一种探卡盘角度调节机构和探卡测试盘组件制造技术

本申请公开了一种探卡盘角度调节机构，其特征在于，包括：主动件，主动件上形成有调节空间；被动件，被动件的一端设置于内测试盘上，另一端穿设于调节空间内，并与调节空间活动配合；直线调节装置，直线调节装置具有底座、丝杆和活动块；底座安装于外测试盘上，活动块与主动件连接，并与底座之间形成沿第一方向的滑动连接结构，丝杆通过轴承连接于底座上，且其延伸方向为第一方向；活动块穿设于丝杆上，且与丝杆螺纹连接，当丝杆被转动时，活动块可带动主动件沿第一方向移动，使得被动件在主动件的调节空间作用下带动内测试盘绕其轴线转动。该调节机构可使探卡盘调节更为便利和精准。调节机构可使探卡盘调节更为便利和精准。调节机构可使探卡盘调节更为便利和精准。

【技术实现步骤摘要】
一种探卡盘角度调节机构和探卡测试盘组件


[0001]本申请一般涉及芯片测试领域，尤其涉及一种探卡盘角度调节机构和探卡测试盘组件。

技术介绍

[0002]在对芯片进行批量测试的过程中，常常需要用到探卡盘，上述探卡盘为一种用于测试某种芯片而单独定制的测试端口，其电连接于测试装置，且其上设有与待测芯片相应的若干探针。芯片测试过程中，芯片被置于承片盘上后，需要通过旋转调节探卡盘位置，使其上探针与芯片上待测点接触以完成测试，现有的对于探卡盘进行旋转调节的机构如中国专利文件(CN218331695U)中所提到的方案，一般是通过操作者用手来对内盘进行直接的旋转式拨动，以实现探卡盘上的探针与芯片上待测点对准。上述调节过程中较难保证探卡盘被准确的旋转至设定方位，且调解完毕后，探卡盘容易受到振动等因素的影响而发生位置偏离，因此在面对批量芯片测试的实际场景中，其测试效率难以保证。综上，如何实现对探卡盘进行精确高效的调节已成为本领域亟待解决的问题。

