一种防脱落的晶圆储存装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种防脱落的晶圆储存装置，包括晶圆储存组件以及与晶圆储存组件连接的阻挡装置；所述晶圆储存组件包括基座以及设置在其上的晶圆储存仓，晶圆储存仓中自下而上设置有多个晶圆片，所述晶圆储存仓的出仓口设置有光线传感器；阻挡装置包括驱动装置以及与其连接的挡板，光线传感器对晶圆储存仓的出仓口发射检测光束，当出现晶圆片意外滑出出仓口，对光线传感器的光束形成阻挡，光线传感器输出信号，控制器启动驱动装置，使挡板对晶圆储存仓的出仓口封闭，避免晶圆片完全自晶圆储存仓滑落，因此能够有效降低晶圆的生产成本。因此能够有效降低晶圆的生产成本。因此能够有效降低晶圆的生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种防脱落的晶圆储存装置


[0001]本技术涉及晶圆加工
，具体为一种防脱落的晶圆储存装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒经过切片后形成晶圆片，对晶圆片检测前，需要将晶圆片放置在晶圆储存仓中，晶圆储存仓的正面设置有出仓口，晶圆储存仓的侧壁上自上而下设置有多个固定槽，多个晶圆片分别设置在各固定槽中，晶圆储存仓通过基座固定在晶圆检测设备上，通过机械手从晶圆储存仓中拿取晶圆片进行检测，由于晶圆片在加工过程中经过了打磨抛光处理，其表面非常光滑，因此当晶圆储存仓受到外力导致水平状态失衡，则非常容易自晶圆储存仓的出仓口脱落造成晶圆片损坏。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中存在的问题，本技术提供一种防脱落的晶圆储存装置，通过阻挡装置对晶圆储存仓的出仓口进行封闭或打开，解决了晶圆片脱落的问题。
[0004]本技术是通过以下技术方案来实现：
[0005]一种防脱落的晶圆储存装置，包括晶圆储存组件以及与晶圆储存组件连接的阻挡装置；
[0006]所述晶圆储存组件包括基座以及设置在其上的晶圆储存仓，晶圆储存仓中自下而上设置有多个晶圆片，所述晶圆储存仓的出仓口设置有光电传感器；阻挡装置包括驱动装置以及与其连接的挡板，当光电传感器的光路被晶圆片阻挡，驱动装置用于驱动挡板转动对晶圆储存仓的出仓口关闭。
[0007]优选的，所述基座的顶面设置有固定孔，并位于晶圆储存仓的出仓口，所述光电传感器嵌置在固定孔中，光电传感器的光束垂直向上发射。
[0008]优选的，所述光电传感器为反射式光电传感器。
[0009]优选的，所述挡板的长度大于晶圆储存仓的垂直高度。
[0010]优选的，所述驱动装置上设置有定位检测装置，用于对晶圆储存仓的出仓口处于打开状态下的挡板位置进行检测。
[0011]优选的，所述检测装置包括U型光电感应开关和开关板，开关板套设在驱动装置的输出轴上并与挡板固定连接，开关板的边缘设置有信号槽，U型光电感应开关固定在基座上，并且开关板的边缘位于U型光电感应开关的U型槽中。
[0012]优选的，所述开关板上还设置有调节槽，用于调节信号槽与U型光电感应开关的U型槽位置。
[0013]优选的，所述调节槽为弧形槽。
[0014]优选的，所述基座包括基板以及设置在其底部的多个支撑柱。
[0015]优选的，所述基板和晶圆储存仓之间设置有定位机构。
[0016]与现有技术相比，本技术具有以下有益的技术效果：
[0017]本技术提供的一种防脱落的晶圆储存装置，包括设置在基座上的光线传感器，并位于晶圆储存仓的出仓口，以及设置在基座上的驱动装置，驱动装置连接有挡板，光线传感器对晶圆储存仓的出仓口发射检测光束，当出现晶圆片意外滑出出仓口，对光线传感器的光束形成阻挡，光线传感器输出信号，控制器启动驱动装置，使挡板对晶圆储存仓的出仓口封闭，避免晶圆片完全自晶圆储存仓滑落，因此能够有效降低晶圆的生产成本。
附图说明
[0018]图1为本技术防脱落的晶圆储存装置的结构示意图；
[0019]图2为本技术晶圆储存装置的正面结构示意图；
[0020]图3为本技术晶圆储存仓的结构示意图；
[0021]图4为本技术晶圆储存仓的底部结构示意图；
[0022]图5为本技术基座的结构示意图；
[0023]图6为本技术阻挡装置的安装位置示意图；
[0024]图7为本技术阻挡装置的结构示意图。
[0025]图中：1、晶圆储存仓；2、晶圆片；3、基板；4、支撑柱；5、固定槽；6、定位部；7、连接板；8、第一导向块；9、第二导向块；10、定位槽；11、第二导向槽；12、第一导向槽；13、固定孔；20、晶圆储存组件；30、阻挡装置；40、挡板；31、伺服电机；32、防护壳；33、固定板；34、开关板；35、调节槽；36、信号槽；37、U型光电感应开关。
