第四管道与所述第一管道连通；所述第三管道贯穿所述阀体侧壁，用于通入气体；所述第四管道贯穿所述阀体侧壁，用于通入液体；所述切换管道上端贯穿所述阀体上壁面，且在所述切换管道上设有把手，所述把手用于握持转动所述切换管道。
[0015]应当理解，
技术实现思路
部分中所描述的内容并非旨在限定本专利技术的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本专利技术的范围。本专利技术的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
[0016]本专利技术使废液入排废管内，通过排废旋转轴转动，对管道内的废液进行推动使其流动，加快对废液排放效率，并提高废液的排放率，并通过连接防倒灌清洗机构，对管道内
进行清洁。
附图说明
[0017]结合附图并参考以下详细说明，本专利技术各实施例的上述和其他特征、优点及方面将变得更加明显。在附图中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的元素，其中：
[0018]图1示出了本专利技术的实施例提供的废液排放组件的结构示意图；
[0019]图2为图1中的本专利技术的实施例提供的废液排放组件的部分结构示意图；
[0020]图3示出了本专利技术的实施例提供的动力机构的局部放大示意图；
[0021]图4示出了本专利技术的实施例提供的流体连通阀的结构剖视图；
[0022]图5示出了本专利技术的实施例提供的排废旋转轴的结构示意图。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种废液排放组件，其特征在于，包括：排废管(8)，所述排废管(8)内部设有排废旋转轴(11)，所述排废旋转轴(11)内部开设有进液通道；所述排废旋转轴(11)外壁上沿着搅拌叶片的轴线方向开设有第二开口，所述第二开口使所述进液通道与所述排废管(8)相通；所述排废管(8)顶部开设有第一开口，用于使废液通过第一开口进入排废管(8)内，从排废管(8)的流出方向末端流出；动力机构，所述动力机构包括从动轮(12)，所述从动轮(12)轴心与所述排废旋转轴(11)的一端固定连接，用于驱动所述排废旋转轴(11)转动，使废液沿排废管(8)向排废管(8)的流出方向流动；装夹部件，设置于所述第一开口的对应位置，用于对所述排废管(8)进行夹持固定，所述装夹部件包括进液口(4)，所述进液口(4)与所述第一开口连通，使废液通过进液口(4)流入排废管(8)内；防倒灌清洗机构，所述防倒灌清洗机构设置于所述排废管(8)的流出方向末端，且与所述进液通道连通，使流体从所述防倒灌清洗机构一侧通入所述进液通道内；所述防倒灌清洗机构包括旋转接头(15)和流体连通阀；所述旋转接头(15)一端与所述排废旋转轴(11)连接，另一端连接有软管；所述流体连通阀通过所述软管与所述旋转接头(15)连通，用于流体控制和管道切换。2.根据权利要求1所述的废液排放组件，其特征在于，所述排废旋转轴(11)的外壁沿其长度方向设有螺旋状的搅拌叶片，所述搅拌叶片的边缘与所述排废管(8)的内壁相抵，用于对所述排废管(8)的内壁上的附着物进行刮除。3.根据权利要求1所述的废液排放组件，其特征在于，所述动力机构还包括：电机(3)，所述电机(3)上设有驱动轴，用于对动力机构提供初始动力；主动轮(10)，所述主动轮(10)固定安装在所述驱动轴上，并与所述驱动轴同步运动，用于传递所述电机(3)的动力；同步带(13)，所述同步带(13)啮合连接在所述主动轮(10)和从动轮(12)上，使所述主动轮(10)与从动轮(12)同步转动，所述从动轮(12)带动排废旋转轴(11)转动，使废液在所述排废旋转轴(11)的带动下从所述排废管(8)的流出方向末端排出。4.根据权利要求3所述的废液排放组件，其特征在于，还包括电机护罩(1)；所述电机护罩(1)一侧设有安装板(2)，所述安装板(2)一侧通过法兰结构与所述排废管(8)一端连接，用于通过所述法兰结构对排废管(8)进行固定与拆卸。5.根据权利要求4所述的废液排放组件，其特征在于，所述电机护罩(1)还包括驱动空腔；所述驱动空腔设置在所述电机护罩(1)内，用于固定动力机构，其中所述主动轮(10)转动安装在所述驱动空腔两端侧壁之间的一侧，所述电机护罩(1)侧壁对应所述电机(3)的位置贯穿开设第一开孔，使电机(3)驱动轴贯穿所述第一开孔与所述主动轮(10)固定连接，所述从动轮(12)转动安装在所述驱动空腔两端侧壁之间的...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏猛，王阳，张佳男，
申请(专利权)人：芯达半导体设备苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：