技术实现思路

[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种可让探卡盘调节更为精准、高效的探卡盘角度调节机构和探卡测试盘组件。
[0004]第一方面
[0005]本申请提供一种探卡盘角度调节机构，包括：
[0006]主动件，所述主动件上形成有调节空间；
[0007]被动件，所述被动件的一端设置于内测试盘上，另一端穿设于所述调节空间内，并与所述调节空间活动配合；
[0008]直线调节装置，所述直线调节装置具有底座、丝杆和活动块；所述底座安装于外测试盘上，所述活动块与所述主动件连接，并与所述底座之间形成沿第一方向的滑动连接结构，所述丝杆通过轴承连接于所述底座上，且其延伸方向为所述第一方向；所述活动块穿设于所述丝杆上，且与所述丝杆螺纹连接。
[0009]当所述丝杆被转动时，所述活动块可带动主动件沿所述第一方向移动，使得所述被动件在所述主动件的调节空间作用下带动内测试盘绕其轴线转动。
[0010]作为本申请的进一步限定，所述直线调节装置的底座31中心与所述外测试盘中心的连线方向为第二方向，所述第二方向与第一方向之间的夹角大于0度且小于180度。
[0011]作为本申请的进一步限定，所述主动件上的所述调节空间内侧还设有顶珠、碰珠和弹性件；
[0012]所述碰珠通过所述弹性件连接于所述调节空间的内壁的一侧上，所述顶珠连接于所述调节空间的内壁的另一侧上，所述顶珠与所述碰珠沿所述第一方向排列。
[0013]作为本申请的进一步限定，所述丝杆上的螺纹范围的两侧对应于所述主动件的第
一工位和第二工位，所述第一工位与所述外测试盘中心的排列方向为第三方向，所述第二工位与所述外测试盘中心的排列方向为第四方向，所述第三方向与所述第四方向分别与所述第二方向呈预设夹角。
[0014]作为本申请的进一步限定，所述直线调节装置还包括固定于所述底座31侧板上的电机，所述电机输出轴与所述丝杆固定连接，用于驱动所述丝杆转动。
[0015]第二方面
[0016]本申请提供一种探卡测试盘组件，包括以上所述的测试盘角度调节机构，还包括：
[0017]内测试盘，所述内测试盘内用于固定所述探卡盘；
[0018]外测试盘，所述外测试盘同轴套接于所述内测试盘外侧；
[0019]探卡盘，所述探卡盘下侧设有若干探针，所述探针用于与其下方的芯片测试点对应接触，以完成测试。
[0020]本申请有益效果在于：
[0021]当将芯片置于所述探卡盘角度调节机构下侧的某一位置后，芯片与所述外测试盘的位置关系即可锁定。进而只需调节所述内测试盘与所述外测试盘之间的相对方位关系即可实现探针与测试点之间的竖直位置对应。由于所述直线调节装置内部是由所述丝杆和所述活动块组成的具有阻尼的调节结构，因此在调节过程中，对所述主动件的位置调节可控性更强，其更容易被调节至合适的位置，也即可以确保所述被动件连同所述内测试盘被带动以相对于所述外测试盘转动至设定位置。而在位置调节完成后至测试完成之前的这段时间内，即便所述探卡测试盘组件受到外界振动或是人员的误操作的影响，探卡与芯片的相对位置也不会轻易发生改变，因此本身请提供的方案即可提升测试过程的便利性，又可提升测试的精确性，进而对于提升大规模芯片测试的效率具有较大的帮助。
附图说明
[0022]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0023]图1为本申请实施例提供的探卡盘角度调节机构在工作环境下的示意图；
[0024]图2为图1中探卡盘角度调节机构的俯视图；
[0025]图中标号：1，主动件；2，被动件；41，内测试盘；42，外测试盘；31，底座；32，丝杆；33，活动块；11，顶珠；12，碰珠；5，探卡盘。
具体实施方式
[0026]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。
[0027]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0028]实施例1
[0029]请参考图1，为本实施例提供的一种探卡盘角度调节机构，包括：
[0030]主动件1，所述主动件1上形成有调节空间；
[0031]被动件2，所述被动件2的一端设置于内测试盘41上，另一端穿设于所述调节空间内，并与所述调节空间活动配合；
[0032]直线调节装置，所述直线调节装置具有底座31、丝杆32和活动块33；所述底座31安装于外测试盘42上，所述活动块33与所述主动件1连接，并与所述底座31之间形成沿第一方向的滑动连接结构，所述丝杆32通过轴承连接于所述底座31上，且其延伸方向为所述第一方向；所述活动块33穿设于所述丝杆32上，且与所述丝杆32螺纹连接。
[0033]当所述丝杆32被转动时，所述活动块33可带动主动件1沿所述第一方向移动，使得所述被动件2在所述主动件1的调节空间作用下带动内测试盘41绕其轴线转动。
[0034]如图1中所示，当将芯片置于所述探卡盘角度调节机构下侧的某一位置后，芯片与所述外测试盘42的位置关系即可锁定。进而只需调节所述内测试盘41与所述外测试盘42之间的相对方位关系即可实现探针与测试点之间的竖直位置对应。由于所述直线调节装置内部是由所述丝杆32和所述活动块33组成的具有阻尼的调节结构，因此在调节过程中，对所述主动件1的位置调节可控性更强，其更容易被调节至合适的位置，也即可以确保所述被动件2连同所述内测试盘被带动以相对于所述外测试盘42转动至设定位置。在图1中所述主动件1上的缺口位置即为所述调节空间，其内部空间足以容纳所述被动件2在被带动过程中，并不会因与所述调节空间内壁发生结构性干涉而影响调节过程。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探卡盘角度调节机构，其特征在于，包括：主动件(1)，所述主动件(1)上形成有调节空间；被动件(2)，所述被动件(2)的一端设置于内测试盘(41)上，另一端穿设于所述调节空间内，并与所述调节空间活动配合；直线调节装置，所述直线调节装置具有底座(31)、丝杆(32)和活动块(33)；所述底座(31)安装于外测试盘(42)上，所述活动块(33)与所述主动件(1)连接，并与所述底座(31)之间形成沿第一方向的滑动连接结构，所述丝杆(32)通过轴承连接于所述底座(31)上，且其延伸方向为所述第一方向；所述活动块(33)穿设于所述丝杆(32)上，且与所述丝杆(32)螺纹连接；当所述丝杆(32)被转动时，所述活动块(33)可带动主动件(1)沿所述第一方向移动，使得所述被动件(2)在所述主动件(1)的调节空间作用下带动内测试盘(41)绕其轴线转动。2.根据权利要求1所述的探卡盘角度调节机构，其特征在于，所述直线调节装置的底座(31)中心与所述外测试盘(42)中心的连线方向为第二方向，所述第二方向与第一方向之间的夹角大于0度且小于180度。3.根据权利要求2所述的探卡盘角度调节机构，其特征在于，所述主动件(1)上的所述调节空间内侧还设有顶珠(11)、碰珠(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张杰，
申请(专利权)人：北京柯泰光芯半导体装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：