一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构制造技术

本申请涉及一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构，属于晶圆干燥设备技术领域，所述升降机构包括：抵止组件、感应块、安装条、保护组件、以及感应组件，抵止组件在接触到保护组件时，保护组件被触发，以防止第一滑块、第二滑块的运动超过其极限位置，对第一滑块、第二滑块进行垂直方向的保护限位，将第一滑块、第二滑块的运动限制在固定的行程内，防止第一滑块、第二滑块出现脱轨等现象干扰、损坏设备运行。运行。运行。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构


[0001]本申请属于晶圆干燥设备
，尤其是涉及一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构。

技术介绍

[0002]中国专利文献CN115295441A一种晶圆清洗干燥设备，包括：槽体；盖体，设置在槽体上方，能够在平移机构带动下到达或者离开所述槽体的开口处，所述盖体内壁上设置有晶圆导向槽；水气供给系统，用于向槽体通入清洗用水或者干燥用气体；晶圆升降机构，用于承载晶圆篮并将晶圆带入槽体内，在干燥时，将晶圆顶入所述盖体内；所述晶圆升降机构包括：立柱，竖直设置在底座上；动力组件，包括电机，设置于所述立柱上的螺杆；滑轨，设置在立柱上，所述滑轨上滑动地设置有第一滑块和第二滑块，第一滑块设置在螺杆；连杆，包括：第一连杆和第二连杆，第一连杆和第二连杆的连接处具有滚轮，第一连杆与第一滑块转动连接，第二连杆与第二滑块转动连接；导向块，设置在立柱一侧，具有导向面并与滚轮配合，所述滚轮在导向面上移动，所述导向面从下至上包括第一导向面、第二导向面、第三导向面和第四导向面，第一导向面为竖直面，第二导向面、第三导向面为倾斜面，第四导向面为椭圆弧面，第三导向面的倾角大于第二导向面；晶圆篮支撑座，通过第一连接杆与第二滑块连接；晶圆支撑座，通过第二连接杆与第一滑块连接。然而上述装置具有如下缺点：未在该晶圆升降机构上设置保护装置，使得该升降机构运行时无法及时停止，会有脱轨的风险。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是：如何对晶圆干燥设备中的升降机构提供保护，为解决现有技术中的不足，从而提供一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构。
[0004]一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构，包括：抵止组件、感应块、安装条、保护组件以及感应组件，
[0005]抵止组件分别设置在该晶圆干燥设备的第一滑块和第二滑块上；
[0006]感应块设置在第一滑块上；
[0007]安装条设置在该晶圆干燥设备的侧方，安装条沿着垂直方向布置；
[0008]保护组件分别设置在安装条的两端；
[0009]在安装条上设置有感应组件；
[0010]第一抵止件设置在第一滑块上，第二抵止件设置在第二滑块上；
[0011]第一抵止件、第二抵止件能够分别跟随第一滑块、第二滑块进行垂直方向的运动；
[0012]第一滑块、第二滑块在垂直方向上进行运动，抵止组件内的第一抵止件以及第二抵止件在接触到保护组件时，保护组件被触发立即停止第一滑块、第二滑块的运动，以防止第一滑块、第二滑块的运动超过其极限位置。
[0013]优选地，本技术的一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构，第一抵止件包括第一斜面部和第一垂直部，第一斜面部位于第一垂直部的上下两端，且第一斜面部
远离第一垂直部的一端与第一斜面部与第一垂直部的连接部分相比远离保护组件。
[0014]优选地，本技术的一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构，第二抵止件上设置有第二斜面部和第二垂直部，且第二斜面部远离第二垂直部的一端与第二斜面部与第二垂直部的连接部分相比远离保护组件。
[0015]优选地，本技术的一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构，保护组件包括第一保护装置以及第二保护装置，
[0016]第一保护装置设置在安装条的上端；
[0017]第二保护装置设置在安装条的下端；
[0018]第一保护装置、第二保护装置上设置有滚筒状的触头，触头用于开关第一保护装置、第二保护装置。
[0019]优选地，本技术的一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构，感应组件包括沿着高度方向依次设置的第一感应装置、第二感应装置、第三感应装置，第一感应装置、第二感应装置、第三感应装置用于感应第一滑块和/或第二滑块的位置。
[0020]优选地，本技术的一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构，第一感应装置、第二感应装置以及第三感应装置包括固定件以及感应器，
[0021]固定件设置在安装条上；
[0022]感应器设置在固定件上。
[0023]优选地，本技术的一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构，感应器上设置有供感应块穿过的凹槽。
[0024]优选地，本技术的一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构，安装条为具有“凸”字形安装腔的型材。
[0025]本技术的有益效果是：抵止组件在接触到保护组件时，保护组件被触发，以防止第一滑块、第二滑块的运动超过其极限位置，对第一滑块、第二滑块进行垂直方向的保护限位，将第一滑块、第二滑块的运动限制在固定的行程内，防止第一滑块、第二滑块出现脱轨等现象干扰、损坏设备运行。
附图说明
[0026]下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
[0027]图1是该晶圆干燥设备的整体结构示意图；
[0028]图2为图1中A处实施例中的一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降结构的结构示意图。
[0029]图3为图2中第一抵止件的结构示意图。
[0030]图4为图2中第一保护装置的结构示意图。
[0031]图5为图2中该升降机构下半部分的结构示意图。
[0032]图6为图2中固定件、感应器、凹槽的结构示意图。
[0033]图7为图2中第二抵止件的结构示意图。
[0034]图中的附图标记为：
[0035]1、抵止组件；2、安装条；3、保护组件；4、感应组件；5、第一滑块；6、第二滑块；7、感应块；11、第一抵止件；12、第二抵止件；31、第一保护装置；32、第二保护装置；41、第一感应
装置；42、第二感应装置；43、第三感应装置；111、第一斜面部；112、第一垂直部；121、第二斜面部；122、第二垂直部；311、触头；411、固定件；412、感应器。
具体实施方式
[0036]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0037]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0038]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构，其特征在于，包括：抵止组件(1)、感应块(7)、安装条(2)、保护组件(3)以及感应组件(4)，所述抵止组件(1)分别设置在该晶圆干燥设备的第一滑块(5)和第二滑块(6)上；所述感应块(7)设置在第一滑块(5)上；所述安装条(2)设置在该晶圆干燥设备的侧方，安装条(2)沿着垂直方向布置；所述保护组件(3)分别设置在安装条(2)的两端；所述在安装条(2)上设置有感应组件(4)；所述第一滑块(5)上设置有第一抵止件(11)，所述第二滑块(6)上设置有第二抵止件(12)；所述第一抵止件(11)、第二抵止件(12)能够分别跟随第一滑块(5)、第二滑块(6)进行垂直方向的运动；所述第一滑块(5)、第二滑块(6)在垂直方向上进行运动，抵止组件(1)内的第一抵止件(11)以及第二抵止件(12)在接触到保护组件(3)时，保护组件(3)被触发立即停止所述第一滑块(5)、第二滑块(6)的运动，以防止第一滑块(5)、第二滑块(6)的运动超过其极限位置。2.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构，其特征在于，所述第一抵止件(11)包括第一斜面部(111)和第一垂直部(112)，所述第一斜面部(111)位于第一垂直部(112)的上下两端，且第一斜面部(111)远离所述第一垂直部(112)的一端与第一斜面部(111)与所述第一垂直部(112)的连接部分相比远离所述保护组件(3)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构，其特征在于，所述第二抵止件(12)上设置有第二斜面部(121)和第二垂直部(122)，且第二斜面部(...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，童建，段彬彬，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：