具体实施方式
[0026]下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，所述是对本技术的解释而不是限定。
[0027]参阅图1
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7，一种防脱落的晶圆储存装置，包括多个自下而上依次叠置的晶圆储存组件，以及与晶圆储存组件连接的阻挡装置30；
[0028]所述晶圆储存组件20包括基座以及设置在其上的晶圆储存仓1，晶圆储存仓1中自下而上设置有多个晶圆片2，所述晶圆储存仓1的出仓口设置有光电传感器，光电传感器的光路垂直发射；阻挡装置30包括驱动装置以及与其连接的挡板40，当光电传感器的光路被晶圆片阻挡，驱动装置用于驱动挡板40转动对晶圆储存仓1的出仓口关闭。
[0029]所述基座的顶面设置有固定孔13，并位于晶圆储存仓1的出仓口，所述光电传感器嵌置在固定孔中，光电传感器的出光孔位于上端，垂直向上发射光束，光电传感器和驱动装置分别与控制器连接，当晶圆片自出仓口滑出，对光束进行阻挡反射，控制器控制驱动装置工作，使挡板转动至晶圆储存仓1的出仓口，对晶圆片形成阻挡，避免其滑落造成损坏。
[0030]在本实施例中，光电传感器为反射式光电传感器，反射式光电传感器包括光源和光接收装置，光源发出的光经过待测物体的反射被光敏元件接收，再经过相关电路的处理得到所需要的信息。
[0031]所述阻挡装置30安装在最上层晶圆储存组件的顶部，或安装在最上层晶圆储存组件的底部，阻挡装置的转动角度为90
°
，所述挡板的长度大于或等于多个晶圆储存仓1的垂直距离，通过挡板对多个晶圆储存仓1的出仓口进行开闭控制，实现一个挡板对多个晶圆储
存仓1的控制。
[0032]在本实施例中，所述阻挡装置30的驱动装置安装在最下层晶圆储存组件的基座上，并位于晶圆储存仓1的下方，驱动装置为伺服电机31，其安装在保护壳中，保护壳32的顶部为开口，伺服电机自顶部固定在保护壳中，保护壳固定在基座的底部，伺服电机31的输出轴水平设置，并且输出轴伸出保护壳32，伺服电机31的输出轴端部固接挡板40，挡板40的轴线与输出轴的轴线垂直设置，需要拿取晶圆片时，挡板的轴线处于水平，此时挡板与晶圆储存仓的出仓口错位，当晶圆片滑落至出仓口对光束形成遮挡，光电传感器输出信号至控制器，控制器控制驱动装置工作，使挡板转动至晶圆储存仓的出仓口，对晶圆片形成限位避免其滑落，同时控制器输出报警信号，检测设备会停止运行，通知工作人员处理故障。
[0033]在本实施例中，光电传感器采用间歇工作模式，也就是说，根据机械手拿取晶圆片的频率通过控制器控制光电传感器的工作时间，当机械手拿取晶圆片时，光电传感器停止工作，当机械手与晶圆储存仓1分离，则光电传感器开始工作，这样就能够解决机械手工作时导致误报警的问题。
[0034]所述驱动装置设置有定位检测装置，用于对晶圆储存仓的出仓口处于打开状态下的挡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防脱落的晶圆储存装置，其特征在于，包括晶圆储存组件以及与晶圆储存组件连接的阻挡装置(30)；所述晶圆储存组件(20)包括基座以及设置在其上的晶圆储存仓(1)，晶圆储存仓(1)中自下而上设置有多个晶圆片(2)，所述晶圆储存仓(1)的出仓口设置有光电传感器；阻挡装置(30)包括驱动装置以及与其连接的挡板(40)，当光电传感器的光路被晶圆片阻挡，驱动装置用于驱动挡板(40)转动对晶圆储存仓(1)的出仓口关闭。2.根据权利要求1所述的一种防脱落的晶圆储存装置，其特征在于，所述基座的顶面设置有固定孔(13)，并位于晶圆储存仓(1)的出仓口，所述光电传感器嵌置在固定孔中，光电传感器的光束垂直向上发射。3.根据权利要求1所述的一种防脱落的晶圆储存装置，其特征在于，所述光电传感器为反射式光电传感器。4.根据权利要求1所述的一种防脱落的晶圆储存装置，其特征在于，所述挡板的长度大于晶圆储存仓(1)的垂直高度。5.根据权利要求1所述的一种防脱落的晶圆储存装置，其特征在于，所述驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明璋，谢新梅，
申请(专利权)人：东莞市瀚基智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：